CN201812845U - 一种用于太阳能电池片生产的石墨舟 - Google Patents

一种用于太阳能电池片生产的石墨舟 Download PDF

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张志杰
李秉霖
吴志强
武明
刘斌贤
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Abstract

本实用新型涉及一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电离并沉积的过程中,石墨舟板间电场强度产生改变,从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化,而呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。

Description

一种用于太阳能电池片生产的石墨舟
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能电池制作工具,具体涉及一种用于太阳能电池片生产的石墨舟。
背景技术
在晶体硅太阳能电池生产领域,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是目前主流的镀减反射膜的方法。PECVD设备主要有两种,即板式PECVD与管式PECVD。管式PECVD使用石墨舟作为硅片载体,在石墨周片间通入高频的射频电源,硅片作为电极的一部分,石墨舟片之间的间距均匀一致,故其中的电场强度均匀一致,通过此方法得到的减反射膜的厚度相同,颜色主要以蓝黑色为主。随着光伏行业的不断进步及光伏与建筑一体化的发展,市场对光伏产品提出了更高的要求,不但要保证效率的不断提升,对电池片的外观,尤其是颜色提出了更苛刻的要求。目前现有制作彩色电池片的工艺,可以实现整片显示某种颜色,如红、黄、绿等,但无法实现片内的彩色化。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电离并沉积的过程中,石墨舟板间电场强度产生改变,从而电池片表面的减反射膜的厚度发生变化,而呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。
本实用新型的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟技术方案为,包括石墨舟板,所述的石墨舟板放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。
所述的板面上的凸起高度为1mm-10mm,单片硅片范围内的板面上的凸起有高度差。所述的板面上的凸起组成有规则的图形、者图案或者是组成无规则的图形或图案。
本实用新型的有益效果为:本实用新型的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,该石墨舟放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起,在等离子体电离并沉积的过程中,石墨舟板两板之间的电场强度由于板面上的凸起从而产生改变,电场强度高的地方电离较为充分,沉积到电池片表面的膜层就较厚,单片电池片表面的减反射膜的厚度发生变化,呈现出不同的颜色,形成单片不同颜色的彩色太阳能电池片。满足了光伏与建筑一体化发展过程中对光伏产品的外观要求。
附图说明:
图1所示为本实用新型实施例1基本结构示意图;
图2所示为本实用新型实施例2基本结构示意图
图3所示为本实用新型实施例3基本结构示意图。
图中,1.石墨舟,2.硅片。
具体实施方式:
为了更好地理解本实用新型,下面结合附图来详细说明本实用新型的技术方案,但是本实用新型并不局限于此。
实施例1
硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后,准备放入石墨舟1,进入PECVD装置,镀减反射膜。
如附图1所示,石墨舟1放置硅片2的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。板面上的凸起为间隔的阶梯状,阶梯间隔距离为 1cm-3cm,阶梯高度为1mm-10mm不等。
镀减反射膜完成之后,将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。
实施例2
硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后,准备放入石墨舟1,进入PECVD装置,镀减反射膜。
如附图2所示,石墨舟1放置硅片2的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。板面上的凸起为锯齿状,锯齿底部宽度为 1cm-15cm,锯齿顶端高度为5mm。
镀减反射膜完成之后,将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。
实施例3
硅片2经过制绒、清洗、扩散、边缘绝缘、去磷硅玻璃等步骤之后,准备放入石墨舟1,进入PECVD装置,镀减反射膜。
如附图3所示,石墨舟1放置硅片2的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。板面上的凸起为连续的阶梯状,每层宽度为 1cm-5cm,阶梯高度为1mm-10mm不等。
镀减反射膜完成之后,将硅片2取出进行丝网印刷、烧结及检测分选。形成单片片内颜色不同的彩色太阳能电池片。

Claims (5)

1.一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,包括石墨舟板,其特征在于,所述的石墨舟板放置硅片的板面为平面,内部相对的板面设有凸起。
2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,所述的板面上的凸起高度为1mm-10mm。
3.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,单片硅片范围内的板面上的凸起有高度差。
4.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,所述的板面上的凸起组成有规则的图形或者图案。
5.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片生产的石墨舟,其特征在于,所述的板面上的凸起组成无规则的图形或者图案。
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