CN201464690U - 点胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及点胶技术领域，尤其涉及一种点胶装置。这种点胶装置，包括用于固定被点胶元件的第一固持装置、一端固定有针头的针筒及用于夹持针筒的第二固持装置，还包括一定位件，所述定位件的顶端顶在第一固持装置的外侧面，并且所述定位件与针筒固定连接，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离与所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离相等，或者，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离一相同距离。这种结构可以保证针头顶端到被点胶元件的各点胶部位的距离相同，从而保证各点胶部位的胶层厚度均匀。同时，也可保护针头不受损伤。

Description

点胶装置

技术领域

本实用新型涉及点胶技术领域，尤其涉及一种点胶装置。

背景技术

在大规模半导体集成电路的前端制造设备中，光刻机是最复杂、要求最高的设备，集光机电技术于一身，尤其是对机械系统的精密性与稳定性的要求几乎达到了极限。为了达到这样的要求，在光刻机的设计和生产过程中，需要重视很多方面的问题，尤其是透镜的无应力固定，胶结技术是透镜无应力固定设计的一个很重要的方法，但同时，胶结方法和点胶均匀性的控制也是实现透镜无应力的固定的一个重要环节。

物镜胶结固定方式，一般分为环形胶结固定和间歇单点固定。

如公开号为CN101165522A、公开日为2008年4月23日、申请号为200610063217.2、实用新型名称为“辅助点胶装置”的中国专利，该技术方案针对于环形点胶固定方式。在此专利中，需要调整镜筒与旋转载台的位置，才能实现均匀点胶。这个专利的缺点在于：如果要达到点胶厚度均匀，操作不方便，而且结构比较复杂。

另一种点胶方式是采用间歇单点固定。镜片周围三点或六点固定，点胶机的出胶量是一定的。如果在三点位置，针头到镜片侧壁的距离不一样，那它形成的胶层也会不一样。如此会造成各个点胶点胶层厚度不均匀，影响产品性能。

综上所述，如何提高一种可保证针头到被点胶元件的各个点胶部位的距离相同，而且操作方便的点胶装置，是本领域技术人员需要解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种点胶装置，不但操作更加简便，而且可以保证胶层厚度的均匀性。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种点胶装置，包括用于固定被点胶元件的第一固持装置、一端固定有针头的针筒及用于夹持针筒的第二固持装置，还包括一定位件，所述定位件的顶端顶在第一固持装置的外侧面，并且所述定位件与针筒固定连接，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离与所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离相等，或者，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离一相同距离。

所述定位件包括一定位针和一针筒固定夹圈，所述针筒固定夹圈和所述定位针垂直固定连接，所述针筒固定夹圈固定夹持于所述针筒的外表面，所述定位针的顶端顶在第一固持装置的外侧面。

所述定位针的顶端与所述第一固持装置的外侧面相切。

所述定位针的顶端设置有滚珠、滚轮、滚轴、光滑弧面或光滑斜面。

所述第二固持装置包括一固定架和一活动针筒夹，所述固定架包括一竖直支撑架和一水平支撑架，所述活动针筒夹包括一与水平支撑架垂直固定连接的连接端和一夹持所述针筒外表面的夹持端，所述针筒相对活动针筒夹水平滑动.

所述活动针筒夹的夹持端上设有滚珠、滚轮、滚轴、光滑弧面或光滑斜面。

所述针筒的尾部经一弹性连接元件与所述固定架的竖直支撑架连接。

所述第一固持装置包括一旋转载台和一镜筒固定机构，所述镜筒固定机构固定于旋转载台上。

所述旋转载台包括一转轴及一支撑部，所述转轴垂直于支撑部且位于支撑部的轴线上，所述镜筒固定机构与所述支撑部同轴设置。

所述支撑部包括一支撑基底及一筒形侧壁，所述筒形侧壁垂直连接于所述支撑基底。

所述第二固持装置包括一固定基底，所述定位件包括两定位针，所述定位针和所述固定基底垂直固定连接，所述固定基底上开有供所述针筒穿过的孔。

所述第二固持装置上设有用于锁定针筒的锁定机构。

所述第一固持装置为圆环形镜框，所述镜框上开有若干供所述针头伸入的通孔。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型由于所述针头顶端到定位件顶端的横向距离与所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离相等，或者，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离一相同距离。因此，当定位件顶端顶在第一固持装置的外侧面时，所述针头顶端相对各点胶部位的距离相同，从而可以保证各点胶部位的胶层厚度均匀。另外，由于可确保针头顶端到被点胶元件的各点胶部位有相同的安全距离，所以可以保护针头不受损伤，不发生撞针现象。另外，在针筒的尾部设置一弹性连接元件。所述弹性连接元件具有一定预紧力。一方面可以确保定位件的顶端顶在第一固持装置的外表面。另一方面，即使第一固持装置由于偏离其转轴产生的偏移，也能够通过针筒尾部的弹性连接元件的伸缩来得到相应的补偿，从而进一步保证定位针与被点胶元件相对位置不变及保护针头。

附图说明

本实用新型的点胶装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型点胶装置实例1结构示意图；

图2是实施例1中旋转载台的结构示意图；

图3是实例1中活动针筒夹的结构示意图；

图4是本实用新型点胶装置实例2的结构示意图；

图中，1-第一固持装置，11-旋转载台，111-支撑部，112-转轴，12-镜筒固定机构，2-第二固持装置，21-固定架，22-活动针筒夹，221-滚珠，3-针筒，4-针头，5-定位件，51-定位针，52-针筒固定夹圈，6-镜筒(被点胶元件中的一种)，7-弹性连接元件，8-点胶机，9-气管，10-滚轴，1’-镜框，13-通孔，6’-镜片(被点胶元件的一种)。

具体实施方式

以下将对本实用新型的点胶装置作进一步的详细描述。

实施例1

请参阅图1和图2，这种点胶装置，包括：用于固定被点胶元件的第一固持装置1、用于夹持针筒3的第二固持装置2、针筒3、固定于针筒3一端的针头4和定位件5。所述定位件5的顶端顶在第一固持装置1的外侧面，并且所述定位件5与针筒3固定连接。所述针头4的顶端与定位件5的顶端的横向距离与被点胶元件的各点胶部位(即需要点胶的地方)到第一固持装置1的外侧面之间的距离均相对应。相对应是指所述针头4顶端到定位件5顶端的横向距离与所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置1的外侧面的距离相等，或者，所述针头4顶端到定位件5顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置1的外侧面的距离一相同距离。本实施例中，所述针头4顶端到定位件5顶端的横向距离(即所述针头4的顶端伸出定位件5的顶端的距离)小于被点胶元件的各点胶部位到第一固持装置1的外侧面的距离一相同长度。

所述第一固持装置1包括一旋转载台11和一镜筒固定机构12。本实施例中，所述被点胶元件是镜筒6。所述镜筒固定机构12固定于旋转载台11上。所述旋转载台11包括一转轴112及一支撑部111。所述转轴112垂直于支撑部111且位于支撑部111的轴线上，所述镜筒固定机构12与所述支撑部111同轴设置。所述支撑部111为一杯体结构，其包括一支撑基底及一筒形侧壁，所述筒形侧壁垂直连接于所述支撑基底。

所述第二固持装置2包括一固定架21和一活动针筒夹22。所述固定架21包括一竖直支撑架和一水平支撑架。请参阅图3，并结合参阅图1和图2，所述活动针筒夹22包括：一与水平支撑架垂直固定连接的连接端和一夹持所述针筒3外表面的夹持端。所述针筒3可相对活动针筒夹22水平滑动。所述活动针筒夹22类似一个日常生活中夹持端呈圆弧形的被子晾晒夹，其可以由板状材料或管状材料制成。本实施例中采用管状材料。可以在所述活动针筒夹22的夹持端上设有滚珠、滚轮、滚轴、光滑弧面或光滑斜面，以减少活动针筒夹22对针筒3的摩擦力。本实施例中采用滚珠221。所述针筒3由耐磨性较高的材料制成，如硬塑或钢铁等材料，使得针筒3在活动针筒夹22内长期灵活滑动而两者皆不变形。

所述定位件5包括一定位针51和一针筒固定夹圈52，所述针筒固定夹圈52和所述定位针51垂直固定连接，所述定位针51的顶端顶在第一固持装置1的外侧面。所述定位针51的顶端相当于上述定位件5的顶端。所述针筒固定夹圈52固定夹持于所述针筒3的外表面，且所述定位针51的顶端与所述第一固持装置1的外侧面相切。优选地，所述定位针51与所述筒形侧壁相切的一端为具有光滑表面的结构。例如，所述定位针51与所述筒形侧壁相切的一端可以设置有滚珠、滚轮、滚轴、光滑弧面或光滑斜面。如此，可以减少所述筒形侧壁相对定位针51的摩擦力。本实施例中，采用滚轴10。

所述针筒3的尾部经一弹性连接元件7与所述固定架21的竖直支撑架连接。本实施例中，所述弹性连接元件7为弹簧，当然也可以采用弹性塑胶等其他弹性元件。所述弹性连接元件7具有一预紧力。一方面可以确保定位件5的顶端顶在第一固持装置1的外表面。另一方面，即使第一固持装置1由于偏离其转轴产生的偏移，也能够通过针筒3尾部的弹性连接元件7的伸缩来得到相应的补偿，从而进一步保证定位针与被点胶元件相对位置不变及保护针头。另外，点胶机8通过气管9与针筒3的内腔相通，用于向针筒3供应胶水。气管9可以穿过弹簧与针筒3内腔相通。

使用的时候，首先，将被点胶元件(即本实施例中的镜筒6)安装到第一固持装置1上，被点胶元件和第一固持装置1同轴安装，即将镜筒6放置在旋转载台11的中心位置，使得镜筒6上的各点胶部位距离第一固持装置1的外侧面距离相同.同时，预先给弹性连接元件7(本实施例中为弹簧)一个预紧力，使得定位件5的顶端(即定位针51的顶端)始终顶着镜筒6的外侧面.当旋转载台11旋转的时候，镜筒6跟着旋转，由于弹簧有一定的预紧力，定位件5的顶端始终紧贴着镜筒6外侧面.由于针头4的顶端和定位件5的顶端的横向距离因为两者固定连接而相对固定，并且镜筒6上的各点胶部位到第一固持装置1的外侧面距离相同.并且使得所述针头4顶端到定位件5顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置1的外侧面的距离一相同距离.所以，当定位件5的顶端顶在第一固持装置1的外侧面时，所述针头4的顶端到镜筒6外侧面(点胶部位)的距离也是固定不变的.从而，可以保证被点胶元件上的各个点胶部位上的胶层厚度一致，进而保证各个点胶部位的胶层厚度的均匀性，可以有效提高产品质量.另外，由于针筒3和第二固持装置2通过弹性连接元件7连接，所以即使旋转载台11由于其转轴的偏心转动发生偏移，定位件5在该弹性连接元件7的作用下始终顶在镜筒6外侧面，即镜筒6外侧面压迫定位件5，针筒3可以在活动针筒夹22里前后水平运动，这种作用力最终传导到弹性连接元件7被其吸收，从而保证针头4与镜筒6的距离始终不变.进而，保证各个点胶部位的胶层厚度均匀的同时，也有效保护了针头4，避免了撞针现象的产生.

实施例2

本实施例适用于间歇单点固定方式。以镜片6’作为被点胶元件作为示例。请参阅图4，这种点胶装置与实施例1的区别在于：所述第一固持装置1为圆环形镜框1’，用于容置所述镜片6’。所述镜片6’与圆环形镜框1’同轴设置。所述镜框1’上开有若干供针头4伸入的通孔13。所述第二固持装置2包括一固定基底，所述定位件5包括两定位针51，所述定位针51和所述固定基底垂直固定连接，所述固定基底上开有供所述针筒3穿过的孔。针筒3可以相对固定基底移动。所述第二固持装置2上设有用于锁定针筒3的锁定机构，锁定机构现有很多，在此不在赘述。当调节好针筒3的位置后，可以通过所述锁定机构将针筒3锁定，使之不能相对固定基底移动。

使用时，首先，将被点胶元件(即本实施例中的镜片6’)安装到第一固持装置上(即本实施例中的镜框1’)，使得镜片6’与镜框1’同轴安装，从而保证镜片6’上的各点胶部位(需要点胶的地方)到镜框1’的外侧面的距离相等.接着，操作人员通过调节针筒3相对第二固持装置2的位置，使得针头4的顶端伸出定位针51的顶端一定距离(即针头4的顶端到定位针51的顶端的横向距离一定)，这个距离根据所需要的胶层厚度而定.然后，通过锁定机构锁住针筒3与第二夹持装置相对位置.接着，操作人员就可以手握镜框1’，将圆环形镜框1’同时抵在所述第二夹持装置的两个定位针51上后，如此，便可以进行点胶工作.接着开始对第二点胶部位进行点胶.操作人员手动旋转镜框1’，将针头4伸入另一镜框1’上的通孔13.由于镜框1’和镜片6’同轴设置，所以镜片6’上的被点胶部位相对镜框1’外侧面的距离是一致的.所述针头4顶端到定位件顶端的横向距离与所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离相等，或者，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离一相同距离.由于针头4的顶端与定位针51的顶端的距离固定，因此，使得镜片6’上各点胶部位到镜框1’外侧面的距离始终相同，即通过定位针51可以确保针头4的顶端到各点胶部位的距离一致，从而保证各点胶部位上的胶层厚度一致.由于针头4相对各点胶部位的距离相同，所以也可以保护针头4不受损伤.

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (13)

1.一种点胶装置，包括用于固定被点胶元件的第一固持装置、一端固定有针头的针筒及用于夹持针筒的第二固持装置，其特征在于：还包括一定位件，所述定位件的顶端顶在第一固持装置的外侧面，并且所述定位件与针筒固定连接，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离与所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离相等，或者，所述针头顶端到定位件顶端的横向距离小于所述被点胶元件上的各点胶部位到第一固持装置的外侧面的距离一相同距离。

2.如权利要求1所述的点胶装置，其特征在于：所述定位件包括一定位针和一针筒固定夹圈，所述针筒固定夹圈和所述定位针垂直固定连接，所述针筒固定夹圈固定夹持于所述针筒的外表面，所述定位针的顶端顶在第一固持装置的外侧面。

3.如权利要求2所述的点胶装置，其特征在于：所述定位针的顶端与所述第一固持装置的外侧面相切。

4.如权利要求3所述的点胶装置，其特征在于：所述定位针的顶端设置有滚珠、滚轮、滚轴、光滑弧面或光滑斜面。

5.如权利要求1所述的点胶装置，其特征在于：所述第二固持装置包括一固定架和一活动针筒夹，所述固定架包括一竖直支撑架和一水平支撑架，所述活动针筒夹包括一与水平支撑架垂直固定连接的连接端和一夹持所述针筒外表面的夹持端，所述针筒相对活动针筒夹水平滑动。

6.如权利要求5所述的点胶装置，其特征在于：所述活动针筒夹的夹持端上设有滚珠、滚轮、滚轴、光滑弧面或光滑斜面。

7.如权利要求5所述的点胶装置，其特征在于：所述针筒的尾部经一弹性连接元件与所述固定架的竖直支撑架连接。

8.如权利要求1所述的点胶装置，其特征在于：所述第一固持装置包括一旋转载台和一镜筒固定机构，所述镜筒固定机构固定于旋转载台上。

9.如权利要求8所述的点胶装置，其特征在于：所述旋转载台包括一转轴及一支撑部，所述转轴垂直于支撑部且位于支撑部的轴线上，所述镜筒固定机构与所述支撑部同轴设置。

10.如权利要求9所述的点胶装置，其特征在于：所述支撑部包括一支撑基底及一筒形侧壁，所述筒形侧壁垂直连接于所述支撑基底。

11.如权利要求1所述的点胶装置，其特征在于：所述第二固持装置包括一固定基底，所述定位件包括两定位针，所述定位针和所述固定基底垂直固定连接，所述固定基底上开有供所述针筒穿过的孔。

12.如权利要求11所述的点胶装置，其特征在于：第二固持装置上设有用于锁定针筒的锁定机构。

13.如权利要求1或11或12所述的点胶装置，其特征在于：所述第一固持装置为圆环形镜框，所述镜框上开有若干供所述针头伸入的通孔。

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