CN201269842Y - 一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器 - Google Patents
一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器 Download PDFInfo
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101950721A (zh) * | 2009-07-10 | 2011-01-19 | 东京毅力科创株式会社 | 表面处理方法 |
CN103675889A (zh) * | 2012-08-31 | 2014-03-26 | 中国科学院电子学研究所 | 电子注分布分析的设备及方法 |
CN108427453A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-08-21 | 南京大学 | 一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统及方法 |
CN109490580A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-03-19 | 昆明理工大学 | 一种扫描隧道显微镜针尖的热处理装置 |
CN110501361A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-11-26 | 南昌航空大学 | 一种时效应变裂纹形成的同步辐射成像装置与方法 |
CN113802187A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-17 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备 |
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101950721A (zh) * | 2009-07-10 | 2011-01-19 | 东京毅力科创株式会社 | 表面处理方法 |
US8318034B2 (en) | 2009-07-10 | 2012-11-27 | Tokyo Electron Limited | Surface processing method |
CN101950721B (zh) * | 2009-07-10 | 2012-12-05 | 东京毅力科创株式会社 | 表面处理方法 |
US8715782B2 (en) | 2009-07-10 | 2014-05-06 | Tokyo Electron Limited | Surface processing method |
CN103675889A (zh) * | 2012-08-31 | 2014-03-26 | 中国科学院电子学研究所 | 电子注分布分析的设备及方法 |
CN103675889B (zh) * | 2012-08-31 | 2016-12-28 | 中国科学院电子学研究所 | 电子注分布分析的设备及方法 |
CN108427453A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-08-21 | 南京大学 | 一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统及方法 |
CN109490580A (zh) * | 2018-11-09 | 2019-03-19 | 昆明理工大学 | 一种扫描隧道显微镜针尖的热处理装置 |
CN110501361A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-11-26 | 南昌航空大学 | 一种时效应变裂纹形成的同步辐射成像装置与方法 |
CN110501361B (zh) * | 2019-09-27 | 2020-12-22 | 南昌航空大学 | 一种时效应变裂纹形成的同步辐射成像装置与方法 |
CN113802187A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-17 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 一种紧凑型超高温加热台及高温加热设备 |
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ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: JINKAI INSTRUMENT (DALIAN) CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: DALIAN INSTITUTE OF CHEMICAL PHYSICS, CHINESE ACADEMY OF SCIENCES Effective date: 20131210 |
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TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20131210 Address after: 506, room 911, Chinese Academy of science and Technology Innovation Park, 116023 Huangpu Road, hi tech Zone, Liaoning, Dalian Patentee after: Golden Armor instrument (Dalian) Co. Ltd. Address before: 116023 Zhongshan Road, Liaoning, No. 457, Patentee before: Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences |
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Granted publication date: 20090708 |