CN201532281U - 一种流体气压传感器 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种流体气压传感器,其包括:依次叠置的带通气孔的第一电极片(1),不带通气孔的中间电极(5),带通气孔的第二电极片(6),分别与第一电极片、中间电极、第二电极片电连接的并且带通气孔的电路板(7);还包括设于第一电极片的周边与中间电极的周边之间的第一绝缘片(2),设于第二电极片的周边与中间电极的周边之间的第二绝缘片(4);其中,中间电极的中心区域与第一电极片的中心区域之间留有间隙;第一电极片上的通气孔和第二电极片上的通气孔把各自所在处地的流体气压传递到中间电极中心区域的两侧。与现有技术相比,本实用新型体积小,兼有开关型和电容型两种特性,可以作为双电极或三个电极传感器使用,且能感应单侧或双侧流体气压。

Description

一种流体气压传感器
技术领域
本实用新型涉及压力传感器,尤其涉及一种流体气压传感器。
背景技术
目前的流体气压传感器可以做得很小型,直径在5毫米左右,此类流体气压传感器一般通过内部的流体气压开关的动作感知流体气压变化,或通过内部的流体气压电容容值的变化感知流体气压变化,且只能感应单侧的流体气压变化。
实用新型内容
本实用新型是要解决现有流体气压传感器只能制成开关型的或电容型的,且只能感应单侧的流体气压变化的缺陷。提出一种兼有开关型和电容型两种特性,且能感应双侧流体气压的流体气压传感器。
为解决所述技术问题,本实用新型提出的技术方案是:一种流体气压传感器,包括:依次叠置的带通气孔的第一电极片,不带通气孔的中间电极,带通气孔的第二电极片,分别与第一电极片、中间电极、第二电极片电连接的并且带通气孔的电路板;还包括设于第一电极片的周边与中间电极的周边之间的第一绝缘片,设于第二电极片的周边与中间电极的周边之间的第二绝缘片;其中,中间电极的中心区域与第一电极片的中心区域之间留有间隙;第一电极片上的通气孔和第二电极片上的通气孔把各自所在处地的流体气压传递到中间电极中心区域的两侧。
在较佳实施例中,第二电极片的边缘向电路板方向弯折延伸,弯折延伸部的端头与电路板电连接;所述弯折延伸部的外圈设有箍状导电箍,导电箍两端分别连通中间电极和电路板;第一电极片的边缘向电路板方向弯折延伸形成钩状部,并包容夹紧中间电极和第二电极片,钩状部的端头与电路板电连接。所述第一电极片与导电箍之间设有第一绝缘箍;所述第二电极片与导电箍之间设有第二绝缘箍。
在一个实施例中,中间电极的中心区域与第二电极片的中心区域贴靠在一起。
在另一个实施例中,中间电极的中心区域向第二电极片的中心区域弓起,第二电极片的中心区域相应地向内凹陷。
在另一个实施例中,中间电极的中心区域与第二电极片的中心区域留有间隙。
在另一个实施例中,第二电极片的中心设有一抵住中间电极中心的凸块,第二电极片中心区域的其余地方与中间电极留有间隙。
在另一个实施例中,中间电极周边区域与中心区域之间设有至少一圈波纹连接区,该波纹连接区的横截面可以是三角波,也可以是圆弧波,也可以是正弦波。第一电极片、中间电极、第二电极片和电路板同为圆形,第一绝缘片和第二绝缘片同为与中间电极形状相配的圆环。
与现有技术相比,本实用新型公开的流体气压传感器,体积小,兼有开关型和电容型两种特性,可以作为双电极或三个电极传感器使用,且能感应单侧或双侧流体气压。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明,其中:
图1为本实用新型第一实施例的剖视图;
图2为本实用新型第二实施例的剖视图;
图3为本实用新型第三实施例的剖视图;
图4为本实用新型第四实施例的剖视图;
图5为本实用新型第五实施例的剖视图;
图6为本实用新型第六实施例的剖视图;
图7为本实用新型第七实施例的剖视图;
图8为本实用新型第八实施例的剖视图;
图9为本实用新型第九实施例的剖视图;
图10为本实用新型第十实施例的剖视图。
具体实施方式
本实用新型包括依次叠置的带通气孔的第一电极片1,不带通气孔的中间电极5,带通气孔的第二电极片6,分别与第一电极片、中间电极、第二电极片电连接的并且带通气孔的电路板7;还包括设于第一电极片的周边与中间电极的周边之间的第一绝缘片2,设于第二电极片的周边与中间电极的周边之间的第二绝缘片4;其中,中间电极的中心区域与第一电极片的中心区域之间留有间隙;第一电极片上的通气孔和第二电极片上的通气孔把各自所在处地的流体气压传递到中间电极中心区域的两侧。
在较佳实施例中,第二电极片的边缘向电路板方向弯折延伸,弯折延伸部的端头与电路板电连接;所述弯折延伸部的外圈设有箍状导电箍3,导电箍两端分别连通中间电极和电路板;第一电极片的边缘向电路板方向弯折延伸形成钩状部,并包容夹紧中间电极和第二电极片,钩状部的端头与电路板电连接。所述第一电极片与导电箍之间设有第一绝缘箍9;所述第二电极片与导电箍之间设有第二绝缘箍8。第一电极片、中间电极、第二电极片和电路板同为圆形,第一绝缘片和第二绝缘片同为与中间电极形状相配的圆环。在另一个实施例中,第一电极片、中间电极、第二电极片和电路板同为三角形,第一绝缘片和第二绝缘片同为与中间电极形状相配的三角形。在另外一个实施例中,第一电极片、中间电极、第二电极片和电路板同为多边形,第一绝缘片和第二绝缘片同为与中间电极形状相配的多边形。
图1示出了本实用新型第一实施例的剖视图,从图中可以看出中间电极的中心区域与第二电极片的中心区域贴靠在一起,左侧流体气压通过第一电极片上的通气孔加到中间电极的左侧,右侧流体气压通过电路板和第二电极片上的通气孔加到中间电极的右侧,当右侧流体气压大于左侧流体气压时,中间电极被推离第二电极片向右移。此时,中间电极与第二电极片如作为一对开关使用就由导通变为断开。此时,中间电极与第一电极片的间隙距离发生变化,进而引起两极之间的电容发生变化,检测此间电容容值的变化就能得知右侧的相对流体气压是否变大。
图2示出了本实用新型第二实施例的剖视图,从图中可以看出本例与第一实施例的不同在于中间电极和第二电极片的中心区域留有间隙。中间电极左右两侧间隙对称,根据两侧电容容值的变化,可测双侧流体气压。
图3示出了本实用新型第三实施例的剖视图,本实施例的特点是:第二电极片的中心设有一抵住中间电极中心的凸块,第二电极片中心区域的其余地方与中间电极留有间隙。其功用与第一实施例相同,只是因中间电极与第二电极片为点接触,开关效果更好。
图4示出了本实用新型第四实施例的剖视图,本实施例的特点是:中间电极的中心区域向第二电极片的中心区域弓起,第二电极片的中心区域相应地向内凹陷。这样在相同尺寸的情况下,右侧流体气压较大时才能推动中间电极,也就是较高流体气压。
图5示出了本实用新型第五实施例的剖视图,本实施例与第二实施例相近,不同之处在于:中间电极周边区域与中心区域之间设有一圈波纹连接区,该波纹连接区的横截面为半圆弧。如此设置可提高检测灵敏度。
图6示出了本实用新型第六实施例的剖视图,本实施例与第一实施例相近,不同之处在于:中间电极周边区域与中心区域之间设有一圈波纹连接区,该波纹连接区的横截面为半圆弧。如此设置可提高检测灵敏度。
图7示出了本实用新型第七实施例的剖视图,本实施例与第六实施例相近,不同之处在于:波纹连接区的横截面为正弦弧。
图8示出了本实用新型第八实施例的剖视图,本实施例与第六实施例相近,不同之处在于:波纹连接区的横截面为三角状折角。
图9示出了本实用新型第九实施例的剖视图,本实施例与第五实施例相近,不同之处在于:波纹连接区的横截面为正弦弧。
图10示出了本实用新型第十实施例的剖视图,本实施例与第五实施例相近,不同之处在于:波纹连接区的横截面为三角状折角。
图1至10中展示的通气孔,示意地画在电极片和电路板的中轴线上,容易理解,通气孔可以为多个,也可以不设置在中轴线上,只用能传输流体气压即可。
在以上举例中,传感器都具有三个电极,可作为三电极的传感器使用。在实际使用中,也可只用其中两个电极,作为双电极的传感器使用。
以上描述了本实用新型的较佳实施方式,但是本技术领域内的熟练技术人员应当理解,这些仅是举例说明,可以对这些实施方式做出多种变更或修改,而不背离本实用新型的原理和实质。都属于本实用新型保护的范围之内。

Claims (8)

1.一种流体气压传感器,其特征在于包括:依次叠置的带通气孔的第一电极片(1),不带通气孔的中间电极(5),带通气孔的第二电极片(6),分别与第一电极片、中间电极、第二电极片电连接的并且带通气孔的电路板(7);还包括设于第一电极片的周边与中间电极的周边之间的第一绝缘片(2),设于第二电极片的周边与中间电极的周边之间的第二绝缘片(4);其中,中间电极的中心区域与第一电极片的中心区域之间留有间隙;第一电极片上的通气孔和第二电极片上的通气孔把各自所在处地的流体气压传递到中间电极中心区域的两侧。
2.如权利要求1所述的流体气压传感器,其特征在于:所述第二电极片的边缘向电路板方向弯折延伸,弯折延伸部的端头与电路板电连接;所述弯折延伸部的外圈设有箍状导电箍(3),导电箍两端分别连通中间电极和电路板;第一电极片的边缘向电路板方向弯折延伸形成钩状部,并包容夹紧中间电极和第二电极片,钩状部的端头与电路板电连接;所述第一电极片与导电箍之间设有第一绝缘箍(9);所述第二电极片与导电箍之间设有第二绝缘箍(8)。
3.如权利要求1所述的流体气压传感器,其特征在于:所述中间电极的中心区域与第二电极片的中心区域贴靠在一起。
4.如权利要求3所述的流体气压传感器,其特征在于:所述中间电极的中心区域向第二电极片的中心区域弓起,第二电极片的中心区域相应地向内凹陷。
5.如权利要求1所述的流体气压传感器,其特征在于:所述中间电极的中心区域与第二电极片的中心区域留有间隙。
6.如权利要求1所述的流体气压传感器,其特征在于:所述第二电极片的中心设有一抵住中间电极中心的凸块,第二电极片中心区域的其余地方与中间电极留有间隙。
7.如权利要求1至6任一项所述的流体气压传感器,其特征在于:所述中间电极周边区域与中心区域之间设有至少一圈波纹连接区,该波纹连接区的横截面为三角波,或圆弧波,或正弦波。
8.如权利要求1至6任一项所述的流体气压传感器,其特征在于:所述第一电极片、中间电极、第二电极片和电路板同为圆形,或同为三角形,或同为多边形;所述第一绝缘片和第二绝缘片同为与中间电极形状相配的环形。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104807486A (zh) * 2015-02-06 2015-07-29 纳米新能源(唐山)有限责任公司 气动传感器
WO2022188521A1 (zh) * 2021-03-10 2022-09-15 潍坊歌尔微电子有限公司 气压传感器芯片及其制备方法

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