CN201845738U - 用于中性束离子源的静电探针 - Google Patents
用于中性束离子源的静电探针 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201845738U CN201845738U CN2010202793113U CN201020279311U CN201845738U CN 201845738 U CN201845738 U CN 201845738U CN 2010202793113 U CN2010202793113 U CN 2010202793113U CN 201020279311 U CN201020279311 U CN 201020279311U CN 201845738 U CN201845738 U CN 201845738U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe
- cooling water
- water pipe
- stainless steel
- steel sleeve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了一种用于中性束离子源的静电探针，包括内冷却水管，内冷却水管中有内冷却水管道，内冷却水管端头处有探针头，探针头外套有探针头绝缘盖，有陶瓷绝缘管套在内冷却水管外部，并与探针头绝缘盖连接为一体，陶瓷绝缘管与内冷却水管之间有间隙，靠近探针头的内冷却水管上开有连通内冷却水管道和间隙的开孔；陶瓷绝缘管外还依次套有不锈钢套、探针外套，探针头的顶端依次穿出不锈钢套、探针外套，不锈钢套四角位置的圆弧与探针外套之间的间隙构成四个外冷却水管道，其中两个外冷却水管道与另外两个外冷却水管道一一对应连通。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子源探测装置领域，尤其是等离子源探针，具体为一种用于中性束离子源的静电探针。
背景技术
静电探针是离子源等离子体参数测量的重要手段，也是实现离子源运行的重要工具，是获得稳态源等离子体的关键。探针伸入等离子体室内部，会有较高的能量沉积。目前使用的探针大多无水冷结构，部分探针具有单层水冷结构。这些探针所能承受的来自源等离子体的热负荷较小，对于强流、稳态高功率离子源来说，静电探针必须承受很大的热负荷，从而导致静电探针无法稳定的工作。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种用于中性束离子源的静电探针，采用内、外两路冷却水管道，以解决现有技术单层水冷结构的探针，无法在强流、稳态高功率离子源中稳定工作的问题。
为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：
用于中性束离子源的静电探针，包括有安装在探针安装座上的内冷却水管，内冷却水管中有内冷却水管道，其特征在于：所述内冷却水管端头处插接有探针头，靠近所述内冷却水管的探针头外部套有探针头绝缘盖，有陶瓷绝缘管套在所述内冷却水管外部，并与所述探针头绝缘盖连接为一体，所述陶瓷绝缘管与内冷却水管之间有间隙，靠近探针头的内冷却水管上开有连通所述内冷却水管道和所述间隙的开孔；所述陶瓷绝缘管外还依次套有不锈钢套、探针外套，所述探针头的顶端依次穿出所述不锈钢套、探针外套，所述不锈钢套的截面为四角为圆弧的方形，不锈钢套四角位置的圆弧与所述探针外套之间的间隙构成四个外冷却水管道，其中两个外冷却水管道与另外两个外冷却水管道一一对应连通。
本实用新型中，探针头是用钼丝做成的；探针头绝缘盖采用氢化硼材料；内冷却水管采用不锈钢的材料，其长度根据探针伸入弧室的长度以及弧室的机械结构来决定，在距离探针头1.65mm处的地方开了两个长为3.17mm的槽，对称的分布在内冷却水管的两边，用于去离子冷却水从这两个槽流出，循环回去。在内冷却水管的外面是陶瓷绝缘管，采用99.8％的氧化铝材料。陶瓷管与探针头绝缘盖焊接在一起，形成绝缘。在陶瓷绝缘管和内冷却水管之间的间隙用于内冷却水的回输，去离子水由内冷却水管道流入，从前端的开槽处流到内冷却水管和陶瓷绝缘套之间的间隙处，然后流出，形成回路。陶瓷绝缘管和探针头绝缘盖连接后由不锈钢套将其套装起来。在不锈钢套的外面是外冷却水管道。不锈钢套在剖视图的四个方向上都切去一个小弧的圆，形成有四个圆边的正方形，和外面的探针外套套起来后，不锈钢套四角的圆弧和探针外套之间的间隙就构成四个外冷却水管道，用来通水。在靠近探针头的一端，四个外冷却水管分成两组，每组中的两个外冷却水管道相通，形成了两个回路，通过循环水给探针散热。探针外套也是不锈钢材料制成的，有良好的导热性能。
本实用新型结构简单，易于实现，通过均为回路的内、外冷却水管道，能够有效地对探针进行冷却，使静电探针能够承受很大的热负荷，从而实现其稳态的工作。
附图说明
图1为本实用新型结构侧剖视图。
图2为本实用新型结构正剖视图。
具体实施方式
如图1、图2所示，用于中性束离子源的静电探针，包括有安装在探针安装座上的内冷却水管1，内冷却水管1中有内冷却水管道，内冷却水管1端头处插接有探针头2，靠近内冷却水管1的探针头2外部套有探针头绝缘盖3，有陶瓷绝缘管4套在内冷却水管1外部，并与探针头绝缘盖3连接为一体，陶瓷绝缘管4与内冷却水管1之间有间隙，靠近探针头2的内冷却水管1上开有连通内冷却水管道和间隙的开孔5；陶瓷绝缘管4外还依次套有不锈钢套6、探针外套7，探针头2的顶端依次穿出不锈钢套6、探针外套7，不锈钢套6的截面为四角为圆弧的方形，不锈钢套6四角位置的圆弧与探针外套7之间的间隙构成四个外冷却水管道8，其中两个外冷却水管道与另外两个外冷却水管道一一对应连通。
Claims (1)
1.用于中性束离子源的静电探针，包括有安装在探针安装座上的内冷却水管，内冷却水管中有内冷却水管道，其特征在于：所述内冷却水管端头处插接有探针头，靠近所述内冷却水管的探针头外部套有探针头绝缘盖，有陶瓷绝缘管套在所述内冷却水管外部，并与所述探针头绝缘盖连接为一体，所述陶瓷绝缘管与内冷却水管之间有间隙，靠近探针头的内冷却水管上开有连通所述内冷却水管道和所述间隙的开孔；所述陶瓷绝缘管外还依次套有不锈钢套、探针外套，所述探针头的顶端依次穿出所述不锈钢套、探针外套，所述不锈钢套的截面为四角为圆弧的方形，不锈钢套四角位置的圆弧与所述探针外套之间的间隙构成四个外冷却水管道，其中两个外冷却水管道与另外两个外冷却水管道一一对应连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010202793113U CN201845738U (zh) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | 用于中性束离子源的静电探针 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010202793113U CN201845738U (zh) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | 用于中性束离子源的静电探针 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201845738U true CN201845738U (zh) | 2011-05-25 |
Family
ID=44040620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010202793113U Expired - Fee Related CN201845738U (zh) | 2010-07-27 | 2010-07-27 | 用于中性束离子源的静电探针 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201845738U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106969872A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-07-21 | 北京航空航天大学 | 一种采用双排孔气膜冷却的压力探针 |
| CN109387372A (zh) * | 2017-08-09 | 2019-02-26 | 丰田自动车株式会社 | 离子探针 |
-
2010
- 2010-07-27 CN CN2010202793113U patent/CN201845738U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106969872A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-07-21 | 北京航空航天大学 | 一种采用双排孔气膜冷却的压力探针 |
| CN106969872B (zh) * | 2017-04-18 | 2020-01-10 | 北京航空航天大学 | 一种采用双排孔气膜冷却的压力探针 |
| CN109387372A (zh) * | 2017-08-09 | 2019-02-26 | 丰田自动车株式会社 | 离子探针 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101894605B (zh) | 自动冷却电缆 | |
| CN101762190A (zh) | 带有等间距开口肋片的套管换热器 | |
| CN201845738U (zh) | 用于中性束离子源的静电探针 | |
| CN101013610A (zh) | 稳态托卡马克偏滤器冷却热沉 | |
| CN201796616U (zh) | 自动冷却电缆 | |
| CN103540914B (zh) | 一种使用射频加热的桶式cvd设备反应室 | |
| CN202734568U (zh) | 中频电炉的水冷结构 | |
| CN102881361A (zh) | 水冷电极电缆 | |
| CN116558343A (zh) | 一种主被动可控式磁涡流制热器 | |
| CN202002204U (zh) | 电磁加热超导供暖系统 | |
| CN202221803U (zh) | 带有散热管的车用锂电池 | |
| CN203993362U (zh) | 一种数控机床加工用导轨的冷却系统 | |
| CN101995176A (zh) | 一种流体之间进行热量交换的方法和装置 | |
| CN102705847B (zh) | 电炉烟道 | |
| CN206724485U (zh) | 一种电加热芯及加热设备 | |
| CN207146914U (zh) | 电磁热管液体加热装置 | |
| CN102022772B (zh) | 电磁加热超导供暖系统 | |
| CN202996334U (zh) | 水冷电极电缆 | |
| CN108924969B (zh) | 一种真空铸铝加热器 | |
| CN104456919B (zh) | 一种适用于多种介质的换热器及制造方法 | |
| CN204345159U (zh) | 一种内热式加热装置 | |
| CN204345898U (zh) | 一种适用于多种介质的换热器 | |
| CN203997594U (zh) | 石油液体工频增温装置 | |
| CN202949587U (zh) | 节能导电铜瓦 | |
| CN203788492U (zh) | 分腔加热式节能电热辊 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110525 Termination date: 20140727 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |