CN201730791U - 一种贮槽式液氦低温吸附泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种贮槽式液氦低温吸附泵,包括有壳体,壳体上有连接法兰,法兰和被抽真空的系统的空间相连接,壳体内安装有液氮杜瓦、液氦杜瓦,液氦杜瓦为双层结构,位于液氮杜瓦内侧,液氦杜瓦底部为低温吸附面,液氮杜瓦底部布置有人字形辐射挡板,整个泵体通过底部法兰与真空系统连接。实际使用中,本实用新型贮槽式4.2K液氦低温吸附泵在极其复杂的电磁环境下(如用在NBI中性束注入设备)使用,吸附面对H2的比抽速可达到12L/s.cm2,对氦也具备一定的抽速,可达到8.5L/s.cm2,工作稳定可靠且有优越的气体负荷适应能力。
Description
技术领域
本实用新型涉及低温真空抽气领域,具体说是一种低温泵,尤其是一种贮槽式液氦低温吸附泵。
背景技术
低温泵是低温技术和真空技术相结合的产物,是利用低温抽气机理来获得和维持高真空和超高真空的设备。低温抽气就是在低温下使被抽空间的气体由低温表面冷凝、捕集或吸附,从而使被抽空间的压强大大降低以获得并维持一定的真空状态。目前,在低温真空抽气领域采用的大多是低温冷凝泵,其获得的极限压强取决于吸附质气体在当前温度下的饱和蒸汽压,且低温冷凝所形成的霜层对冷凝板温度波动、外界负荷冲击的承受能力十分有限,很难获得较稳定的真空环境。因此,迫切需要一种新的技术设备来解决这个问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种贮槽式液氦低温吸附泵,以克服现有技术低温冷凝泵很难获得较稳定的真空环境的问题。
为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:
一种贮槽式液氦低温吸附泵,包括有顶端开有进液敞口的壳体,所述壳体上安装有法兰,所述壳体内设置有充有液氮的液氮杜瓦、充有液氦的液氦杜瓦,所述液氦杜瓦与液氮杜瓦均开有朝向壳体进液敞口的进液开口,其特征在于:所述液氦杜瓦位于所述液氮杜瓦内部,所述液氦杜瓦底部为低温吸附面,所述液氮杜瓦内部还设置有辐射挡板,所述辐射挡板位于所述液氦杜瓦底部的低温吸附面与所述液氮杜瓦底部平面之间。
所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述液氦杜瓦外部包围有用于屏蔽室温热辐射的液氮杜瓦。
所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述液氦杜瓦为双层杜瓦结构。
所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述液氦杜瓦底部的低温吸附面为表面均匀粘结有吸附剂层的金属板。
所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述吸附剂为活性炭。
所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述辐射挡板为多个人字形叶片焊接组装而成,辐射挡板与所述液氮杜瓦内壁焊接连接。
本实用新型包括有壳体,壳体上安装有法兰,整个泵体通过法兰和被抽真空系统的空间相连接,壳体内安装有液氮杜瓦、液氦杜瓦,液氦杜瓦为双层结构,位于液氮杜瓦内侧,液氦杜瓦底部为不锈钢材料的低温吸附面,液氮杜瓦底部布置有由多个人字形叶片焊接组装为一体的人字形辐射挡板。液氦杜瓦底部低温吸附面为不锈钢材料,表面均匀粘结有吸附剂---活性炭。液氮杜瓦底部布置的人字形辐射挡板为铜质材料,通过焊接固定在液氮杜瓦内侧,作为低温吸附面的热屏蔽层。
本实用新型中,液氦杜瓦为双层结构,中间进行抽真空处理,外侧设置有用于屏蔽室温热辐射的液氮杜瓦,大大地减少了液氦杜瓦的热负载。低温吸附面的下侧与液氮杜瓦底面之间布置有人字形辐射挡板,以屏蔽室温对低温吸附面的热辐射及冷却气体分子。人字形辐射挡板焊接在液氮杜瓦内侧,使人字形辐射挡板充分冷却。
本实用新型结构简单,安装方便,工作稳定可靠,又能对一些非可凝性气体具有一定的抽速,而且还能获得稳定的高真空环境。
本实用新型具有以下优点:
1、结构简单,易于加工、装配和维护。
2、使用的吸附剂价格低廉,购买方便,具有很强的经济效益。
3、可以获得无污染的洁净真空,且再生速度快,再生后抽气性能下降小。
4、具有良好的低温真空性能,且对于氦等非可凝性气体具有一定的抽速,可以在复杂的电磁环境下长时间工作。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
如图1所示。一种贮槽式液氦低温吸附泵,包括有顶端开有进液敞口的壳体1,壳体1上安装有法兰5,壳体1内设置有充有液氮的液氮杜瓦2、充有液氦的双层结构的液氦杜瓦3。液氦杜瓦3位于液氮杜瓦2内部,液氦杜瓦3与液氮杜瓦2均开有朝向壳体1进液敞口的进液开口,液氦杜瓦3底部为低温吸附面4,液氦杜瓦3底部的低温吸附面4采用不锈钢材料制成,表面均匀粘结有吸附剂-活性炭。液氮杜瓦2内部还设置有辐射挡板6,辐射挡板6由多个人字形叶片焊接组装而成,辐射挡板6与液氮杜瓦2内壁焊接连接,辐射挡板6采用铜质材料制成,辐射挡板6位于液氦杜瓦3底部的低温吸附面4与液氮杜瓦2的底部平面之间。
实际使用中,本实用新型在极其复杂的电磁环境下(如用在NBI中性束注入设备)使用,低温吸附面对H2的比抽速可达到12L/s.cm2,对氦也具备一定的抽速,可达到8.5L/s.cm2,工作稳定可靠且有优越的气体负荷适应能力。
Claims (6)
1.一种贮槽式液氦低温吸附泵,包括有顶端开有进液敞口的壳体,所述壳体上安装有法兰,所述壳体内设置有充有液氮的液氮杜瓦、充有液氦的液氦杜瓦,所述液氦杜瓦与液氮杜瓦均开有朝向壳体进液敞口的进液开口,其特征在于:所述液氦杜瓦位于所述液氮杜瓦内部,所述液氦杜瓦底部为低温吸附面,所述液氮杜瓦内部还设置有辐射挡板,所述辐射挡板位于所述液氦杜瓦底部的低温吸附面与所述液氮杜瓦底部平面之间。
2.根据权利要求1所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述液氦杜瓦外部包围有用于屏蔽室温热辐射的液氮杜瓦。
3.根据权利要求1所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述液氦杜瓦为双层杜瓦结构。
4.根据权利要求1所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述液氦杜瓦底部的低温吸附面为表面均匀粘结有吸附剂层的金属板。
5.根据权利要求4所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述吸附剂为活性炭。
6.根据权利要求1所述的一种贮槽式液氦低温吸附泵,其特征在于:所述辐射挡板为多个人字形叶片焊接组装而成,辐射挡板与所述液氮杜瓦内壁焊接连接。
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