CN201559100U - 一种数控多晶硅端面磨床 - Google Patents

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CN201559100U CN2009200464091U CN200920046409U CN201559100U CN 201559100 U CN201559100 U CN 201559100U CN 2009200464091 U CN2009200464091 U CN 2009200464091U CN 200920046409 U CN200920046409 U CN 200920046409U CN 201559100 U CN201559100 U CN 201559100U
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杨建良
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杨建良
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Abstract

本实用新型提供了一种数控多晶硅端面磨床，其磨削效率高，磨削精度高，成品质量得到提高。其包括床身、工作台、底座，所述工作台安装于所述床身的前部的滑动导轨上，所述工作台通过伺服电机、滚珠丝杠安装于床身，所述底座安装于所述床身后部，所述底座上安装有直线导轨，所述进给拖板安装于所述直线导轨，所述进给拖板连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠与伺服电机轴接，所述进给拖板上安装有砂轮架、金刚石砂轮、砂轮电机，金刚石砂粒位于所述金刚石砂轮外端面，所述金刚石砂轮套装于金刚石砂轮主轴的输出端上，所述工作台上安装有压紧装置，其特征在于：所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的端面相平行。

Description

一种数控多晶硅端面磨床
(一)技术领域
本实用新型涉及数控机床自动化领域，具体为一种数控多晶硅端面磨床。
(二)背景技术
多晶硅的表面要求很高，经过磨削可以提高硅片的加工成品率，而现有的多晶硅磨床在磨削中，金刚石砂轮的外圆面为磨削面，磨削时，金刚石砂轮外圆面磨削硅片的外端面，在磨削过程中，其磨削效率低、磨削精度低，导致多晶硅成品质量下降、加工成品率低。
(三)发明内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种数控多晶硅端面磨床，其磨削效率高，磨削精度高，成品质量得到提高。
其技术方案是这样的：其包括床身、工作台、底座，所述工作台安装于所述床身的前部的滑动导轨上，所述工作台通过伺服电机、滚珠丝杠作横向向往复运动，所述底座安装于所述床身后部，进给拖板通过直线导轨安装在所述底座上，所述进给拖板通过伺服电机、滚珠丝杠作纵向进给运动，所述进给拖板上安装有砂轮架、金刚石砂轮、砂轮电机，金刚石砂粒位于所述金刚石砂轮外端面，所述金刚石砂轮套装于金刚石砂轮主轴的输出端上，所述工作台上安装有压紧装置，其特征在于：所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的端面相平行。
其进一步特征在于：所述压紧装置包括两侧支架、顶板、底板、底座板、侧座板、压块和侧压块和压紧驱动机构，所述底板安装于所述工作台上，所述底板中部紧固连接有底座板，所述两侧支架分别安装于底板的两侧，顶板连接所述两侧支架的顶部，所述底板的一侧通过侧挡板紧固连接有侧座板，所述压紧驱动机构具体为顶部气缸和侧部气缸，所述顶部气缸支承于顶板，所述顶部气缸的气缸顶杆连接位于顶板下部的压块，位于所述底板另一侧的侧部气缸支承于侧支架，所述侧部气缸的气缸顶杆连接位于两侧支架中间的侧压块。
本实用新型的上述结构中，由于所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的端面相平行，调节进给拖板的横向进给量，使金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的一端端面接触，开动砂轮电机带动金刚石砂轮转动，从而完成对多晶硅端面的磨削，其多晶硅端面经过磨削后可以提高多晶硅片的加工成品率。
(四)附图说明
图1为本实用新型主视图示意图；
图2为本实用新型主视图的上视图；
图3为本实用新型主视图K向放大图。
(五)具体实施方式：
见图1、图2、图3，其包括床身1、工作台2、底座3，工作台2安装于床身1的前部的滑动导轨4上，工作台2通过伺服电机11、滚珠丝杠13作横向向往复运动，底座3安装于床身1后部，进给拖板5通过直线导轨10安装在底座3上，进给拖板5通过伺服电机12、滚珠丝杠作纵向进给运动，进给拖板5上安装有砂轮架6、金刚石砂轮7、砂轮电机15，金刚石砂粒位于金刚石砂轮7外端面，金刚石砂轮7套装于金刚石砂轮主轴8的输出端上，工作台2上安装有压紧装置9，金刚石砂轮7外端面与压紧装置9上的工件的的端面相平行。
压紧装置9包括左支架15、右支架16、顶板24、底板14、底座板17、侧座板18、压块19和侧压块20和压紧驱动机构，底板14安装于工作台2上，左支架15、右支架16分别安装于底板14的两侧，顶板24连接左支架15、右支架16的顶部，底板14中部紧固连接有底座板17，底板14的右侧通过侧挡板21紧固连接有侧座板18，压紧驱动机构具体为顶部气缸22和侧部气缸23，顶部气缸22支承于顶板24，顶部气缸22的气缸顶杆连接位于顶板24下部的压块19，位于底板左侧的侧部气缸23支承于左支架15，侧部气缸23的气缸顶杆连接位于左支架15、右支架16中间的侧压块20。

Claims (3)

1.一种数控多晶硅端面磨床，其包括床身、工作台、底座，所述工作台安装于所述床身的前部的滑动导轨上，所述工作台通过伺服电机、滚珠丝杠安装于床身，所述底座安装于所述床身后部，所述底座上安装有直线导轨，所述进给拖板安装于所述直线导轨，所述进给拖板连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠与伺服电机轴接，所述进给拖板上安装有砂轮架、金刚石砂轮、砂轮电机，金刚石砂粒位于所述金刚石砂轮外端面，所述金刚石砂轮套装于金刚石砂轮主轴的输出端上，所述工作台上安装有压紧装置，其特征在于：所述金刚石砂轮外端面与压紧装置上的工件的的端面相平行。
2.根据权利要求1所述一种数控多晶硅端面磨床，其特征在于：所述压紧装置包括两侧支架、顶板、底板、底座板、侧座板、压块和侧压块和压紧驱动机构，所述底板安装于所述工作台上，所述底板中部紧固连接有底座板，所述两侧支架分别安装于底板的两侧，顶板连接所述两侧支架的顶部，所述底板的一侧通过侧挡板紧固连接有侧座板。
3.根据权利要求2所述一种数控多晶硅端面磨床，其特征在于：所述压紧驱动机构具体为顶部气缸和侧部气缸，所述顶部气缸支承于顶板，所述顶部气缸的气缸顶杆连接位于顶板下部的压块，位于所述底板另一侧的侧部气缸支承于侧支架，所述侧部气缸的气缸顶杆连接位于两侧支架中间的侧压块。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104589168A (zh) * 2013-10-30 2015-05-06 苏州东南碳制品有限公司 碳刷前端面磨削机
CN105773396A (zh) * 2014-12-24 2016-07-20 济南有为数控机械有限公司 自动模具研磨机
CN110126106A (zh) * 2019-06-17 2019-08-16 浙江晶特光学科技有限公司 晶圆加工方法

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COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 214006 NO.6 (SHANGJI GRINDING MACHINE), XI'NAN ROAD, NANQUAN, WUXI CITY, JIANGSU PROVINCE TO: 214006 NO.158, NANHU MIDDLE ROAD, NANQUAN, BINHU TOWNSHIP, BINHU DISTRICT, WUXI CITY, JIANGSU PROVINCE

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20100903

Address after: 214006, No. 158 South Lake Road, Binhu Town, Binhu Town, Binhu District, Jiangsu, Wuxi

Patentee after: Wuxi Shangji Grinding Machine Co., Ltd.

Address before: 214006, No. 6 South Tin Road, Wuxi, Jiangsu province (upper grinding machine)

Patentee before: Yang Jianliang

C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: WUXI SHANGJI AUTOMATION CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: WUXI SHANGJI GRINDER CO., LTD.

CP03 Change of name, title or address

Address after: 214128 Jiangsu province Binhu District of Wuxi City Xuelang Street nanhu road No. 158

Patentee after: Wuxi Shangji Automation Co., Ltd.

Address before: 214006, No. 158 South Lake Road, Binhu Town, Binhu Town, Binhu District, Jiangsu, Wuxi

Patentee before: Wuxi Shangji Grinding Machine Co., Ltd.

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