CN201711304U - 一种用于单晶硅片清洗的洗片机 - Google Patents
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Abstract
一种用于单晶硅片清洗的洗片机，包括一工作台，工作台上设置有至少一排挂架，在挂架的下方设置有水管，每两根水管中间的正上方是挂架，在水管上设置有可调节的喷嘴组，喷嘴组的下方设置有排水槽，工作时将单晶硅片悬挂于挂架上，水通过水管从喷嘴组中喷出，喷嘴组的方向可调，可根据清洗要求调整喷水的方向，洗的水通过排水槽排到工作台的下水道中，本实用新型能够将单晶硅片挂上并从各种角度清洗，能使工作效率提高，并且清洗得更加干净。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种清洗设备，特别涉及一种用于单晶硅片清洗的洗片机。
背景技术
单晶硅片在生产打磨好后需要清洗表面的污垢，现有的清洗设备比较传统，就是将单晶硅片放入放入水槽中冲洗。这样方式洗得很不干净，而且由于单晶硅片比较薄，很多都重叠在一起，所以每次清洗非常不方便。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅片清洗的洗片机，能够将单晶硅片挂上并从各种角度清洗，能使工作效率提高，并且清洗得更加干净。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种用于单晶硅片清洗的洗片机，包括一工作台1，工作台1上设置有至少一排挂架2，在挂架2的下方设置有水管3，每两根水管3中间的正上方是挂架2，在水管3上设置有可调节的喷嘴组4，喷嘴组4的下方设置有排水槽5。
由于本实用新型设置有挂架2，所以可将单晶硅片悬挂于上面；由于喷嘴组4可调节，可对悬挂于挂架2上的单晶硅片从各个角度冲洗。
附图说明
附图是本实用新型的结构原理图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作详细叙述。
参照附图，一种用于单晶硅片清洗的洗片机，包括一工作台1，工作台1上设置有至少一排挂架2，用于悬挂单晶硅片，在挂架2的下方设置有水管3，每两根水管3中间的正上方是挂架2，在水管3上设置有可调节的喷嘴组4，喷嘴组4的下方设置有排水槽5，冲洗的水通过排水槽5排到工作台1的下水道中。
本实用新型的工作原理为：将单晶硅片悬挂于挂架2上，水通过水管3从喷嘴组中喷出，喷嘴组的方向可调，可根据清洗要求调整喷水的方向。冲洗的水通过排水槽5排到工作台1的下水道中。
Claims (2)
1.一种用于单晶硅片清洗的洗片机，其特征在于，包括一工作台(1)，工作台(1)上设置有至少一排挂架(2)，在挂架(2)的下方设置有水管(3)，在水管(3)上设置有可调节的喷嘴组(4)，喷嘴组(4)的下方设置有排水槽(5)。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅片清洗的洗片机，其特征在于，每两根水管(3)中间的正上方是挂架(2)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201020241550XU CN201711304U (zh) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | 一种用于单晶硅片清洗的洗片机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201020241550XU CN201711304U (zh) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | 一种用于单晶硅片清洗的洗片机 |
Publications (1)
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| CN201711304U true CN201711304U (zh) | 2011-01-19 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN201711304U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105618414A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-06-01 | 李赵和 | 一种半导体硅片清洗机双头清洗枪 |
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2010
- 2010-06-28 CN CN201020241550XU patent/CN201711304U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN105618414A (zh) * | 2016-03-15 | 2016-06-01 | 李赵和 | 一种半导体硅片清洗机双头清洗枪 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110119 Termination date: 20120628 |