CN201555740U - 液态氯硅烷在线取样装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种液态氯硅烷在线取样装置，所述的取样装置包括取样瓶(1)，管线(2)，三通阀(3)，截止阀(4)，取样瓶(1)至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接有输入装置，输出口那一端连接有输出装置。所述的取样装置，结构简单，操作方便，成本低廉。主要运用于氯硅烷组分、杂质含量分析的取样过程。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种液态氯硅烷在线取样装置。
背景技术
半导体工业对于多晶硅的产品质量要求十分严格，在使用改良西门子法生产多晶硅工艺中，对氯硅烷的组分、杂质含量分析就格外重要。目前，现有的氯硅烷取样分析方式主要有两种：一种是：打开阀门将氯硅烷直接放出至取样瓶。该方式在取样过程中氯硅烷始终与大气接触，置换流出的氯硅烷直接排放在大气中，不能回收。因氯硅烷是一种易燃易爆、有强腐蚀性液体，故该取样方式的取样操作过程十分危险，且因氯硅烷遇到空气中的水分水解会严重影响样品分析结果。另一种是：使用取样柜(专利号：200820061953.9)，其原理是利用管路内流体自身压力，将氯硅烷引出管外冷凝、置换、管外回收并取样，再使用氮气吹扫管路。该方式的不足之处在于：结构复杂，零配件、外接接管较多；取样柜占地面积大，且不可移动；取样冷却装置难以发挥作用；取样管线过长需较长时间置换，导致氯硅烷损失较多；整个取样操作流程比较复杂，对取样操作人员操作熟练度要求较高；因整个取样装置设置复杂，所需管线、阀门、接头较多，导致该套取样装置价格昂贵。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种结构简单的氯硅烷在线取样装置。
解决上述技术问题的技术方案是：液态氯硅烷在线取样装置，包括取样瓶，管线，三通阀，截止阀，其特征在于：取样瓶至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接有输入装置，输出口那一端连接输出装置。
输入装置末端与调节阀压力较高的那一端的氯硅烷管道连接，输出装置末端与调节阀压力较低的那一端的氯硅烷管道连接；输入装置和输出装置通道上，分别至少连接有一个三通阀和一个截止阀。
进一步的是取样瓶，管线，三通阀，截止阀以及取样点之间的连接为法兰连接。
作为上述技术方案的优选方式是，连接法兰是快速接头法兰。
进一步的是，取样管线为透明软管、取样瓶带有石英玻璃视窗。
本实用新型的有益效果是：液态氯硅烷在线取样装置，整个取样瓶的输入口和输出口上连接有输入装置和输出装置，结构简单；输入装置、输出装置附属在氯硅烷管道上，占地小，取样过程完全处于密封状态，取样安全，保证取物的分析质量，而且构成本取样装置的部件少，各部件间采用法兰连接，操作方便，成本低廉，对操作人员的技术要求低。
附图说明
图1为本实用新型液态氯硅烷在线取样装置的示意图。
图中标记为：取样瓶1，管线2，三通阀3，截止阀4，氯硅烷管道5，调节阀6，氯硅烷管道7。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
本实用新型的液态氯硅烷在线取样装置，是取样瓶1输入口上的输入装置连接在调节阀6压力较高的那一端的氯硅烷管道5上，输出口上的输出装置连接在调节阀6压力较低的那一端的氯硅烷管道7上的取样装置进行取样。所述的输入、输出装置，可以是简单的管线，这种方式取样时，有很多不便，如取样完成后取下取样瓶时需要人工切断输入、输出管线，置换吹扫过程也存在取样瓶瓶口敞开的缺点。解决上述问题的最好方法是在输入、输出装置上设置截止阀和三通阀。
参看图1的液态氯硅烷在线取样装置，包括一个取样瓶1，取样瓶1上至少有一个取样输入口和至少一个取样输出口；输入口和输出口上通过管线2分别连接有由至少一个三通阀3和至少一个截止阀4组成的输入装置和输出装置，在输入装置和输出装置中，三通阀位于靠近取样瓶那一端，截止阀位于另一端；输入装置的不与取样瓶连接的那一端连接在调节阀6压力较高的氯硅烷管道5那一侧，输出装置的不与取样瓶连接的那一端连接在调节阀6压力较低的氯硅烷管道7那一侧。此时输入、输出装置上的三通阀2、截止阀3均处于关闭状态，开始取样前打开三通阀的两个开关，保证通入取样瓶的通道畅通，再打开截止阀，因氯硅烷管道5与氯硅烷管道7之间的压力差，氯硅烷样品进入取样瓶，达样取样数量后关闭截止阀3和三通阀2，从三通阀2处(包括三通阀2)拆下取样开瓶，取样完成。
为了便于取样瓶可以用于多个取样点时的拆卸方便，整套装置均采用法兰连接。进一步的为了操作简单，管线2均采用快速接头，拆卸时不需要专用工具，这样一个人便可以完成取样，对操作人员的要求也不高。
为了便于对整个取样过程的观察，保证样品的数量和质量，在取样瓶1上设置有石英玻璃视窗，管线2全部采用透明管线。这样在取样过程中便可以随时观察到取样的情况。
Claims (8)
1.液态氯硅烷在线取样装置，包括取样瓶(1)，管线(2)，三通阀(3)，截止阀(4)，其特征在于：取样瓶(1)至少有一个输入口和一个输出口，输入口那一端连接有输入装置，输出口那一端连接有输出装置。
2.根据权利要求1所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：输入装置末端与调节阀(6)压力较高的那一端的氯硅烷管道(5)连接，输出装置末端与调节阀(6)压力较低的那一端的氯硅烷管道(7)连接。
3.根据权利要求2所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：输入装置和输出装置通道上，分别至少连接有一个三通阀(3)和一个截止阀(4)。
4.根据权利要求3所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：取样瓶(1)，管线(2)，三通阀(3)，截止阀(4)以及取样点之间的连接为法兰连接。
5.根据权利要求4所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：所述的连接法兰是快速接头法兰。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：管线(2)为透明软管。
7.根据权利要求6中任一项所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：取样瓶(1)上设有石英玻璃视窗。
8.根据权利要求1～5中任一项所述的液态氯硅烷在线取样装置，其特征在于：取样瓶(1)上设有石英玻璃视窗。
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