CN201862888U - 一种应用于靶材钎焊的加热系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种应用于靶材钎焊的加热系统，包括一支撑架、一置于支撑架上的加热平板、一覆盖于加热平板上表面的加热平台、一导热油加热器和一测温仪，所述加热平板内设有一反向并行设置的双通道，所述双通道的各通道分别含有一进油口和一回油口，且其中一通道的进油口与另一通道的回油口设于双通道的同一端，所述进油口和回油口均与导热油加热器连接，所述测温仪设于回油口处。本实用新型的优点在于：不仅便于测量加热平板内的温度，而且能够使加热平板对加热平台较为均匀的加热，使加热平台的温差小。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及一种加热系统，尤其涉及一种应用于靶材钎焊的加热系统。
【背景技术】
近年来，应用于真空溅射镀膜的磁控溅射靶材使用量迅速加大，技术要求也在不断提高，尤其在大面积镀膜产业兴起后，平面靶材的长宽尺寸达到1.7×1.4米甚至更大，将脆性较大的或者强硬度不高的材料制作成靶材后，为保证其运输或者使用过程中不开裂或者变形，避免靶材与冷却水直接接触，往往需要运用到钎焊技术，利用钎料将靶材的非溅射面与基板黏合在一起，在黏合的过程中需要先将靶材与基板同时缓慢均匀的加热到200℃左右，才可进行靶材与基板的钎焊黏合作业，这就需要用到面积为靶材长宽尺寸两倍大小的大型加热平台对靶材与基板表面进行同时加热，且为达到良好的钎焊黏合效果，要求大型加热平台温度均匀，要求工作区域各点温差控制在5℃以内。
现有应用于大型靶材钎焊的加热系统，一般含有一支撑架、一放置于支撑架上的加热平台、一用于直接加热加热平台的加热平板和一用于测定加热平台温度的测温仪，而现有的加热平板一般为电阻加热器，其是由多个电阻加热元件发热并以直接接触的方式加热加热平台，对于加热平面6平方米左右的加热平台，因各电阻加热元件的发热效率并不完全一致，从而导致加热平台受热不均而造成较大的温差，直接影响了大型靶材钎焊的效果；另外，为了能够更准确的测定加热平板内电阻元件产热的温度，往往需要增加测温点，进而根据测温点测量的数值来调整不同区域电阻元件的加热速率，但为保证加热平台完整的工作平面，测温探头无法安装在加热平板上表面，而安装在其下表面则无法测量出较为真实的工作温度，只能安装在加热平板的侧边位置，这样只能取得加热平板边缘位置的温度，无法取得加热平板中心区域的实际温度，而如果采用分区域加热温控系统，不仅设计复杂、造价较高，且加热元件易损、更换困难，另外，表面温差可能达到20～30℃，为达到较均匀的温度，需要长时间恒温，耗能较大，对于一些大型平面钎焊行业，要求加热平台温差控制在5℃以内，显然采用电阻加热元件直接加热无法达到使用要求，并且难以实现对工作面及加热平台进行快速升温降温的控制或者缓慢升温降温的控制。
【实用新型内容】
本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种应用于靶材钎焊的加热系统，不仅便于测量加热平板内的温度，而且能够使加热平板对加热平台较为均匀的加热，使加热平台的温差小。
本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的：一种应用于靶材钎焊的加热系统，包括一支撑架、一置于支撑架上的加热平板、一覆盖于加热平板上表面的加热平台、一导热油加热器和一测温仪，所述加热平板内设有一反向并行设置的双通道，所述双通道的各通道分别含有一进油口和一回油口，且其中一通道的进油口与另一通道的回油口设于双通道的同一端，所述进油口和回油口均与导热油加热器连接，所述测温仪设于回油口处。
进一步地，该加热系统还包括一包裹于加热平板下表面及各侧壁的保温层，且该保温层设于支撑架上。
进一步地，所述双通道的各通道均由复数个首尾相接的“S”形凹槽组成。
进一步地，该加热系统还包括一用于盛装冷却导热油的副油箱，所述副油箱与导热油加热器连接。
进一步地，所述加热平台为铝平板。
本实用新型一种应用于靶材钎焊的加热系统的有益效果在于：
1、通过导热油加热器将导热油注入加热平板内反向并行设置的双通道内，能够使加热平板整体产热均匀，从而使加热平台受热均匀、温差小；并通过温控仪监测加热平板回油口的导热油的油温来测定加热平板内的温度；另外，通过设置导热油加热器的加热温度及升温速率来有效的控制加热平板内的温度；
2、增设盛装冷却导热油的副油箱，能够在加热平板需要快速冷却时，往停止加热的导热油加热器内通入冷却的导热油，进而实现对加热平板及加热平台进行降温的控制。
3、在加热平板下表面及各侧壁的包裹上一保温层，能够起到避免加热平板内的热量流失，使热量得到有效的利用。
【附图说明】
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。
图1是本实用新型一种应用于靶材钎焊的加热系统的分解示意图。
图2是本实用新型中加热平板内双通道的示意图。
【具体实施方式】
请结合参阅图1与图2，本实用新型一种应用于靶材钎焊的加热系统，包括一支撑架1、一置于支撑架1上的加热平板2、一覆盖于加热平板2上表面的加热平台3、一导热油加热器4和至少一测温仪(未图示)，所述加热平板2内设有一反向并行设置的双通道21，所述双通道21的各通道分别含有一进油口22和一回油口23，且其中一通道的进油口22与另一通道的回油口23设于双通道21的同一端，所述进油口22和回油口23均与导热油加热器4连接，所述测温仪设于回油口23处用于测定回油的温度，进而测定加热平板2回油口23附近区域的温度，在本实施例中，该加热系统还包括一包裹于加热平板2下表面及各侧壁的保温层5和一用于盛装冷却导热油的副油箱6，所述保温层5置于支撑架1上，所述副油箱6与导热油加热器4连接，所述加热平台3为铝平板，且所述双通道21的各通道均由复数个首尾相接的“S”形凹槽组成(如图2所示)，另外，还可将两个回油口23的回油汇集后再采用测温仪进行测定。
其中：支撑架1能够承重2000KG，并可耐100℃左右高温；加热平板2总厚度达到40mm，其内部构成双通道21的凹槽的深度为20mm，凹槽宽度始终保持一致，凹槽侧壁厚度控制在5mm以内，使得导热油在加热平板2流动的过程中流速始终保持一致，均匀的将热量传递到加热平台3上；加热平台3为铝平板，其厚度达到20mm，导热性能良好，平行度要求较高，要求紧密贴合与加热平板2的上表面；导热油加热器4可加热25℃～300℃导热油、自动切换加热功率；保温层5最底层采用5mm不锈钢板支撑整体结构，上层采用50mm石棉凹槽结构将加热平板2的下表面及侧壁包裹起来，避免热量的流失，侧壁外层采用3mm厚钢板包裹，保护石棉结构不受破坏；副油箱6可存放50kg冷却的导热油，其与导热油加热器连通时可将导热油加热器内的热导热油中和，使得加热平板能够循环降温。
本实用新型的操作过程：先将导热油加热器4中的导热油通过进油口22注入加热平板2中进行循环，并设置导热油加热器4的加热温度及升温速率，且导热油在加热平板2中循环时虽然不断向外导热，但因反向并行双通道21的设置，能够保证整个加热平板2的各区域温度均匀，从而保证加热平台3的整体温度均匀，其温差可控制在3～5℃以内，接着通过测定回油口23的回油的油温来监控加热平板2内的温度，且回油油温增加固定的2～3℃的温度补偿就为加热平板2内的实际平均温度，待升温到指定工作温度后开始在加热平台3上进行钎焊作业，钎焊完毕后，若需快速冷却加热平板2，可在导热油加热器4停止加热后，将盛有冷却导热油的副油箱6的油门打开，使副油箱6内的冷却导热油流入导热油加热器4内将热导热油中和，进而参与导热油的循环过程，以达到迅速降低加热平板温度的效果。
另外，本实用新型采用反向并行双通道循环的设计而不采用单向循环的原因是：单向油路循环将使得加热平板进油口附近的区域与回油口附近的区域区域的温差较大，从而无法达到加热平板各区域温度均匀目的；而反向并行双通道循环因其中一通道的进油口与另一通道的回油口设于该双通道的同一端，当一通道回油口附近的区域温度降低时能够得到另一通道进油口附近区域温度的补偿，从而能够保证整个加热平板的各区域温度均匀。
Claims (5)
1.一种应用于靶材钎焊的加热系统，包括一支撑架、一置于支撑架上的加热平板、一覆盖于加热平板上表面的加热平台和至少一测温仪，其特征在于：还包括一导热油加热器，所述加热平板内设有一反向并行设置的双通道，所述双通道的各通道分别含有一进油口和一回油口，且其中一通道的进油口与另一通道的回油口设于双通道的同一端，所述进油口和回油口均与导热油加热器连接，所述测温仪设于回油口处。
2.如权利要求1所述一种应用于靶材钎焊的加热系统，其特征在于：还包括一包裹于加热平板下表面及各侧壁的保温层，且该保温层设于支撑架上。
3.如权利要求1所述一种应用于靶材钎焊的加热系统，其特征在于：所述双通道的各通道均由复数个首尾相接的“S”形凹槽组成。
4.如权利要求1所述一种应用于靶材钎焊的加热系统，其特征在于：还包括一用于盛装冷却导热油的副油箱，所述副油箱与导热油加热器连接。
5.如权利要求1所述一种应用于靶材钎焊的加热系统，其特征在于：所述加热平台为铝平板。
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| CN2010206197947U CN201862888U (zh) | 2010-11-23 | 2010-11-23 | 一种应用于靶材钎焊的加热系统 |
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| CN (1) | CN201862888U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103192152A (zh) * | 2012-01-09 | 2013-07-10 | 日立金属株式会社 | 接合装置 |
| CN105014229A (zh) * | 2015-08-03 | 2015-11-04 | 黄山学院 | 适用于1mm以下铝合金薄板搅拌摩擦连接的工作台装置 |
| CN105618889A (zh) * | 2014-10-28 | 2016-06-01 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 加热设备 |
| CN110899896A (zh) * | 2019-12-10 | 2020-03-24 | 哈尔滨工业大学 | 一种焊接卡具及钎焊大尺寸铝合金曲面蒙皮与带筋骨架结构的方法 |
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2010
- 2010-11-23 CN CN2010206197947U patent/CN201862888U/zh not_active Expired - Lifetime
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