CN201562820U - 一种射频插头自动对接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种射频插头自动对接装置。本实用新型在现有的射频插头对接方式的基础上，为夹具、射频公头和射频母头分别增加了定位装置，在人工推拉夹具的同时，利用上述定位装置，迅速实现射频插头(公头和母头)的对接和拔脱。与现有手工插接射频插头相比，本实用新型可大大提高对接效率，并实现了机械化、自动化，把人从繁重，危险的工作中解放出来，使生产方式得到彻底的改善。本实用新型的自动对接装置简单、有效，不增加机器的控制难度，非常容易实现，可以有效控制制造成本。

Description

一种射频插头自动对接装置

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别是涉及一种PECVD用射频插头自动对接装置。

背景技术

在薄膜太阳能电池制造过程中，PECVD沉积需要在PECVD炉中进行，需要将装满玻璃基板的夹具预加热至250℃左右后，推入PECVD炉(炉内温度约300℃)，对接射频插头公头和母头，完成线路连接，然后关闭炉门执行炉内工艺过程，最后打开炉门，拔脱射频插头公头和母头，人工将夹具拉出PECVD炉。PECVD用夹具射频电缆电缆连接方式如图1所示。

在这个工作过程中，射频插头(即射频公头和射频母头)的对接都是通过人工完成的，操作人员需要在高温环境下完成多个射频插头的对接、拔脱，是一件比较困难且危险的工作。

为提高生产效率，保证安全生产。由机器代替人来完成简单且危险的工作是符合市场需要的。但是目前的技术下，机器大多只能完成简单的动作，要将多个几乎处于自由状态的射频插头完成对接和拔脱，几乎不可能。

因此有必要提供一种简单的装置，在人工推拉夹具时，可以同步完成射频插头的插拔动作，简单有效地完成射频插头公头和母头的自动对接和拔脱。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种射频插头自动对接装置。

现有的射频插头对接是依靠人工进行的，射频插头公头和射频插头母头几乎处于自由状态，为实现本实用新型的目的，本实用新型分别增加了夹具、射频公头和射频母头的定位装置，在人工推拉夹具的同时，利用上述定位装置，迅速实现频插头公头和射频插头母头的对接和拔脱。

具体的说，本实用新型在现有的射频插头对接装置(包括夹具、夹具脚轮、射频插头公头和射频插头母头，所述夹具用于承载基板，夹具脚轮位于夹具底部，便于推拉夹具，射频插头母头通过射频电缆与夹具上的基板相连，射频插头公头通过射频电缆与电源相连)的基础上增加了导轨，所述导轨固定在炉膛底部，为所述夹具脚轮提供运行轨道，通过夹具脚轮限制夹具只在推拉方向行走。

另外，本实用新型所述的装置，还包括公头电极板和托架；

所述公头电极板为孔板，其上用于安装射频插头公头的孔以一定规则排列，使射频插头公头以一定规则排列；优选平行于炉膛底部“一”字排列；

所述托架为槽型结构，固定在炉膛底部，用于承载公头电极板和限制公头电极板的位置，使公头电极板能够垂直于炉膛底部放置，并使公头电极板能够在上下左右各方向进行小范围的活动，如通过调整固定位置等方式在槽中有少量的上下左右活动空间。

所述托架的固定可采用本领域的常用方式进行，优选以轴座的方式固定，因此本实用新型所述的装置还包括一个轴座，位于托架的中部，并固定在炉膛底部，承载托架，使托架可以轴座为轴心小范围摆动，有一定的自由转动空间(见图9所示)。

所述导轨与所述轴座需要保持较为严格的位置关系。

同时，本实用新型所述的装置还包括母头电极板；所述母头电极板为孔板，用于安装射频插头母头的孔的排列方式与公头电极板上的射频插头公头的孔的排列方式相对应，使射频插头母头与射频插头公头一一对应；优选平行于炉膛底部“一”字排列并与射频插头公头一一对应，所述母头电极板固定在夹具上。

所述母头电极板的固定可以采用支架固定，支架可位于母头电极板的任意位置，包括端部、中部等，所述支架与母头电极板和夹具分别连接，将母头电极板固定在夹具上。

为便于推拉，本实用新型所述的装置还包括牵引部，所述牵引部可位于支架或母头电极板上，用于推拉母头电极板，在本领域中一般为电工纯铁。

为提高射频母头和射频公头的对接效率，本实用新型所述的装置还包括导柱和导套；所述导柱设置在母头电极板(公头电极板)上，所述公头电极板(母头电极板)的相应位置还设置有与所述导柱相配合的导套；

所述导柱(见图5)由安装部分、限位部分、导向部分和引导部分组成，所述导套(见图6)由与导柱相对应的安装部分、限位部分、导向部分和引导部分组成；所述导柱和导套的安装部分分别用于将导柱或导套安装到母头电极板或公头电极板上，所述导柱的引导部分为锥形结构，所述导套的引导部分为直径略大于锥形最大直径的圆孔，在推进夹具时，所述导柱的引导部分先于射频插头母头(射频插头公头)接触到射频公头或公头电极板(射频母头或母头电极板)，其锥形结构与位于公头电极板(母头电极板)上的导套的引导部分对接，随后引导导柱和导套的导向部分对接，并同时或随后引导射频公头和射频母头对接；最后导柱和导套的限位部分对接，同时射频公头和射频母头完全对接，防止射频母头过多插入射频公头。

为更好的防止射频母头过多插入射频公头，所述导柱和导套的导向部分的长度相同，并都大于等于射频插头公头和母头的对接长度。

特别优选大于射频插头公头和母头的对接长度，这样，导柱的导向部分进入导套的导向部分，不会产生错位后，才进行射频插头公头和射频插头母头的对接，能够保证对接的准确性。

为使导柱和导套的限位部分确实起到防止射频母头过多插入射频公头的作用，安装在公头电极板(母头电极板)上的导套与射频插头公头(射频插头母头)之间要保持严格的位置关系，并且与导柱、射频插头母头的位置关系一一对应；同时导柱与射频插头母头(射频插头公头)之间要保持严格的位置关系，并且与导套、射频插头母头(射频插头公头)的位置关系一一对应。

与现有手工插接射频插头相比，本实用新型可大大提高对接效率，并实现了机械化、自动化，把人从繁重，危险的工作中解放出来，使生产方式得到彻底的改善；另外，本实用新型的自动对接装置简单、有效，不增加机器的控制难度，非常容易实现，并且可以有效控制制造成本。

附图说明

图1为现有的射频插头(包括射频公头和母头)对接方式示意图。

图2为本实用新型的射频插头自动对接装置的左视图。

图3为本实用新型的射频插头自动对接装置的正视图。

图4为本实用新型的射频插头自动对接装置的仰视图。

图5和图6分别为导柱和导套的示意图。

图7为安装本实用新型的射频插头自动对接装置后，位于夹具上的电极插头部分的示意图。

图8为安装本实用新型的射频插头自动对接装置后，位于炉膛内的电极插头部分的示意图。

图9为托架示意图。

图中：1、夹具；2、射频电缆；3、射频插头母头；4、射频插头公头；5、母头电极板；6、导柱；7、导轨；8、导轨挡边；9、公头电极板；10、轴座；11、托架；12、支架；13、牵引部；14、导套；15、夹具脚轮；16、炉体；17、夹具脚轮座；18，18’、安装部分；19，19’、限位支撑部分、20，20’、导向部分；21，21’、引导部分。

具体实施方式

以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例1

本实用新型的一个具体实施例见图2，3，4所示，其安装效果见图7和图8。

安装后的本实用新型的射频插头自动对接机构可分两大部分：第一部分是固定在夹具上的部分，包括母头电极板5；导柱6；支架12；牵引部13以及夹具1；射频电缆2；射频插头母头3；夹具脚轮15等。

射频插头母头3安装在母头电极板5上，射频插头母头3通过射频电缆2与夹具1内的电极相连，母头电极板5通过支架12与夹具1固定连接，牵引部13与母头电极板5相连(也可在其他部位)，导柱6安装在母头电极板5上，导柱6及射频插头母头3之间要保持严格的位置关系。

第二部分是炉内部分，包含射频电缆2；射频插头公头4；导轨7；导轨挡边8；公头电极板9；轴座10；托架11；导套14等。

轴座10固定在炉膛底部，托架11与轴座10相连，使托架有一定的自由转动空间，公头电极板9放在托架11的槽形结构当中，公头电极板9在槽中有少量的上下左右自由活动范围，射频插头公头4通过射频电缆2与电源相连，导套14安装在公头电极板9上。

射频插头母头3和射频插头公头4都平行于炉膛底部“一“字排列，而且保证一一对应的关系；导套14及射频插头公头4之间保持严格的位置关系，并且与导柱6的位置对应；导轨7固定在炉膛底部，与轴座10保持较为严格的位置关系。

夹具1通过牵引部13在导轨7上运动，因导轨挡边8的原因，夹具1的左右方向的运动被限制，只能进行前后运动，导轨7及其导轨挡边8配合夹具脚轮15完成射频插头(公头和母头)的粗定位。

夹具1通过牵引部13被推入炉内，通过托架11的旋转和结构材料的弹性变形来及配合间隙来消除射频插头公头4和射频插头母头3之间的角度误差，进行进一步定位；随着夹具1的推进，通过导柱6和导套14的引导结构21，21’的锥面修正射频插头公头4和射频插头母头3的位置误差，然后在通过导柱6和导套14的导向结构22，22’的柱面确保射频插头公头4和射频插头母头3能够正确平滑对接，导柱6和导套14配合完成射频插头的精确定位。

随着夹具1的运动，射频插头(公头和母头)逐渐对接，到了极限位置的时候，因为导柱和导套的限位支撑结构19，19’的作用，夹具1无法继续前进，所有插头(公头和母头)顺利完成对接，避免了电极插入过多而造成损坏。

射频插头(公头和母头)的拔脱是通过牵引部13使夹具1向后运动，带动母头电极板5运动，使安装在其上的多个射频插头母头3同时与射频插头公头4脱离完成。

显然应用本实用新型的装置，可以在推拉夹具的过程中，同时完成射频插头的对接和拔脱，大大提高对接效率，并能够防止射频插头的过度对接。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施方案对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (8)

1.一种射频插头自动对接装置，包括夹具(1)、夹具脚轮(15)、射频插头公头(4)和射频插头母头(3)，所述夹具(1)用于承载基板，夹具脚轮(15)位于夹具底部，便于推拉夹具(1)，射频插头母头(3)通过射频电缆(2)与夹具(1)上的基板相连，射频插头公头(4)通过射频电缆(2)与电源相连，其特征在于，所述射频插头自动对接装置还包括导轨(6)；所述导轨(6)固定在炉膛底部，为所述夹具脚轮(15)提供运行轨道，通过夹具脚轮(15)限制夹具(1)只在推拉方向行走。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括公头电极板(9)和托架(11)；所述公头电极板(9)为孔板，其上用于安装射频插头公头(4)的孔以一定规则排列；所述托架(11)为槽型结构，固定在炉膛底部，用于承载公头电极板(9)和限制公头电极板(9)的位置，使公头电极板(9)垂直于炉膛底部放置，并使公头电极板(9)能够在上下左右各方向进行小范围的活动来调整位置。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括轴座(10)，所述轴座(10)位于托架(11)的中部，并固定在炉膛底部，承载托架(11)，使托架(11)可以轴座为轴心小范围摆动。

4.如权利要求1、2或3所述的装置，其特征在于，还包括母头电极板(5)；所述母头电极板(5)为孔板，其上用于安装射频插头母头(3)的孔的排列方式与公头电极板(9)上的射频插头公头(4)的插孔的排列方式相对应，所述母头电极板(5)固定在夹具(1)上。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括支架(12)，所述支架(12)用于连接母头电极板(5)和夹具(1)，将母头电极板(5)固定在夹具(1)上。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述射频插头公头(4)在公头电极板(9)上平行于炉膛底部“一”字排列；所述射频插头母头(3)在母头电极板(5)上平行于炉膛底部“一”字排列并与射频插头公头(4)一一对应。

7、如权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括牵引部(13)，所述牵引部(13)位于母头电极板(5)或支架(12)上，用于推拉夹具(1)和母头电极板(5)。

8、如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述母头电极板(5)上还设置有导柱(6)，所述公头电极板(9)的相应位置还设置有与所述导柱(6)相配合的导套(14)，其中；

所述导柱(6)由安装部分(18)、限位部分(19)、导向部分(20)和引导部分(21)组成，所述导套由与导柱相对应的安装部分(18’)、限位部分(19’)、导向部分(20’)和引导部分(21’)组成；所述安装部分(19，19’)用于将导柱(6)或导套(14)安装到母头电极板(5)或公头电极板(9)上，所述导柱的引导部分(21)为锥形，所述导套的引导部分(21’)为直径略大于锥形最大直径的圆孔，在推进夹具时，所述导柱的引导部分(21)先于射频插头母头(3)接触到射频插头公头(4)或公头电极板(9)，其锥形与位于公头电极板(9)上的导套的引导部分(21’)对接，随后引导导柱和导套的导向部分(20，20’)对接，并同时或随后引导射频公头(4)和射频母头(3)对接；最后导柱和导套的限位部分(19，19’)对接，防止射频母头(3)过多插入射频公头(3)。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述导向部分(20，20’)的长度相同，并都大于等于射频插头公头(4)和射频插头母头(3)的对接长度。

10.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述公头电极板(9)上还设置有导柱(6)，所述母头电极板(5)的相应位置还设置有与所述导柱(6)相配合的导套(14)。

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