CN201500538U - 气体回收利用装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种气体回收利用装置，可以将系统中的工艺气体在线增压收集，储存利用。其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，其特征在于，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体回收，尤其涉及一种气体回收利用装置。
背景技术
目前，在很多行业的生产和实验领域均使用工艺气体，这些气体有些要求纯度很高，有些本身稀少，价格昂贵。工艺过程中大多是开放的，没有回收利用装置，不仅浪费气体，不经济，对能源的一种浪费。如果这些工艺气体有毒有害，还会对环境造成严重影响。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种气体回收利用装置，可以将系统中的工艺气体在线增压收集，储存利用。
为了解决以上技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：
本实用新型提供了一种气体回收利用装置，其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。
本实用新型采用的气体回收利用装置，通过对工艺气体增压后回收，最终以工艺要求的压力输出给用气点，可以节约成本，更可较少污染。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型一具体实施例的原理示意图。
图2是本实用新型一实施例的结构示意图。
附图部分符号说明：
1 无油增压泵
2 通断阀
3 压力表
4 压力检测和反馈单元
5 储气罐
6 手动阀
7 减压阀
8 气源分配器
9 管线
10 工艺腔体
11 用气点
具体实施方式
如图1所示，其为本实用新型一具体实施例的原理示意图。密封的工艺腔体(可以是手套箱箱体)内存有工艺气体，这些工艺气体通过管线进入无油增压泵(抽气)，工艺气体被增压后通过管线进入储气罐被储存。储气罐的气体压力由压力检测和反馈单元控制，符合压力要求的工艺气体最终被供应给工艺腔体内的用气点。
如图2所示，本实用新型的气体回收利用装置包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元。其中增压单元可进一步包括无油增压泵1与储气罐5，且可以在无油增压泵1与储气罐5之间安装通断阀2，更可以在无油增压泵1与储气罐5之间安装压力表3，便于测量和观察储气罐的入口压力；压力调节单元为减压阀7，更可以包括手动阀6，根据用气点11的压力要求调节储气罐5的出口压力；在实际应用中，往往会存在多个用气点11，此时，在压力调节单元与用气点11之间设置气源分配器8，其具有多个气体出口，能够满足工艺需要。
可以看出，气体回收利用装置布局为：工艺腔体10通过管线9与无油增压泵1的入口相连，无油增压泵1的出口通过管线9与断通阀2的入口相连，断通阀2的出口通过管线9与储气罐5的入口现了相连，在断通阀3与储气罐5之间的管线上安装有压力表3与压力检测和反馈单元4，储气罐5的出口通过管线9与手动阀6的入口相连，手动阀6的出口通过管线9与减压阀7的入口相连，减压阀7的出口通过管线9与用气点11相连。当用气点11为多处时，在减压阀7与用气点11之间设置一个气源分配器8，气源分配器8的各个气体出口通过管线9与工艺腔体10内的用气点11相连。其中，管线9和储气罐5都是洁净的，以保证工艺气体不被污染。
上所述的仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。
Claims (7)
1.一种气体回收利用装置，其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，其特征在于，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。
2.如权利要求1所述的气体回收利用装置，其特征在于，所述增压单元包括无油增压泵、储气罐。
3.如权利要求2所述的气体回收利用装置，其特征在于，在所述无油增压泵与储气罐之间安装有通断阀。
4.如权利要求1所述的气体回收利用装置，其特征在于，在所述无油增压泵与储气罐之间安装有压力表。
5.如权利要求1所述的气体回收利用装置，其特征在于，所述压力调节单元为减压阀。
6.如权利要求6所述的气体回收利用装置，其特征在于，所述压力调节单元还包括手动阀。
7.如权利要求1所述的气体回收利用装置，其特征在于，所述气体回收利用装置还包括气源分配器，位于压力调节单元与用气点之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009200755133U CN201500538U (zh) | 2009-07-30 | 2009-07-30 | 气体回收利用装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009200755133U CN201500538U (zh) | 2009-07-30 | 2009-07-30 | 气体回收利用装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201500538U true CN201500538U (zh) | 2010-06-09 |
Family
ID=42451480
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2009200755133U Expired - Lifetime CN201500538U (zh) | 2009-07-30 | 2009-07-30 | 气体回收利用装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201500538U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102896657A (zh) * | 2012-08-02 | 2013-01-30 | 北京印刷学院 | 气液增压模切机的废气再利用装置 |
| CN105650462A (zh) * | 2016-02-25 | 2016-06-08 | 常州墨之萃科技有限公司 | 一种石墨烯反应气体的回收、存储及再利用系统 |
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2009
- 2009-07-30 CN CN2009200755133U patent/CN201500538U/zh not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
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| CN105650462A (zh) * | 2016-02-25 | 2016-06-08 | 常州墨之萃科技有限公司 | 一种石墨烯反应气体的回收、存储及再利用系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20100609 |
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