CN201268658Y - 一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃 - Google Patents
一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃,其具有玻璃基片(1),在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有铬膜层(2)、银膜层(3)、镍铬膜层(4),在镍铬膜层(4)表面镀有一层氧化锡膜层(5),在氧化锡膜层(5)表面镀有一层氮化硅膜层(6),从而构成五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃。采用上述结构,采用上述结构,第一层膜采用铬膜,既可以利用铬膜反射率高,膜层亮度高的优点,又可以利用铬膜溅射效率高,需要的膜层厚度薄的优点;第四层膜采用氧化锡膜、第五层采用氮化硅膜,既可以利用氧化锡膜沉积效率高,价格便宜的优点,又可以利用氮化硅膜结构紧密,耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
Description
技术领域
本实用新型属于一种镀膜玻璃,主要涉及一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃。
背景技术
低辐射镀膜玻璃是指在玻璃表面沉积一层高红外线反射材料(金属银),使玻璃吸收太阳光光谱中的红外线和其它物体发出的红外线非常少,玻璃自身又不存储能量,因此镀膜玻璃向外辐射的红外线也非常少,称为低辐射镀膜玻璃。该玻璃用于窗户上,可有效地阻挡太阳光中的红外线进入室内,降低夏天室内温度,节约空调制冷费用,冬天可以阻挡室内物体发出的红外线被玻璃吸收,散发到室外,提高室内温度,节约取暖费用。
现在市场上已经有很多种低辐射镀膜玻璃产品,第一层膜有用氧化锡的,也有用氧化锌的,第二层膜都是银膜,也有前面加一层镍铬膜的结构,第三层都用镍铬层,第四层主要为保护膜,一般采用氧化锡或氧化锌作保护膜,虽然氧化锡或氧化锌沉积效率高、价格便宜,但其保护作用差,耐磨、耐腐蚀性能不好。
发明内容
本实用新型目的是提供一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃,使其具有成本低,耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
本实用新型的目的可采用如下技术方案来实现:其具有玻璃基片,在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有铬膜层、银膜层、镍铬膜层,在镍铬膜层表面镀有一层氧化锡膜层,在氧化锡膜层表面镀有一层氮化硅膜层,从而构成五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃。
采用上述结构,第一层膜采用铬膜,即可以利用铬膜反射率高,膜层亮度高的优点,又可以利用铬膜溅射效率高,需要的膜层厚度薄的优点;第四层膜采用氧化锡膜、第五层采用氮化硅膜,即可以利用氧化锡膜沉积效率高,价格便宜的优点,又可以利用氮化硅膜结构紧密,耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
附图说明
附图1为本实用新型的具体结构示意图。
图中:1、玻璃基片,2、铬膜层,3、银膜层,4、镍铬膜层,5、氧化锡膜层,6、氮化硅膜层。
具体实施方式
结合附图,说明本实用新型的具体实施例。
如附图1所示:其具有玻璃基片1,在玻璃基片表面上从底层向上依次镀有铬膜层2、银膜层3、镍铬膜层4,在镍铬膜层表面镀有一层氧化锡膜层5,在氧化锡膜层表面镀有一层氮化硅膜层6,从而构成五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃。
本实用新型是在真空环境下,通过磁控溅射在玻璃表面沉积五层膜的方法,生产一种红外线辐射率很低的镀膜玻璃。所述的低辐射镀膜玻璃是在镀膜室抽真空至1.1×10-4Pa以下,充入工艺气体(氧气或氮气或氩气),使镀膜室压力稳定在0.3Pa左右,将溅射源送电,靶材开始溅射,送入玻璃将靶材原子或其化合物沉积到玻璃表面。第一个镀膜室充入氩气,靶材为铬靶,将金属铬膜沉积到玻璃表面为第一层膜,厚度1至10纳米,第二个镀膜室充入氩气,靶材为银靶,在氧化锡上面沉积第二层银膜,厚度8至20纳米;第三个镀膜室充入氩气,靶材为镍铬靶,在银膜上沉积第三层镍铬膜,厚度3至10纳米;第四个镀膜室充入氧气,靶材为锡靶,在镍铬膜上沉积第四层氧化锡膜,厚度15至30纳米;第五个镀膜室充入氮气,靶材为硅靶,在氧化锡膜上沉积第五层氮化硅膜,厚度15~30纳米。
第一层膜采用铬膜,即可以利用铬膜反射率高,膜层亮度高的优点,又可以利用铬膜溅射效率高,需要的膜层厚度薄的优点;第四层氧化锡膜和第五层氮化硅膜都起保护银膜和镍铬膜的作用,提高膜层的耐磨性能和耐氧化、耐腐蚀性能。采用该结构,即可以利用氧化锡膜沉积效率高,价格便宜的优点,又可以利用氮化硅膜结构紧密,耐磨、耐腐蚀性能好的优点。
Claims (1)
1、一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃,其具有玻璃基片(1),在玻璃基片(1)表面上从底层向上依次镀有铬膜层(2)、银膜层(3)、镍铬膜层(4),其特征是:在镍铬膜层(4)表面镀有一层氧化锡膜层(5),在氧化锡膜层(5)表面镀有一层氮化硅膜层(6),从而构成五层膜结构的低辐射镀膜玻璃。
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CNU2008201482213U CN201268658Y (zh) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | 一种五层膜结构的高亮度低辐射镀膜玻璃 |
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CN103847169A (zh) * | 2013-09-02 | 2014-06-11 | 洛阳新晶润工程玻璃有限公司 | 低遮阳系数的单银低辐射镀膜玻璃 |
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2008
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GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20090708 Termination date: 20120728 |