CN201816150U - 多线切割机主辊驱动张力调节装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多线切割机主辊驱动张力调节装置,包括电机安装座、电机安装板、上调整块、下调整块、调整螺杆、定位销等;电机安装座与设备底板经紧固螺栓呈平面连接,电机安装板与电机安装座经定位销和紧固螺栓呈平面连接,上调整块与电机安装座连接,下调整块与电机安装板连接。本实用新型通过增加定位销和用于接纳其的长槽形定位孔、调整块和调整螺杆及改变用于接纳紧固螺栓的螺栓孔形状。利用调整螺杆旋转调整电机安装板的上下位置来调节皮带的张紧,克服了现有电机重量大导致皮带张力不易调整的缺陷。
Description
技术领域
本实用新型涉及多线切割设备领域,具体是指可以根据张力计设定多线切割机主辊驱动皮带松紧的调节装置,用以提高多线切割机切片质量和对皮带的兼容性。
背景技术
在目前的半导体和太阳能升产行业中,硅片加工多使用多线切割机,它的原理是通过一根高速运动的钢丝,带动附着在钢丝的切割磨料对硅等半导体脆硬材料进行磨削加工,从而达到切割效果。在整个切割过程中,钢丝通过多个导向轮的换向引导,在主辊上形成一张由若干平行钢丝组成的线网,而待加工的工件通过工件进给装置实现进给,可以将硅棒等脆硬材料一次同时切割为数百片,多线切割技术具有切割效率高、切片质量好、精度高等优点,业内已逐渐取代传统的内圆切割,是目前采用最广泛的半导体等脆硬材料的切割技术。
在硅片切割过程中,切割钢丝受很大的磨削力,缠绕钢丝的主辊转动要均匀、平稳,这样才能防止主辊转速突变造成硅片厚度不均匀、碎片和线痕等质量缺陷,这对电机所传递给主辊的驱动力以及电机主轴与主辊平行度提出了较高要求。现有调节装置存在如下问题:主辊安装紧固以后,电机安装必须以主辊的主轴位置为基准,调节电机上下位置;但是,这种装置要调整好电机位置非常麻烦,以至于费时费力还很难确保电机主轴与主辊主轴之间的平行度,从而造成多线切割机所切割出的硅片厚度不均,合格率低,还会导致切割钢丝发生跳线、断线等,影响设备的正常使用。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是,针对现有技术存在的缺陷,提供多线切割机主辊驱动张力调节装置,该装置在设备底座固定以后,只需经过简单调整就能使主辊驱动电机按照主辊主轴基准定位,确保驱动皮带的松紧程度以及电机主轴与主辊主轴之间的平行度,从而消除硅片厚薄不均,合格率低及钢丝跳线、断线现象。
本实用新型的技术方案是,所述多线切割机主辊驱动张力调节装置的组成是,电机安装座底部用A紧固螺栓固定在切割设备底板上并同该切割设备底板成平面连接,电机安装板与电机安装座的竖板经定位销和B紧固螺栓成平面连接;上调整块通过A螺栓与电机安装座连接,下调整块通过B螺栓与电机安装板连接;调整螺杆上端通过上调整块的开口腰形光孔与该上调整块连接而所述调整螺杆的下端通过螺纹副与下调整块连接;电机安装座上用于接纳定位销的定位孔和用于接纳B紧固螺栓的定位孔均为竖向的长槽形定位孔。
以下对本实用新型做出进一步说明。
本实用新型的技术原理是(参见图1),由于增加了定位销1及接纳定位销1的长槽形定位孔6,定位销1及长槽形定位孔6的数量根据实际情况而定,一般为2个;利用上调整块4和下调整块3与调整螺杆2及改变用于接纳B紧固螺栓13的螺栓孔为长槽形定位孔7,当电机安装座9固定以后,如果主辊驱动皮带出现过紧和过松时,只要拧松电机安装板5的B紧固螺栓13,旋转调整螺杆2即可调整电机安装板5的位置,从而改变电机驱动皮带松紧,此装置改进简单,方便实用。
本实用新型克服了现有技术电机安装座上用于接纳定位螺栓的螺栓孔为圆形,电机(重量较大)不能上下调整的缺陷,因为用圆形螺栓孔来调整时,电机和电机安装座只能整体调整,在电机重量较大时调整更加困难,而本发明通过改变两者的相对位置较容易实现。
由以上可知,本实用新型为一种多线切割机主辊驱动张力调节装置,该装置在设备底座固定以后,只需经过简单调整就能使主辊驱动电机按照主辊主轴基准定位,确保驱动皮带的松紧程度以及电机主轴与主辊主轴之间的平行度,从而消除硅片厚薄不均,合格率低及钢丝跳线、断线现象。
附图说明
图1是本实用新型一种实施例的整体结构示意图;
图2是图1所示装置的俯视结构示意图;
图3是本实用新型装置的使用状态示意图;
图4是图3左视结构示意图。
在图中:
1—定位销, 2—调整螺杆, 3—下调整块,
4—上调整块, 5—电机安装板, 6—定位孔,
7—定位孔, 8—设备底板, 9—电机安装座,
10—主辊, 11—驱动皮带, 12—电动机,
13—B紧固螺栓, 14—A螺栓, 15—B螺栓,
16—A紧固螺栓, 17—支持螺栓。
具体实施方式
参见图1和图2,所述多线切割机主辊驱动张力调节装置的组成是,电机安装座9底部用6个A紧固螺栓16固定在切割设备底板8上并同该切割设备底板8成平面连接,电机安装板5与电机安装座9的竖板经2个定位销1和4个B紧固螺栓13成平面连接;上调整块4通过A螺栓14与电机安装座9连接,下调整块3通过B螺栓15与电机安装板5连接;调整螺杆2上端通过上调整块4的开口腰形光孔与该上调整块4连接而所述调整螺杆2的下端通过螺纹副与下调整块3连接;电机安装座9上用于接纳定位销1的定位孔6和用于接纳B紧固螺栓13的定位孔7均为竖向的长槽形定位孔。
调整螺杆2的上端是有限位台阶的光轴,顶端是用于扳手夹紧的六方结构。
电机安装板5底部装有支撑螺栓17,用以防止电机安装板5突然下降。
Claims (3)
1.一种多线切割机主辊驱动张力调节装置,它的电机安装座(9)底部用A紧固螺栓(16)固定在切割设备底板(8)上并同该切割设备底板(8)成平面连接,其特征是,电机安装板(5)与电机安装座(9)的竖板经定位销(1)和B紧固螺栓(13)成平面连接;上调整块(4)通过A螺栓(14)与电机安装座(9)连接,下调整块(3)通过B螺栓(15)与电机安装板(5)连接;调整螺杆(2)上端通过上调整块(4)的开口腰形光孔与该上调整块(4)连接而所述调整螺杆(2)的下端通过螺纹副与下调整块(3)连接;电机安装座(9)上用于接纳定位销(1)的定位孔(6)和用于接纳B紧固螺栓(13)的定位孔(7)均为竖向的长槽形定位孔。
2.根据权利要求1所述多线切割机主辊驱动张力调节装置,其特征是,调整螺杆(2)的上端是有限位台阶的光轴,顶端是用于扳手夹紧的六方结构。
3.根据权利要求1所述多线切割机主辊驱动张力调节装置,其特征是,电机安装板(5)底部装有支撑螺栓(17)。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102198703A (zh) * | 2011-05-10 | 2011-09-28 | 山东大学 | 一种组合液压缸串珠绳均匀张紧装置 |
CN103692036A (zh) * | 2013-12-13 | 2014-04-02 | 苏州市职业大学 | 一种线切割张紧装置 |
CN107520503A (zh) * | 2017-09-29 | 2017-12-29 | 大连佳诚日田科技发展有限公司 | 一种锯切行走装置 |
CN108789479A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-13 | 广州市蚺灵科技有限公司 | 一种模块化机械臂的关节结构 |
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