CN201350670Y - 多线锯切割后硅片脱胶保护装置 - Google Patents

多线锯切割后硅片脱胶保护装置 Download PDF

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CN201350670Y CNU2008202088426U CN200820208842U CN201350670Y CN 201350670 Y CN201350670 Y CN 201350670Y CN U2008202088426 U CNU2008202088426 U CN U2008202088426U CN 200820208842 U CN200820208842 U CN 200820208842U CN 201350670 Y CN201350670 Y CN 201350670Y
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Abstract

本实用新型所公开的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，它主要包括硅片固定夹具，硅片固定夹具底部设有连接板，连接板与钢板配合连接，硅片固定夹具两侧是端板，端板与底部的连接板固定连接，在硅片固定夹具两侧，两端板之间设有连接杆，在连接杆上通过可拆卸结构连接有插条。使得插条对硅片起到支撑和保护的作用以防止硅片倾倒导致破裂。本装置结构简单，为方便多线锯切割后硅片脱胶的取出起到了很大的作用，且脱胶过程粘胶软化后硅片能靠住不锈钢插条，有效的防止了硅片因倾倒而导致的硅片破裂的成本损耗，且插条和连接杆之间的连接安全可靠，操作方便。

Description

多线锯切割后硅片脱胶保护装置
技术领域
本实用新型涉及一种硅片脱胶保护装置，特别是一种多线锯切割后硅片脱胶保护装置。
背景技术
目前单晶(多晶)硅棒加工成200um左右厚度的硅片都是采用多线锯切割，切割前需要通过专用粘胶将硅棒，树脂板(玻璃板)，钢板粘接在一起，切割后需要进行冲洗和脱胶，将硅片从树脂板(玻璃板)上脱离开，在此过程中，切割好的硅片很容易因倾倒而造成破裂，破裂后的硅片就无法进行下步工序，造成硅片生产的成品率不高等问题，也因此造成了很大的损失。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种结构简单、方便取出硅片且防止硅片因倾倒而破裂的多线锯切割后硅片脱胶保护装置。
为了达到上述目的，本实用新型所设计的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，它主要包括硅片固定夹具，硅片固定夹具底部设有连接板，连接板与钢板配合连接，硅片固定夹具两侧是端板，端板与底部的连接板固定连接，在硅片固定夹具两侧，两端板之间设有连接杆，在连接杆上通过可拆卸结构连接有插条。使得插条对硅片起到支撑和保护的作用以防止硅片倾倒导致破裂。
为了使得插条较为容易安装，同时也为了防止插条在安装时造成对硅片的破坏，所述的可拆卸结构是由均布在连接杆上的凹槽和与之配合的设置在插条上的开口槽组成的，其所述的插条的一端的开口槽为U型开口槽，另一端的开口槽为折角型向下开口槽，在折角型向下开口槽上设有圆孔槽。折角型向下开口槽使得插条一端一旦与连接杆连接就无法在外力作用下脱落，且还具有一定的自由滑动的空间；而U型开口槽能方便的与连接杆拆卸连接。
为了使插条起到更好的支撑，隔离，保护的效果，且是插条和和凹槽能够方便的配合连接安装，凹槽的直径比圆孔槽直径小0.5～1毫米，凹槽宽度比插条厚度大0.5～1毫米，凹槽之间的间距为5毫米。连接杆上至少均布有两条插条厚度为1～1.5mm。插条还可以是以间距为4厘米均布在连接杆上，且插条是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。
本实用新型所得到的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其结构简单，为方便多线锯切割后硅片脱胶的取出起到了很大的作用，且脱胶过程粘胶软化后硅片能靠住不锈钢插条，有效的防止了硅片因倾倒而导致的硅片破裂的成本损耗，且插条和连接杆之间的连接安全可靠，操作方便。
附图说明
图1是本实用新型实施例1结构示意图；
图2是本实用新型插条主视图；
图3是本实用新型带凹槽的连接杆的剖面图；
图4是本实用新型硅片固定夹具立体图；
图5是本实用新型硅棒立体图。
图6是本实用新型实施例2结构示意图；
图7是本实用新型实施例2图6A-A剖面俯视图。
1：U型开口槽、2：折角型向下开口槽、3：圆孔槽、4：插条、5：硅片、6：连接杆、7：端板、8：钢板、9：硅棒、10：螺母、11：螺栓、12：连接板、13：硅片固定夹具、14：凹槽。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明专利作进一步的描述。
实施例1
如图1、图4所示，本实施例所描述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，它主要包括硅片固定夹具13、硅片固定夹具13底部设有连接板12，连接板12与钢板8通过螺栓11配合连接，硅片固定夹具13两侧是端板7，端板7与底部的连接板12通过螺母10固定连接，在硅片固定夹具13两侧，两端板7之间设有连接杆6，在连接杆6上通过可拆卸结构连接有插条4。如图2、图3所示所述的可拆卸结构是由均布在连接杆6上的凹槽14和与之配合的设置在插条4上的开口槽组成的，其所述的插条4的一端的开口槽为U型开口槽1，另一端的开口槽为折角型向下开口槽2，折角型向下开口槽2是上设有圆槽3，使得插条4该端与连接杆5安装后不易脱落。在连接杆6上连接设置有两条插条4。插条4的厚度为1毫米，圆孔槽3直径为2毫米，凹槽的宽度为1.5毫米，开口直径为1毫米。
使用时，如图5所示，先将带有切割好的硅棒9的钢板8通过螺栓11安装在连接板12上，然后在硅片固定夹具13的两侧安装上插条4，使得插条4在硅棒9两边，对切割好的硅片起到支撑作用后，逆时针方向将硅片固定夹具13翻转180°(硅片5朝上)，放入脱胶槽内，胶软化后硅片5竖立在插条4之间，不会倾倒造成破裂。
实施例2
如图6、图7所示，本实施例所描述的多线锯切割后的硅片脱胶保护装置，其所述的连接杆6上5毫米均布有凹槽14，在连接杆6上每隔4厘米设置插条4。插条4的厚度为1.5毫米，圆孔槽3直径2.5毫米且为不锈钢材质的插条，凹槽14的宽度为2毫米，开口直径为2毫米。

Claims (10)

1、一种多线锯切割后硅片脱胶保护装置，它主要包括硅片固定夹具(13)，硅片固定夹具(13)底部设有连接板(12)，连接板(12)与钢板(8)配合连接，硅片固定夹具(13)两侧是端板(7)，端板(7)与底部的连接板(12)固定连接，其特征是在硅片固定夹具(13)两侧，两端板(7)之间设有连接杆(6)，在连接杆(6)上通过可拆卸结构连接有插条(4)。
2、根据权利要求1所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的可拆卸结构是由均布在连接杆(6)上的凹槽(15)和与之配合的设置在插条(4)上的开口槽组成的，其所述的插条(4)的一端的开口槽为U型开口槽(1)，另一端的开口槽为折角型向下开口槽(2)，在折角型向下开口槽(2)上设有圆孔槽(3)。
3、根据权利要求2所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的凹槽(15)的直径比插条(4)上的圆孔槽(3)的直径小0.5～1毫米，凹槽(15)宽度比插条厚度大0.5～1毫米，凹槽(15)之间的间距为5毫米。
4、根据权利要求1或2或3所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的连接杆(6)上至少均布有两条插条(4)厚度为1～1.5mm。
5、根据权利要求1或2或3所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)以间距为4厘米均布在连接杆(6)上。
6、根据权利要求4所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)以间距为4厘米均布在连接杆(6)上。
7、根据权利要求1或2或3所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。
8、根据权利要求4所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。
9、根据权利要求5所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。
10、根据权利要求6所述的多线锯切割后硅片脱胶保护装置，其特征是所述的插条(4)是厚度为1～1.5毫米的不锈钢插条。
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