CN201374498Y - 一种长寿命半导体激光器微通道热沉 - Google Patents

一种长寿命半导体激光器微通道热沉 Download PDF

Info

Publication number
CN201374498Y
CN201374498Y CN200920105129U CN200920105129U CN201374498Y CN 201374498 Y CN201374498 Y CN 201374498Y CN 200920105129 U CN200920105129 U CN 200920105129U CN 200920105129 U CN200920105129 U CN 200920105129U CN 201374498 Y CN201374498 Y CN 201374498Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
heat sink
micro
water inlet
delivery port
channel heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN200920105129U
Other languages
English (en)
Inventor
尧舜
王智勇
陈曲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanxi Feihong Laser Technology Co., Ltd.
Original Assignee
Beijing University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing University of Technology filed Critical Beijing University of Technology
Priority to CN200920105129U priority Critical patent/CN201374498Y/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201374498Y publication Critical patent/CN201374498Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种长寿命半导体激光器微通道热沉，属于半导体光电子技术及其应用领域。为了改善现有的高功率半导体激光微通道热沉进出水处电化学腐蚀集中，造成的热沉寿命缩短、可靠性降低的现状，本实用新型采用的技术方案是：在微通道热沉进出水口采用导电耐腐蚀材料，降低电化学腐蚀速度，提高微通道热沉寿命。这种长寿命微通道热沉结构实用于当前任何半导体激光列阵和叠阵的制备。

Description

一种长寿命半导体激光器微通道热沉
技术领域
本实用新型涉及一种长寿命半导体激光器微通道热沉的结构，属于半导体光电子技术及其应用领域。
背景技术
半导体激光器微通道热沉散热技术是大功率半导体激光器叠阵封装最为先进的技术之一。当前所采用的微通道热沉在半导体激光器工作时，由于绝缘层上下正负电极的存在，使微通道热沉进出水通道口电场密度最高，当去离子水流动时优先在此处发生电化学腐蚀，微通道热沉进出水通道口受到腐蚀损坏导致漏水，使微通道热沉的散热作用失效，大大降低了半导体激光器的稳定性，可靠性以及使用寿命。
实用新型内容
为了解决背景技术中半导体激光器微通道热沉中电化学腐蚀集中发生在进出水通道口，导致微通道热沉漏水进而寿命降低的问题，为此，本实用新型提供一种长寿命微通道热沉结构，该结构能够减少微通道工作时进出水通道口的电化学腐蚀，提高微通道热沉寿命，进而提高半导体激光器长期工作的稳定性。
为了实现上述目的，本实用新型采取了如下技术方案。该微通道热沉包括微通道热沉热交换部分、设置在微通道热沉热交换部分上表面的第一进水口和第一出水口、以及设置在微通道热沉热交换部分下表面的第二进水口和第二出水口，第一进水口与第二进水口相连通，第一出水口和第二出水口相连通。在第一进水口、第一出水口与微通道热沉热交换部分相接触的部分、在第二进水口、第二出水口与微通道热沉热交换部分相接触的部分均设置有导电耐腐蚀层。
在第一进水口与第二进水口、第一出水口和第二出水口的连接通道的内壁上设置有导电耐腐蚀层。
所述的导电耐腐蚀层覆盖微通道热沉热交换部分的整个上表面或下表面。
所述的导电耐腐蚀层为由表面金属化的AlN(氮化铝)、BeO(氧化铍)或者不锈钢制成的耐腐蚀层。
本实用新型与传统结构相比具有以下优点：采用导电耐腐蚀层的进出水口和整个微通道热沉热交换部分形成一体化结构，使得在半导体激光器工作时，进出水口处所产生的电化学腐蚀直接作用在导电耐腐蚀层上。提高了半导体激光器微通道热沉的工作寿命，同时也提高了半导体激光器工作的稳定性、可靠性及工作寿命。
附图说明
图a本实用新型整体结构示意图
图b图a的俯视图
图c图a的仰视图
图d图a的剖视图
图中：1、上表面导电耐腐蚀层，2、第一进水口，3、第一出水口，4、微通道热沉热交换部分，5、下表面导电耐腐蚀层，6、第二进水口，7、第二出水口。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例详细描述本实用新型，但不限于这些实施例：
本实施例中的微通道热沉结构包括：微通道热沉热交换部分4、设置在微通道热沉热交换部分4上表面的第一进水口2和第一出水口3、设置在微通道热沉热交换部分4下表面的第二进水口6和第二出水口7。在第一进水口2和第一出水口3的周围设置有上表面导电耐腐蚀层1，在第二进水口6和第二出水口7的周围设置有下表面导电耐腐蚀层5。上表面导电耐腐蚀层1与第一进水口2和第二出水口3紧密连接，下表面导电耐腐蚀层5与第二进水口6和第二出水口7紧密连接。
如图d所示，也可以在上表面导电耐腐蚀层1和下表面导电耐腐蚀层5之间的进出水通道壁上使用导电耐腐蚀层，图b、图c中的上表面导电耐腐蚀层1和下表面导电耐腐蚀层5的表面形状可根据要求改变，也可以覆盖微通道热沉热交换部分4的整个上表面或下表面。
本实施例采用表面金属化的AlN，BeO或者不锈钢等作为导电耐腐蚀材料加在半导体激光器微通道热沉的第一进水口2、第一出水口3、第二进水口6和第二出水口7，形成上表面导电耐腐蚀层1和下表面导电耐腐蚀层5，导电耐腐蚀层与热交换部分用焊接等方式紧密连接。
本实施例工作时：在第一进水口2、第一出水口3、第二进水口6和第二出水口7处会产生电场，去离子水流动所产生的电化学腐蚀，直接作用在进出水口处的上表面导电耐腐蚀层1和下表面导电耐腐蚀层5上，半导体激光器微通道热沉的第一进水口2、第一出水口3、第二进水口6和第二出水口7受到上表面导电耐腐蚀层1和下表面导电耐腐蚀层5的保护。这样就提高了半导体激光器微通道热沉的工作寿命。

Claims (4)

1、一种长寿命半导体激光器微通道热沉，包括微通道热沉热交换部分(4)、设置在微通道热沉热交换部分(4)上表面的第一进水口(2)和第一出水口(3)、以及设置在微通道热沉热交换部分(4)下表面的第二进水口(6)和第二出水口(7)，第一进水口(2)与第二进水口(6)相连通，第一出水口(3)和第二出水口(7)相连通；其特征在于：在第一进水口(2)、第一出水口(3)与微通道热沉热交换部分(4)相接触的部分、以及第二进水口(6)、第二出水口(7)与微通道热沉热交换部分(4)相接触的部分均设置有导电耐腐蚀层。
2、根据权利要求1所述的一种长寿命半导体激光器微通道热沉，其特征在于：在第一进水口(1)与第二进水口(6)、第一出水口(3)和第二出水口(7)的连接通道的内壁上设置有导电耐腐蚀层。
3、根据权利要求1所述的一种长寿命半导体激光器微通道热沉，其特征在于：所述的导电耐腐蚀层覆盖微通道热沉热交换部分(4)的整个上表面或下表面。
4、根据权利要求1或权利要求2所述的一种长寿命半导体激光器微通道热沉，其特征在于：所述的导电耐腐蚀层为由表面金属化的氮化铝、氧化铍或者不锈钢制成的耐腐蚀层。
CN200920105129U 2009-01-16 2009-01-16 一种长寿命半导体激光器微通道热沉 Expired - Lifetime CN201374498Y (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200920105129U CN201374498Y (zh) 2009-01-16 2009-01-16 一种长寿命半导体激光器微通道热沉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200920105129U CN201374498Y (zh) 2009-01-16 2009-01-16 一种长寿命半导体激光器微通道热沉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201374498Y true CN201374498Y (zh) 2009-12-30

Family

ID=41500579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200920105129U Expired - Lifetime CN201374498Y (zh) 2009-01-16 2009-01-16 一种长寿命半导体激光器微通道热沉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201374498Y (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014177616A1 (en) * 2013-05-02 2014-11-06 Koninklijke Philips N.V. Cooling device for cooling a laser arrangement and laser system comprising cooling devices

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014177616A1 (en) * 2013-05-02 2014-11-06 Koninklijke Philips N.V. Cooling device for cooling a laser arrangement and laser system comprising cooling devices
US9559490B2 (en) 2013-05-02 2017-01-31 Koninklijke Philips N.V. Cooling device for cooling a laser arrangement and laser system comprising cooling devices

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102664177B (zh) 一种双面冷却的功率半导体模块
CN202120917U (zh) 大功率igbt平板压接式封装结构
CN103413851A (zh) 光伏旁路器件及应用该器件的保护电路、接线盒及发电系统
CN202268450U (zh) 一种液流电池的电极框
CN201374498Y (zh) 一种长寿命半导体激光器微通道热沉
CN201599745U (zh) 一种led灯具及led灯具的基板
CN106887787B (zh) 一种大通道半导体激光器液体制冷片及其激光器
CN101106344A (zh) 一种温差发电装置
CN205211777U (zh) 一种太阳能电池板的高效散热装置
CN105957848A (zh) 一种具有集成热管的底板及其模块装置
WO2022222759A1 (zh) 散热器、封装结构及电子设备
CN205542750U (zh) 一种半导体芯片
CN201229939Y (zh) 一种直流输电晶闸管换流阀组件用散热器
CN212305179U (zh) 一种轨道板发电装置
CN201142651Y (zh) 一种温差发电装置
CN114189206A (zh) 一种光伏组件接线盒
CN109888329B (zh) 采电板组件
CN209401978U (zh) 一种宏通道液冷高功率半导体激光器
CN203398140U (zh) 光伏旁路器件及应用该器件的保护电路、接线盒及发电系统
CN101594067A (zh) 混合动力汽车双面冷却平面高温逆变器
CN210200872U (zh) 水滴形质子交换膜燃料电池堆冷却流道
CN202231625U (zh) 水冷散热高频整流器及其散热装置
CN206865409U (zh) 一种光伏专用直流防反装置
CN207381383U (zh) 一种平行同轴安装电极组合及功率模块
CN207381391U (zh) 一种平行电极组合、功率模块及功率模组

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SHANXI FEIHONG LASER TECHNOLOGY CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: BEIJING INDUSTRY UNIVERSITY

Effective date: 20110310

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 100124 NO. 100, PINGLEYUAN, CHAOYANG DISTRICT, BEIJING TO: 041600 YANBI VILLAGE, GANTING TOWN, HONGDONG COUNTY, SHANXI PROVINCE

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20110310

Address after: 041600 Shanxi Ganting town of Hongdong County, Yan Village

Patentee after: Shanxi Feihong Laser Technology Co., Ltd.

Address before: 100124 Chaoyang District, Beijing Ping Park, No. 100

Patentee before: Beijing University of Technology

CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20091230