CN201843843U - 气缸控制装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种气缸控制装置，包括气缸、电磁阀、第一限流阀以及第二限流阀，所述电磁阀、所述第二限流阀、所述气缸、所述第一限流阀依次连接形成气流回路，所述气缸控制装置还包括第三限流阀和第四限流阀，所述第三限流阀与所述第一限流阀反向串接，所述第四限流阀与所述第二限流阀反向串接。采用本实用新型的气缸控制装置，能确保气缸稳定安全的工作。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种气缸装置，特别涉及一种气缸控制装置。
背景技术
气缸广泛应用于半导体制造工艺，它经常代替马达完成一些简单的带动其他部件运动的动作，其使用简便且成本较低。但是气缸在运作时会出现一些潜在的风险，包括气缸由于长时间使用出现老化、气缸本身的质量问题以及相关部件的损坏等等。
在气缸运作过程中，若气缸内的活塞进行迅速的非正常运动，将会使气缸耗损度增大，因此，控制气缸内活塞的运作速度至关重要。具体请参考图1a和图1b，其为现有技术中气缸控制装置结构示意图。如图1a所示，所述气缸控制装置包括气缸101、电磁阀105、第一限流阀102以及第二限流阀104，所述电磁阀105、第二限流阀104、气缸101和第一限流阀102依次连接形成气流回路。气体按图1a中箭头所示方向流动时，气体从气缸101的B端流入，从气缸101的A端流出，通过气缸101内外的压力差将活塞103向气缸101底部(靠近第一限流阀102的一端)推进。其中，第一限流阀102对气体的流速进行控制，而第二限流阀104对气体的流速不进行控制。若从电磁阀105流出的气体速度有异常，由于第二限流阀104对气体的流速不进行控制，由气流形成的压强作用于活塞103，则活塞103的起动速度也会有异常。
同样，如图1b所示，其为与图1a气体流动的方向相反时的气缸控制装置结构示意图。当气体按图1b中箭头所示方向流动时，气体从气缸101的A端流入，从气缸101的B端流出，通过气缸101内外的压力差将活塞102向气缸101顶部(靠近第二限流阀104)推进。其中，第二限流阀104对气体的流速进行控制，而第一限流阀102对气体的流速不进行控制。若从电磁阀105流出的气体速度有异常，由于第一限流阀102对气体的流速不进行控制，由气流形成的压强作用于活塞103，则活塞103的起动速度也会有异常。
由上述分析可知，现有的气缸控制装置无法有效的控制气缸活塞的起动速度，不能确保气缸稳定安全的工作，增大了气缸的耗损度。
实用新型内容
本实用新型提供一种气缸控制装置，以解决现有的气缸运动装置无法有效的控制进入到气缸内的气体的流速的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种气缸控制装置，所述气缸控制装置包括气缸、电磁阀、第一限流阀以及第二限流阀，所述电磁阀、所述第二限流阀、所述气缸、所述第一限流阀依次连接形成气流回路，所述气缸控制装置还包括第三限流阀和第四限流阀，所述第三限流阀与所述第一限流阀反向串接，所述第四限流阀与所述第二限流阀反向串接。
优选地，所述第一限流阀是针阀。
优选地，所述第二限流阀是针阀。
优选地，所述第三限流阀是针阀。
优选地，所述第四限流阀是针阀。
本实用新型提供的气缸控制装置，在气流回路中串接了第三限流阀和第四限流阀，其利用第三限流阀和第四限流阀分别在不同的气体流动方向情况下，对气缸起动速度进行控制，从而使气缸内活塞的运动速度稳定，能确保气缸稳定安全的工作，增强了气缸的安全系数。
附图说明
参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式以后，将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中，
图1a为现有技术中气缸控制装置结构示意图；
图1b为与图1a气体流动的方向相反时的气缸控制装置结构示意图；
图2a为本实用新型实施例提供的气缸控制装置的结构示意图；
图2b为与图2a对应的装置中气缸运动结束时的结构示意图；
图2c为与图2a气体流动方向相反的气缸控制装置的结构示意图；以及
图2d为与图2c对应的装置中气缸运动结束时的结构示意图。
具体实施方式
下面参照附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。在整个描述中，相同的附图标记表示相同的部件。
本实用新型的核心思想在于，提供一种气缸控制装置，所述气缸控制装置在气流回路中串接了第三限流阀和第四限流阀，其利用第三限流阀和第四限流阀分别在不同的气体流动方向情况下，对气缸起动速度进行控制，从而使气缸内活塞的运动速度稳定，确保气缸稳定安全的工作，增强了气缸的安全系数。
请参考图2a，其为本实用新型实施例提供的气缸控制装置的结构示意图。如图2a所示，所述气缸控制装置200包括气缸201、电磁阀202、第一限流阀203、第二限流阀204、第三限流阀205和第四限流阀206，电磁阀202、第四限流阀206、第二限流阀204、气缸201、第一限流阀203、第三限流阀205依次连接形成气流回路，所述第三限流阀205与所述第一限流阀203反向串接，所述第四限流阀206与所述第二限流阀204反向串接。
在本实施例中，第一限流阀203、第二限流阀204、第三限流阀205以及第四限流阀206是针阀。然而，本领域的普通技术人员应理解的是，所述第一限流阀203、第二限流阀204、第三限流阀205以及第四限流阀206不仅仅局限于针阀，还可以是其它具有调节气体流量的阀门。
在本实施例中，电磁阀202通过电信号的通断切换气体的流向。如图2a所示，气体从电磁阀202的b端流出，依次流经第四限流阀206和第二限流阀204，其中第四限流阀206对气体进行限流，而第二限流阀204与第四限流阀206连接的方向相反，第二限流阀204对气体不进行限流。气体流出第二限流阀204后从B处进入气缸201顶部，推动气缸201内活塞207运动从而压缩气缸201内气体使压强增大，气缸201内气体从A处流出，进入气缸201膛侧连接的管道，依次流经第一限流阀203和第三限流阀205。其中，第一限流阀203对气体进行限流，而第三限流阀205与第一限流阀203连接的方向相反，第三限流阀205对气体不进行限流。最后气体从第三限流阀205流出，流入电磁阀202的a端。图2a所示箭头表示气体流动的方向。通过第四限流阀206对流经气体的限流作用控制活塞207的起动速度，从而使气缸内活塞的运动速度稳定，能确保气缸稳定安全的工作，增强了气缸的安全系数。
请继续参考图2b，其为与图2a对应的装置中气缸运动结束时的结构示意图。如图2b所示，气体从B处进入气缸201顶部，逐渐将气缸201内活塞207推向气缸201底部，直至气缸内外压强相等，则活塞207停止运动。
请参考图2c，其为与图2a气体流动方向相反的气缸控制装置的结构示意图。如图2c所示，电磁阀202通过电信号的通断切换气体的流向，气体流动的方向与图2a气体流动的方向相反。气体从电磁阀202的a端流出，依次流经第三限流阀205和第一限流阀203，其中第三限流阀205对气体进行限流，而第一限流阀203与第三限流阀205连接的方向相反，第一限流阀203对气体不进行限流。气体流出第一限流阀203从A处进入气缸201膛侧，气缸201内部压强逐渐增大，推动气缸201内活塞207向气缸201顶部运动，留在活塞207与气缸201顶部之间的气体被挤压，流入第二限流阀204，再流经第四限流阀206。其中第二限流阀204对气体进行限流，而第四限流阀206与第二限流阀204连接的方向相反，第四限流阀206对气体不进行限流。最后气体从B处流出，经过第四限流阀206和第二限流阀204，流入电磁阀202的b端。图2a所示箭头表示气体流动的方向。通过第三限流阀205对流经气体的限流作用控制活塞207的起动速度，从而使气缸内活塞的运动速度稳定，能确保气缸稳定安全的工作，增强了气缸的安全系数。
请继续参考图2d，其为与图2c对应的装置中气缸运动结束时的结构示意图。如图2d所示，气体从A处进入气缸201内部，逐渐将气缸201内活塞207推向气缸201顶部，直至气缸内外压强相等，则活塞207停止运动。
在本实施例中，气体是洁静干燥空气。本领域的普通工作人员应所述理解，气体不仅仅局限于洁净干燥空气还可以是其它的气体。
综上所述，本实施例中的气缸控制装置200利用第三限流阀205和第四限流阀206分别在不同的气体流动方向情况下，对气缸201的起动速度进行控制，从而使气缸201内活塞207的运动速度稳定，确保气缸201正常工作。
上文中，参照附图描述了本实用新型的具体实施方式。但是，本领域中的普通技术人员能够理解，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以对本实用新型的具体实施方式作各种变更和替换。这些变更和替换都落在本实用新型权利要求书所限定的范围内。
Claims (5)
1.一种气缸控制装置，包括气缸、电磁阀、第一限流阀以及第二限流阀，所述电磁阀、第二限流阀、气缸和第一限流阀依次连接形成气流回路，其特征在于，所述气缸控制装置还包括第三限流阀和第四限流阀，所述第三限流阀与所述第一限流阀反向串接，所述第四限流阀与所述第二限流阀反向串接。
2.根据权利要求1所述的气缸控制装置，其特征在于，所述第一限流阀是针阀。
3.根据权利要求1所述的气缸控制装置，其特征在于，所述第二限流阀是针阀。
4.根据权利要求1所述的气缸控制装置，其特征在于，所述第三限流阀是针阀。
5.根据权利要求1所述的气缸控制装置，其特征在于，所述第四限流阀是针阀。
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|---|---|---|---|---|
| WO2023015577A1 (zh) * | 2021-08-09 | 2023-02-16 | 长鑫存储技术有限公司 | 气体循环装置、气体循环方法、气动装置和半导体设备 |
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