CN201320743Y - 飞轮及其拆卸装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种飞轮拆卸装置，包括至少三个固定爪，分别通过活动铰与一支撑体铰接，且围绕支撑体的中心均匀设置，还包括一端头设有手柄的活动顶杆。支撑体中心设有长管状通孔，活动顶杆的杆身穿过通孔并与之保持滑动约束。本实用新型拆卸飞轮时，通过均匀设置的固定爪咬合飞轮四周，活动顶杆穿过飞轮顶住旋转轴轴芯，并牵引支撑体，使得拆卸过程中飞轮各向受力均衡，从而避免了因为横向受力而损坏旋转轴轴芯的问题，其结构简单、方便有效。

Description

飞轮及其拆卸装置

【技术领域】

本实用新型涉及一种机械拆卸工具，尤其涉及一种飞轮及其拆卸装置。

【背景技术】

在半导体芯片生产制造工艺中，经常需要将硅片在密封的环境下进行沉淀、热氧化等工艺，而需要一个密封的反应设备，其中使用较为常见的比如NOVELLUS公司SEQUEL型机台，专门使用于密封条件下的各种半导体制成反应。在密封反应室中经常使用到加热器，一般都是可拆卸形，通过将加热器上方的转盘将其固定在密封反应室的旋转轴上。加热器在反应室内工作时作旋转运动，以便对中心的待加工硅片进行均匀的加热。

飞轮作为将加热器的转盘固定在旋转轴的主要部件，其拆卸方式如图1、图2所示，飞轮2安装于旋转轴1的端头，现有的飞轮呈锥盘状，其一侧盘面的中心设有一个旋转轴安装槽2-3。槽底设置有螺孔，用以固定旋转轴的端头。拆卸时必须先解除飞轮与旋转轴的固定连接，然后将飞轮从旋转轴上拔下。由于一般加热器的使用寿命为一年，且经常需要在多个密封反应室内使用，必须经常地拆卸安装，从而飞轮也经常性的要在旋转轴上人工插拔。由于用力的不均匀性，很容易人为损坏旋转轴的轴芯。所以需要一种安全有效的拆卸工具，能够方便安全地从旋转轴上拆卸飞轮。

【实用新型内容】

本实用新型的技术目的在于提供一种飞轮及其拆卸装置，以解决现在从旋转轴的端头上手动拆卸飞轮容易损坏轴芯的问题。

本实用新型所述的飞轮拆卸装置，包括一中心设有长管状通孔的支撑体；以及至少三个固定爪围绕支撑体的中心均匀设置，分别通过活动铰与支撑体铰接；还包括一端头设有手柄的活动顶杆。活动顶杆的杆身穿过通孔并与之保持滑动约束。

作为优选方案支撑体制作成圆盘状，通孔垂直于盘面设置在圆盘中心处，固定爪均匀设置于圆盘的边缘，并分别与支撑体通过活动铰铰接。

作为另一种优选方案，支撑体还可以制作成星状体，包括至少三个等长的支撑臂围绕星状体中心的通孔均匀设置，支撑臂的一端固定连接通孔，另一端则通过活动铰与固定爪铰接。

使用本实用新型所述飞轮为锥盘状，在其侧锥面上均匀开有至少两个容纳固定爪端齿的齿槽。其一侧盘面的中心处还开有旋转轴安装槽，并且在飞轮的轴心设置一贯穿旋转轴安装槽的槽底与飞轮的另一侧盘面的通孔。

飞轮拆卸装置在拆卸飞轮时，先将其固定爪的端齿咬合锥盘状飞轮上相应的齿槽，并将活动顶杆插入飞轮轴心的通孔中，端头顶住飞轮所安装的旋转轴轴芯，以活动顶杆的杆身为基准，向外侧牵引支撑体，使得飞轮在拆卸时各向受力均匀，避免发生横向受力而损坏旋转轴轴芯端头的问题。其结构简单，方便有效

【附图说明】

图1～2为现有旋转轴端头上飞轮的拆卸示意图。

图3～5为本实用新型所述飞轮拆卸装置拆卸飞轮的示意图。

【具体实施方式】

下面结合说明书附图对本实用新型的一个具体实施例作详细说明。

本实用新型所述的技术方案，如图3，首先对所使用的现有锥盘形飞轮进行改造，先在其侧锥面处均匀设置若干齿槽2-1，再于飞轮轴心处，贯穿旋转轴安装槽的槽底与另一侧盘面设置一通孔2-2。

如图4，本实用新型所述的飞轮拆卸装置，主要由支撑体3、活动顶杆4、以及固定爪5组成。固定爪5的一端设有端齿，可咬合飞轮的齿槽，另一端通过活动铰与支撑体3铰接。支撑体3既可以设置成圆盘状，也可以通过若干等长的支撑臂组合而成，其中心处设置一长管状通孔3-1，活动顶杆4的杆身贯穿支撑体的中心通孔，并可以在通孔3-1内沿通孔方向自由滑动。

为了在拆卸飞轮时，使得飞轮各向受力均衡，所以对应飞轮齿槽的固定爪5也必须均匀设置。固定爪5围绕支撑体3的中心，与圆盘状支撑体3的边缘铰接。如果支撑体3由若干等长支撑臂围绕中心通孔3-1组成，支撑臂也同样均匀设置，其一端连接通孔，另一端与固定爪5铰接。活动铰可方便固定爪5咬合齿槽2-1，固定爪的数量、飞轮齿槽的个数以及支撑臂的数量保持一致。

如图3～5所示的本实用新型所述装置的拆卸示意图，在使用拆卸装置时，先解除飞轮与旋转轴轴芯间的固定连接，然后将拆卸装置的固定爪5咬合对应飞轮侧锥面上的齿槽2-1。通过手柄，将活动顶杆4的端头插入飞轮轴心处设置的贯穿通孔2-2，直到顶杆的端头顶住旋转轴1的轴芯。此时活动顶杆4相对旋转轴1保持静止，以其杆身为基准，沿杆身滑动支撑体3，并带动固定爪5向外牵引飞轮2。

这样飞轮2相对于旋转轴1，受到了均衡的沿轴线方向的牵引力，避免了可能出现的横向受力对轴芯造成损坏，另外为了更加稳定的拆卸，还可以在牵引过程中旋转支撑体3，带动飞轮2自旋。

以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案。不脱离本实用新型精神和范围的任何修改或局部替换，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (6)

1、一种飞轮拆卸装置，其特征在于，包括一中心开有通孔的支撑体；至少三个固定爪，围绕支撑体的中心均匀设置，且分别通过活动铰与支撑体铰接；还包括一端头设有手柄的活动顶杆，其杆身穿过支撑体中心的通孔，并在通孔内自由滑动。

2、如权利要求1所述的飞轮拆卸装置，其特征在于所述支撑体制成圆盘状，固定爪均匀设置于圆盘的边缘并通过活动铰与支撑体铰接。

3、如权利要求1所述的飞轮拆卸装置，其特征在于所述支撑体还可以制作成星状体，包括至少三个等长的支撑臂，围绕星状体中心的通孔均匀设置，支撑臂的一端固定连接通孔，另一端与通过活动铰与固定爪铰接。

4、如权利要求1所述的飞轮拆卸装置，其特征在于所述支撑体中心的通孔为长管状，活动顶杆的杆身穿过通孔并与之保持滑动约束。

5、一种飞轮，其特征在于所述飞轮为锥盘状，在侧锥面上均匀开有至少两个容纳固定爪端齿的槽，在锥盘的轴心处开有一通孔。

6、如权利要求5所述的飞轮，其特征在于所述锥盘状的飞轮，其一侧盘面的中心处开有旋转轴安装槽，所述轴心的通孔贯穿旋转轴安装槽的槽底与飞轮的另一侧盘面。

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