CN201921873U - 流量式精准自动补液装置 - Google Patents

流量式精准自动补液装置 Download PDF

Info

Publication number
CN201921873U
CN201921873U CN2010206853607U CN201020685360U CN201921873U CN 201921873 U CN201921873 U CN 201921873U CN 2010206853607 U CN2010206853607 U CN 2010206853607U CN 201020685360 U CN201020685360 U CN 201020685360U CN 201921873 U CN201921873 U CN 201921873U
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
liquid level
liquid
level sensor
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2010206853607U
Other languages
English (en)
Inventor
王瑞勋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
Original Assignee
Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd filed Critical Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority to CN2010206853607U priority Critical patent/CN201921873U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201921873U publication Critical patent/CN201921873U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

一种流量式精准自动补液装置,它包括储液罐、机械补液泵、恒压罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统,机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间,上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器依次从上到下设置在恒压罐的侧壁上,且都与控制系统电连接,补液管经电磁换向阀分出二条支路,一路经手动补液阀通入清洗槽,另一路经手动定标阀通向量杯。它能测定补的流量然后按工艺要求确定补液时间,及时准确地对清洗槽进行补液,使清洗槽中的溶液浓度保持稳定,从根本上保证硅片清洗质量。

Description

流量式精准自动补液装置
技术领域:
本实用新型涉及一种太阳能硅片清洗设备,尤其涉及全自动清洗设备中的补液装置。
背景技术:
在太阳能电池片的生产过程中,硅片的清洗工序是十分重要的工序,清洗质量直接影响到太阳能电池片的光电转换性能。硅片在清洗设备中,由于硅片与清洗液之间要发生化学反应,清洗液中的相关化学成份将被消耗,若不及时补充将直影响硅片的清洗效果。为了提高硅片清洗工艺的稳定性,在清洗一定次数后必须向清洗液中补充相应的化学药液。普通清洗机都采用人工添加方法进行补液,人工添加都存在补液量不准确的缺陷,补液精度人为因素影响很大。为了克服人工补液存在的缺陷,在先进的硅片清洗机中都设置了集中补液系统,所述集中补液系统由机械式补液泵定时向清洗槽中补充液体,在清洗设备运转过程中,根据单位时间内液清洗消耗的多少,确定相应流量的机械式补液泵,控制系统每隔预定时间间隔就向清洗槽中补一次液,这种补液系统虽然能实现对清洗槽的自动补液,但由于机械补液量的补液精度不高,且以每清洗十次确定为补液间隔,这样清洗液的化学浓度波动性很大,硅片的清洗质量波动也比较大,要想进一步提高硅片的清洗质量,必须及时补液,减小清洗液化学浓度波动值,因此,申请人设计了一种定压式自动补液装置,其补液原理是:在定压、流量相同条件下,通过控制补液时间来精确控制补液量,当清洗槽每清洗一批硅片后补液装置就适时向清洗槽中补液,这就是人们所述的微量精补装置,有了这种微量补液装置,清洗槽中清洗液的化学浓度的变化波动值就能得到有效控制,从而提高了硅片的清洗质量。
实用新型内容:
为了克服现有硅片清洗机中补液装置存在的不足,本实用新型提供了一种硅片清洗设备的流量式精准自动补液装置,它采用机械泵与恒压罐相配合的方式进行补液,在每清洗一次硅片后能对清洗槽即时进行微量精准补液,确保每批硅片清洗后清洗槽中的清洗液得到精准的补充,这样就能比较精确地控制清洗液的浓度,从而保证硅片的清洗质量。
本实用新型所采用的技术方案是:
所述一种流量式精准自动补液装置,其特征是:它包括储液罐、机械补液泵、恒压罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统,储液罐设置在全自动硅片清洗机旁,储液罐中存放待补充溶液,在储液罐顶部设有加液开口,供操作人员向其中加注溶液,恒压罐和储液罐之间由耐酸碱的输液管相连,机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间,在恒压罐的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器,在恒压罐底部引出的补液管经电磁换向阀分出二条支路,一路经手动补液阀通入清洗槽,另一路经手动定标阀通向量杯,上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器都与控制系统电连接,电磁换向阀和机械补液泵也与控制系统电连接。
由于将储液罐中的待加补溶液经机械补液泵先输入恒压罐中,在恒压罐的侧壁上依次设有上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器,机械补液泵的开关由上液位传感器、下液位传感器和控制系统控制,确保恒压罐内液位处于预定高度范围之内,从而确保从恒压罐出放出的液体流量相对等值,通过确定量杯测定从恒压罐出放出的液体流量,再根据清洗槽每次定量清洗硅片所消耗的溶液量,经计算得出每次补液的放液时间,由控制系统进行控制,从而保证电磁换向阀在清洗槽每次清洗一次后即时精确地进行补液,使清洗槽中的溶液浓度保持稳定,从根本上保证硅片清洗质量。同时降低了机械泵开停频率,减少了对机械泵的损伤,大大提高了全自动清洗机的使用效率。
附图说明:
图1为本实用新型结构示意图;
图中:1-储液罐;2-机械补液泵;3-恒压罐;4-上报警传感器;5-上液位传感器;6-下液位传感器;7-下位报警传感器;8-电磁换向阀;9-手动补液阀;10-手动定标阀;11-量杯;12-清洗槽;13-控制系统;14-输液管;15-补液管。
具体实施方式:
根据附图详细说明本实用新型的具体实施方式:
所述一种流量式精准自动补液装置,它包括储液罐1、机械补液泵2、恒压罐3、上报警传感器4、上液位传感器5、下液位传感器6、下报警传感器7、电磁换向阀8、手动补液阀9、手动定标阀10、量杯11、清洗槽12和控制系统13,储液罐1设置于全自动硅片清洗机旁,储液罐1中存放待补充溶液,在储液罐1顶部设有加液开口,供操作人员向其中加注溶液,恒压罐3和储液罐1之间由耐酸碱的输液管14相连,机械补液泵2设置在恒压罐3和储液罐1之间,在恒压罐3的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器4、上液位传感器5、下液位传感器6和下报警传感器7,在恒压罐3底部设有的补液管15经电磁换向阀8分出二条支路,一路经手动补液阀9通入清洗槽12,另一路经手动定标阀10通向量杯11,上位报警传感器4、上位液位传感器5、下位液位传感器6和下位报警传感器7都与控制系统13电连接,电磁换向阀8和机械补液泵2也与控制系统13电连接。
本实用新型的具体使用方法如下:
由控制系统13启动机械补液泵2将储液罐1中的添补液经输液管14输入恒压罐3中,当液体高度达到上液位传感器5时,便向控制系统13发出信号便自动关闭机械补液泵2停止补液,然后由控制系统13使电磁换向阀8得电开通,此时关闭手动补液阀9,开启手动定标阀10,此时恒压罐3中的溶液经过补液管15通向量杯11中,当测试量杯11滴满时,记录所需时间,然后计算出补液管15的流量,通过试验测得清洗槽12中每一次硅片清洗后所消耗的溶液量,再计算出应向清洗槽补液所需的时间。打开手动补液阀9,关闭定标管的手动定标阀10,由控制系统13控制电磁换向阀8的开通时间,当清洗槽12中完成一次清洗后,由控制系统13控制电磁换向阀8开启,向清洗槽12中注入溶液,达到预定时间后关闭,然后清洗槽12即可进行下一次清洗。
在使用过程中,当恒压罐3中液位低于下液位传感器6时,下液位传感器6将信号传输至控制系统13,控制系统13控制机械补液泵2开启,将储液罐1中的溶液送至恒压罐3中,当恒压罐3中液位达到上液位传感器5时,上液位传感器5将信号传输至控制系统13,控制系统13控制机械补液泵2停止运行,若恒压罐3中液位高于上报警传感器4或低于下报警传感器7时,控制系统13控制发出警报,然后提示人们立即检修。

Claims (1)

1.一种流量式精准自动补液装置,其特征是:它包括储液罐(1)、机械补液泵(2)、恒压罐(3)、上报警传感器(4)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)、下报警传感器(7)、电磁换向阀(8)、手动补液阀(9)、手动定标阀(10)、量杯(11)、清洗槽(12)和控制系统(13),储液罐(1)设置于全自动硅片清洗机旁,储液罐(1)中存放待补充溶液,在储液罐(1)顶部开口,供操作人员向其中注入溶液,恒压罐(3)和储液罐(1)之间由耐酸碱的输液管(14)相连,机械补液泵(2)设置在恒压罐(3)和储液罐(1)之间,在恒压罐(3)的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器(4)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)和下报警传感器(7),在恒压罐(3)底部设有的补液管(15)经电磁换向阀(8)分出二条支路,一路经手动补液阀(9)通入清洗槽(12),另一路经手动定标阀(10)通向量杯(11),上报警传感器(4)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)和下报警传感器(7)都与控制系统(13)电连接,电磁换向阀(8)和机械补液泵(2)也与控制系统(13)电连接。
CN2010206853607U 2010-12-29 2010-12-29 流量式精准自动补液装置 Expired - Fee Related CN201921873U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010206853607U CN201921873U (zh) 2010-12-29 2010-12-29 流量式精准自动补液装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010206853607U CN201921873U (zh) 2010-12-29 2010-12-29 流量式精准自动补液装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201921873U true CN201921873U (zh) 2011-08-10

Family

ID=44425743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010206853607U Expired - Fee Related CN201921873U (zh) 2010-12-29 2010-12-29 流量式精准自动补液装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201921873U (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102172582A (zh) * 2010-12-29 2011-09-07 常州亿晶光电科技有限公司 流量式精准自动补液装置
CN102553789A (zh) * 2012-03-06 2012-07-11 奇瑞汽车股份有限公司 一种前处理表调槽液的自动补充与更新系统及其工作方法
CN103357610A (zh) * 2013-07-18 2013-10-23 宜昌南玻硅材料有限公司 一种集中补液系统及补液方法
CN106040667A (zh) * 2016-07-29 2016-10-26 苏州高通机械科技有限公司 一种自动补液的清洗槽
CN115254767A (zh) * 2022-07-19 2022-11-01 三一集团有限公司 硅片清洗方法及装置、系统

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102172582A (zh) * 2010-12-29 2011-09-07 常州亿晶光电科技有限公司 流量式精准自动补液装置
CN102553789A (zh) * 2012-03-06 2012-07-11 奇瑞汽车股份有限公司 一种前处理表调槽液的自动补充与更新系统及其工作方法
CN103357610A (zh) * 2013-07-18 2013-10-23 宜昌南玻硅材料有限公司 一种集中补液系统及补液方法
CN103357610B (zh) * 2013-07-18 2015-05-06 宜昌南玻硅材料有限公司 一种集中补液系统及补液方法
CN106040667A (zh) * 2016-07-29 2016-10-26 苏州高通机械科技有限公司 一种自动补液的清洗槽
CN106040667B (zh) * 2016-07-29 2019-09-13 苏州高通机械科技有限公司 一种自动补液的清洗槽
CN115254767A (zh) * 2022-07-19 2022-11-01 三一集团有限公司 硅片清洗方法及装置、系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201940407U (zh) 定容式精准自动补液装置
CN102148285B (zh) 定容式精准自动补液装置
CN102172582A (zh) 流量式精准自动补液装置
CN201921873U (zh) 流量式精准自动补液装置
CN202631760U (zh) 一种全自动蒸发站
CN102809523B (zh) 一种夹套式底部进样全自动乌氏粘度计
CN108551832A (zh) 全自动精量施肥机、控制系统
CN204086149U (zh) 水溶性酸测试仪
CN117348118B (zh) 一种便携式雨量校准装置及其使用方法
CN207862331U (zh) 一种培养液定量连续注入装置
CN108896126B (zh) 一种自清洗蒸发传感器及其控制方法
CN102577920B (zh) 无土栽培用营养液循环装置
CN206594318U (zh) 水面、潜水蒸发测量装置
CN210778800U (zh) 一种蓄电池加酸系统
CN201076529Y (zh) 人工机械心脏瓣膜静态返流量测量装置
CN213843015U (zh) 硅水质分析仪
CN219266268U (zh) 一种低浊度传感器批量校准装置
CN207067422U (zh) 一种水面蒸发测量装置及系统
CN204696139U (zh) 一种太阳能电池制绒清洗机的上液装置
CN208432506U (zh) 最大气泡压力法测溶液表面张力改进实验用装置
CN107037503A (zh) 一种水面蒸发测量装置及系统
CN214951510U (zh) 一种水质监测、传感器校准及维护装置
CN2222912Y (zh) 硅酸根监测仪
CN204346968U (zh) 微水仪自动抽排液装置用电极
CN212883851U (zh) 一种用于制药用清洗干燥机精确加药装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110810

Termination date: 20151229

EXPY Termination of patent right or utility model