CN201559102U - 一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床 - Google Patents

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CN201559102U CN2009202835058U CN200920283505U CN201559102U CN 201559102 U CN201559102 U CN 201559102U CN 2009202835058 U CN2009202835058 U CN 2009202835058U CN 200920283505 U CN200920283505 U CN 200920283505U CN 201559102 U CN201559102 U CN 201559102U
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杨建良
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Wuxi Shangji Automation Co Ltd
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Abstract

本实用新型为一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床。其加工省时省力、效率高,设备成本低,且单晶硅、多晶硅的成品率高。其包括床身、工作台、底座,所述床身中心位置安装有工作台及其进给机构,所述床身的两侧分别对称安装有砂轮支承座,其特征在于:成对的粗精磨混合砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座前部,成对的抛光砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座后部。

Description

一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床
(-)技术领域
[0001] 本实用新型涉及数控机床自动化领域,具体为一种数控单晶硅、多晶硅专用平面 磨床。 (二)背景技术
[0002] 光伏行业是一个新兴的行业,随着光伏行业在这几年的快速发展,对单晶硅、多晶 硅的需求量日趋增大,且对单晶硅、多晶硅的加工精度及粗糙度要求也相当高。现有的单晶 硅、多晶硅磨削需通过多台普通平面磨床经过粗磨、精磨、抛光后,才能获得其平面符合要 求的单晶硅、多晶硅,其加工费时费力、效率低,多台磨床的设备成本高,且工件在不同磨床 之间的搬运、夹持,易导致工件的损坏,最后导致单晶硅、多晶硅的成品率低。
(三)发明内容
[0003] 针对上述问题,本实用新型提供了一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床,其加工 省时省力、效率高,设备成本低,且单晶硅、多晶硅的成品率高。
[0004] 一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床,其技术方案是这样的:其包括床身、工作 台、底座,所述床身中心位置安装有工作台及其进给机构,所述床身的两侧分别对称安装有 砂轮支承座,其特征在于:成对的粗精磨混合砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座前 部,成对的抛光砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座后部。
[0005] 其进一步特征在于:所述工作台安装有自动对中装置、自动压紧装置,所述床身的 前部靠近所述砂轮支承座的位置处安装有测量装置;
[0006] 粗精磨混合砂轮、抛光砂轮均通过砂轮主轴连接砂轮电机,所述砂轮电机支承于 所述砂轮架,所述砂轮架支承于砂轮拖板,所述砂轮拖板通过直线导轨安装于所述砂轮支 承座,横向伺服电机连接横向滚珠丝杠,所述横向滚珠丝杠连接所述砂轮拖板底部的螺 母;
[0007] 所述进给机构具体包括纵向伺服电机、纵向滚珠丝杆,所述纵向伺服电机连接所 述纵向滚珠丝杆,所述纵向滚珠丝杆连接所述工作台底部的螺母,所述工作台通过纵向导 轨支承于所述床身。
[0008] 本实用新型的上述结构中,成对的粗精磨混合砂轮分别对称安装于两个所述砂 轮支承座前部,成对的抛光砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座后部,工件可以经过 一台磨床直接完成粗磨、精磨、抛光,获得其平面符合要求的单晶硅、多晶硅,其加工省时省 力、效率高,设备成本低;且工件在无需在不同的磨床之间的搬运、夹持,从而单晶硅、多晶 硅的成品率高。
(四)附图说明
[0009] 图1为本实用新型的俯视图结构示意图;
[0010] 图2为本实用新型的右视图结构示意图。(五)具体实施方式:
[0011] 见图1、图2,其包括床身1、工作台2,床身1中心位置安装有工作台2及其进给机 构,床身1的两侧分别对称安装有砂轮支承座4,成对的粗精磨混合砂轮5分别对称安装于 两个砂轮支承座4前部,成对的抛光砂轮6分别对称安装于两个砂轮支承座4后部。
[0012] 工作台2安装有自动对中装置7、自动压紧装置8,床身1的前部靠近砂轮支承座 4的位置处安装有测量装置9 ;
[0013] 粗精磨混合砂轮5、抛光砂轮均6通过砂轮主轴10连接砂轮电机11,砂轮电机11 支承于砂轮架12,砂轮架12支承于砂轮拖板13,砂轮拖板13通过直线导轨14安装于砂轮 支承座4,横向伺服电机15连接横向滚珠丝杠16,横向滚珠丝杠16连接砂轮拖板13底部 的螺母17 ;
[0014] 进给机构具体包括纵向伺服电机18、纵向滚珠丝杆19,纵向伺服电机18连接纵向 滚珠丝杆19,纵向滚珠丝杆19连接工作台2底部的螺母3,工作台2通过纵向导轨20支承 于床身1。图中21为工件。
[0015] 其工作原理如下:工件21通过自动对中装置7完成对中后,由自动压紧装置8压 紧,纵向伺服电机18驱动纵向滚珠丝杆19,使得工作台2做纵向进给运动,当工件21运动 至测量装置9处,测量装置9测量后,经过电脑分析确定相对应的进给量,控制其磨削量,工 件21依次经过粗精磨混合砂轮5、抛光砂轮6的磨削后成为成品。

Claims (4)

  1. 一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床,其包括床身、工作台、底座,所述床身中心位置安装有工作台及其进给机构,所述床身的两侧分别对称安装有砂轮支承座,其特征在于:成对的粗精磨混合砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座前部,成对的抛光砂轮分别对称安装于两个所述砂轮支承座后部。
  2. 2.根据权利要求1所述的一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床,其特征在于:所述工 作台安装有自动对中装置、自动压紧装置,所述床身的前部靠近所述砂轮支承座的位置处 安装有测量装置。
  3. 3.根据权利要求2所述的一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床,其特征在于:粗精磨 混合砂轮、抛光砂轮均通过砂轮主轴连接砂轮电机,所述砂轮电机支承于所述砂轮架,所述 砂轮架支承于砂轮拖板,所述砂轮拖板通过直线导轨安装于所述砂轮支承座,横向伺服电 机连接横向滚珠丝杠,所述横向滚珠丝杠连接所述砂轮拖板底部的螺母。
  4. 4.根据权利要求3所述的一种数控单晶硅、多晶硅专用平面磨床,其特征在于:所述进 给机构具体包括纵向伺服电机、纵向滚珠丝杆,所述纵向伺服电机连接所述纵向滚珠丝杆, 所述纵向滚珠丝杆连接所述工作台底部的螺母,所述工作台通过纵向导轨支承于所述床 身。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106475878A (zh) * 2016-11-25 2017-03-08 浙江晶盛机电股份有限公司 一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备

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Address before: 214125 No. 158 Nanhu Middle Road, Jiangsu, Wuxi

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