CN201955328U - 晶圆片损伤检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公布了一种晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。本实用新型对晶圆片的表面进行检测，检测精度高，而且可以同时检测多片晶圆片，检测的效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶圆片的损伤检测装置。
背景技术
现有的晶圆片检测大都采用镭射设备，检测都是单片镭射检测，这样势必导致检测的效率低下，并且镭射设备造价昂贵，维护和保养费用较高，无形中增加了成本。
实用新型内容
本实用新型目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种晶圆片的损伤检测装置。
本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案：
本实用新型晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。
所述数据传输模块采用基于Zigbee的无线接收模块。
本实用新型对晶圆片的表面进行检测，检测精度高，而且可以同时检测多片晶圆片，检测的效率高。
附图说明
图 1 ：本实用新型结构图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。
所述数据传输模块采用基于Zigbee的无线接收模块。
Claims (2)
1.一种晶圆片损伤检测装置，其特征在于包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。
2.根据权力要求1所述的晶圆片损伤检测装置，其特征在于所述数据传输模块采用基于Zigbee的无线接收模块。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010206227923U CN201955328U (zh) | 2010-11-25 | 2010-11-25 | 晶圆片损伤检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010206227923U CN201955328U (zh) | 2010-11-25 | 2010-11-25 | 晶圆片损伤检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201955328U true CN201955328U (zh) | 2011-08-31 |
Family
ID=44499436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010206227923U Expired - Fee Related CN201955328U (zh) | 2010-11-25 | 2010-11-25 | 晶圆片损伤检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201955328U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103033563A (zh) * | 2013-01-04 | 2013-04-10 | 中国地质大学（武汉） | 一种超声波物理探测仪 |
-
2010
- 2010-11-25 CN CN2010206227923U patent/CN201955328U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103033563A (zh) * | 2013-01-04 | 2013-04-10 | 中国地质大学（武汉） | 一种超声波物理探测仪 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20141204 Granted publication date: 20110831 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20150604 Granted publication date: 20110831 |
|
| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110831 Termination date: 20141125 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |