CN201924103U - 多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀 - Google Patents
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Abstract
多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀,涉及多晶硅定向凝固炉生产技术领域,尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统进出气阀门,气动阀门设置在进气管道或出气管道上,在气动阀门上连接有手动阀门。本实用新型的有益效果是:在原有的气动进出气阀门连接出加上一个手动的阀门,正常情况下常开不会影响炉子正常运行。如果排气阀或进气阀出现问题,可以将连接在下端的手动阀关闭,更换一个新的排气阀上去,这样炉子能继续正常运行下去。最终炉子可以安全运行完,从而降低了事故发生率和生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅定向凝固炉生产技术领域,尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统进出气阀门。
背景技术
现有的多晶硅锭定向凝固炉,涉及真空系统及进出气阀门,真空泵系统包括一个罗茨泵和机械前级泵。能使腔室压力迅速下降到 0.05mbar 以下。大部分情况下,打开机械泵使腔室保持部分真空状态(400-600mbar)。在某个阶段需要氩气,用一个质量流量控制器控制氩气进气量,用一个与真空系统相连的比例控制阀调节氩气排气量。所以对阀门的控制是一个很重要的环节,一旦损坏不能及时更换带来的损失就会很大。现有技术中炉子是自动运行的,采用气动自动阀,炉子进气是由气体流量控制器来控制进多少量,进气阀只是这个时候打开;出气也是一样的,排气阀常开通过比例阀来控制量。炉子在停止工作的时候气动阀是关闭的(此时比例阀、气体流量控制器也关闭了)。自动阀的优点是方便控制,不需要操作人员去调整。但是,如果阀门内部出现故障的话会打不开阀门,这存在着生产隐患。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种多晶硅锭定向凝固炉气动连手动阀,它可克服现有技术的缺陷,确保生产安全。
本实用新型的目的是通过以下方案实现的:多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀,其特征在于:气动阀门设置在进气管道或出气管道上,在气动阀门上连接有手动阀门。
本实用新型还可通过以下方案进一步实现:
所述的气动阀门通过螺丝与手动阀门固接。
所述的手动阀门管道内径与所在管道内径相同。
所述的手动阀门为柱塞阀、旋塞阀、球阀之一种。
本实用新型的有益效果是:在原有的气动进出气阀门连接出加上一个手动的阀门,正常情况下常开不会影响炉子正常运行。排气阀加装一个手动阀,如果排气阀出现问题,可以将连接在下端的手动阀关闭,更换一个新的排气阀上去,这样炉子能继续正常运行下去。进气阀加装一个手动阀,氩气通过质量流量控制器后接一个手动阀在进气阀坏了后便于更换。最终炉子可以安全运行完,从而降低了事故发生率和生产成本。
附图说明
图1为本实用新型排气阀管道线路示意图,
图2为本实用新型进气阀管道线路示意图。
图中:1为机械泵和罗茨泵,2为V1阀大排气阀,3为比例阀,4为V3阀小排气阀,5为手动阀,6为炉腔,7为气体流量控制器,8为手动阀,9为大进气阀,10为进炉腔接口。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
实施例:
如图1所示,机械泵和罗茨泵1通过管道连接炉腔6(里面压力为600mbar),在管道上设有V1阀大排气阀(铸锭炉运行时关闭)2,V1阀大排气阀并联的旁路管道上,串联有比例阀(用来调节出气量)3, V3阀小排气阀4(铸锭炉正常运行打开)和手动阀5(也就是需要加装的)。
如图2所示,与大进气阀9(正常时不开)并联的旁路管道上,串联有气体流量控制器7、进气处手动阀8(也就是需要加装的),两管道连接进炉腔接口10。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀,其特征在于:气动阀门设置在进气管道或出气管道上,在气动阀门上连接有手动阀门。
2.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀,其特征在于:气动阀门通过螺丝与手动阀门固接。
3.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀,其特征在于:手动阀门管道内径与所在管道内径相同。
4.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉气动手动阀,其特征在于:手动阀门为柱塞阀、旋塞阀、球阀之一种。
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2010
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CN102560639B (zh) * | 2012-03-06 | 2015-12-02 | 浙江宏业新能源有限公司 | 防泄漏保护系统 |
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