CN201440038U - 扩散炉密封炉门机构 - Google Patents

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贺小平
桂晓波
崔伟
王广明
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North China Science And Technology Group Ltd By Share Ltd
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体(9)，其特征在于：所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆(9.1)，该连接杆上固定套有金属卡套(9.2)，该金属卡套的里端套有压紧弹簧(8)，该弹簧的外端，金属卡套上设有支撑托管(9.3)，该托管通过支板(7)与一个花键轴承(1)的一端固定连接，花键轴承设有轴套(1.1)，该轴套与一个旋转气缸(2)进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸(5)进行平移动力连接。本实用新型适用于做扩散炉的炉门，操作灵活，密封效果好，节约能源，效率高。

Description

扩散炉密封炉门机构
技术领域
本实用新型属于一种密封炉门机构，具体是用于硅片加工的扩散炉上，能灵活开闭，特别是能与移载硅片的推拉舟分开操作，可以实现全程很好的密封的炉门机构。
背景技术
用于硅片加工的扩散炉的炉门需要较好的密封，现在使用的扩散炉炉门大都是与移载硅片的推拉舟一体设置，在不进行工艺过程时，炉门只得敞开。这样，扩散炉大量散热，不仅浪费了能源，也增加了再加工时炉体加热的时间，降低了效率。因此，需要对现用炉门进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种扩散炉密封炉门机构。该炉门机构结构是与推拉舟分体设置，设计合理，较好地解决了上述技术问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体，其特征在于：所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆，该连接杆上固定套有金属卡套，该金属卡套的里端套有压紧弹簧，该弹簧的外端的金属卡套上设有支撑托管，该托管通过支板与一个花键轴承的一端固定连接，花键轴承设有轴套，该轴套与一个旋转气缸进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸进行平移动力连接。
本实用新型进一步完善和实施的补充方案是：
所述平移气缸设有散热风扇。
所述所述花键轴承及轴套的支座、旋转气缸、平移气缸固定在底座上。
本实用新型的炉门机构具有结构完善、操作灵活、密封性能好、节约能源、效率高的优点。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：实施例：参见附图，扩散炉密封炉门机构，扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体9，所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆9.1，该连接杆上固定套有金属卡套9.2，该金属卡套的里端套有压紧弹簧8，该弹簧的外端，金属卡套上设有支撑托管9.3，该托管通过支板7与一个花键轴承1的一端固定连接，花键轴承设有轴套1.1，该轴套与一个旋转气缸2进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸5进行平移动力连接。所述平移气缸设有散热风扇4。所述所述花键轴承及轴套的支座6、旋转气缸、平移气缸固定在底座3上。
本实用新型经试用效果非常好。

Claims (3)

1.一种扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体(9)，其特征在于：所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆(9.1)，该连接杆上固定套有金属卡套(9.2)，该金属卡套的里端套有压紧弹簧(8)，该弹簧的外端，金属卡套上设有支撑托管(9.3)，该托管通过支板(7)与一个花键轴承(1)的一端固定连接，花键轴承设有轴套(1.1)，该轴套与一个旋转气缸(2)进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸(5)进行平移动力连接。
2.根据权利要求1所述的炉门机构，其特征在于：所述平移气缸设有散热风扇(4)。
3.根据权利要求1所述的炉门机构，其特征在于：所述所述花键轴承及轴套的支座(6)、旋转气缸、平移气缸固定在底座(3)上。
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