CN201266126Y - 双桥式厚膜压力传感器 - Google Patents
双桥式厚膜压力传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201266126Y CN201266126Y CNU2008201875138U CN200820187513U CN201266126Y CN 201266126 Y CN201266126 Y CN 201266126Y CN U2008201875138 U CNU2008201875138 U CN U2008201875138U CN 200820187513 U CN200820187513 U CN 200820187513U CN 201266126 Y CN201266126 Y CN 201266126Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pressure sensing
- pressure
- sensing membrane
- thick film
- pedestal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
本实用新型属于力或应力的测量领域,尤其是一种应用压电电阻材料性质的双桥式厚膜压力传感器。包括基座,设置在基座上的感压膜片,设置在感压膜片上的可动感压膜片,及与可动感压膜片相连接的测量电路和处理电路,其特征是可动感压膜片为双桥电路结构,基座与感压膜片是一体式结构,双桥电路结构的可动感压膜片烧接在基座上的感压膜片上,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片间设有烧接附层,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片上设有绝缘保护层。此双桥式厚膜压力传感器耐高温、耐腐蚀性、灵敏度及温度和时间稳定性好,过载负荷大,工艺简单,使用方便,成本低,可用丝网印刷技术制造,适合工业大批量生产,可用于力或应力的测量。
Description
技术领域
本实用新型属于力或应力的测量领域,尤其涉及一种应用压电电阻材料性质的压力传感器。
背景技术
传统的陶瓷压力传感器具有低成本、精度高、稳定性好等优点,但由于陶瓷材料本身的限制,陶瓷压力传感器在二次封装中只能采取装配式结构,因此大大增加了成本,且降低了稳定性。1998年5月6日公告的中国专利96223575.X公开了一种集成压力传感器,主要由芯片、底座、外壳等组成,其芯片由上基板、下基板构成,并被键合成一个整体,从而使得厚膜力敏全桥及补偿电路,调节电路等全部集成在同一块芯片上。此集成压力传感器耐高温,耐腐蚀性,灵敏度及时间稳定性不够良好,且工艺复杂,成本高,不适合工业大批量生产的需要。
发明内容
本实用新型的目的是克服以上缺陷,提供一种双桥式厚膜压力传感器,此双桥式厚膜压力传感器具有耐高温、耐腐蚀性、灵敏度及温度和时间稳定性好,且过载负荷大,工艺简单,使用方便,成本低,适合工业大批量生产的需要的优点。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种双桥式厚膜压力传感器,包括基座,设置在基座上的感压膜片,设置在感压膜片上的可动感压膜片,及与可动感压膜片相连接的测量电路和处理电路,其特征是:可动感压膜片为双桥电路结构。
所述的双桥式厚膜压力传感器,基座与感压膜片可以是一体式结构。
所述的双桥式厚膜压力传感器,双桥电路结构的可动感压膜片烧接在基座上的感压膜片上。
所述的双桥式厚膜压力传感器,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片间设有烧接附层。
所述的双桥式厚膜压力传感器,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片上设有绝缘保护层。
所述的双桥式厚膜压力传感器,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片上的绝缘保护层为含玻璃体的浆料所制。
所述的双桥式厚膜压力传感器,双桥电路结构为双桥惠斯顿电桥。
所述的双桥式厚膜压力传感器,基座可以采用金属材料。
所述的双桥式厚膜压力传感器,可动感压膜片可以是烧接在感压膜片上,同样,绝缘保护层也可以是烧接在可动感压膜片上。
这样在使用时,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片组成弹性厚膜片,当被测压力作用在双桥式厚膜压力传感器的膜片上时,膜片发生变形,导致传感器的电桥平衡发生变化,在受力发生小挠度变形时,其输出与压力近似成线性函数关系,然后通过测量电路的变化即可计算出传感器所受压力的改变,进而测量出压力,再通过处理电路,将电容的变化转化为0.5V-5V输出电压信号;双桥惠斯顿电桥的双桥电路结构具有很好的电压灵敏度和低温度敏感性;同时,双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片间的烧接附层可防止接触时短路,其二者上面设置的绝缘保护层也可以起到绝缘保护的作用。
本实用新型的双桥式厚膜压力传感器具有耐高温、耐腐蚀性、灵敏度及温度和时间稳定性好,且过载负荷大,工艺简单,使用方便,成本低,其制造可采用丝网印刷技术,适合工业大批量生产的需要的优点,可广泛用于力或应力的测量。
附图说明
图1是双桥式厚膜压力传感器结构示意图;
图2是双桥惠斯顿电桥示意图。
其中,1基座,2感压膜片,3可动感压膜片,4烧接附层,5绝缘保护层。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明:
如图1,图2所示,一种双桥式厚膜压力传感器,包括金属基座1,与金属基座1为一体式结构的感压膜片2,烧接在感压膜片2上的可动感压膜片3,及与可动感压膜片3相连接的测量电路和处理电路,其可动感压膜片3为双桥惠斯顿电桥的双桥电路结构,双桥电路结构的可动感压膜片3与金属基座1上的感压膜片2间设有烧接附层4,另外,双桥电路结构的可动感压膜片3与金属基座1上的感压膜片2上烧接有含玻璃体浆料的绝缘保护层5。
这样在使用时,双桥电路结构的可动感压膜片3与金属基座1上的感压膜片2组成弹性厚膜片,当被测压力作用在双桥式厚膜压力传感器的膜片上时,膜片发生变形,导致传感器的电桥平衡发生变化,在受力发生小挠度变形时,其输出与压力近似成线性函数关系,然后通过测量电路的变化即可计算出传感器所受压力的改变,进而测量出压力,再通过处理电路,将电容的变化转化为0.5V-5V输出电压信号;双桥惠斯顿电桥的双桥电路结构具有很好的电压灵敏度和低温度敏感性;同时,双桥电路结构的可动感压膜片3与金属基座1上的感压膜片2间的烧接附层4可防止接触时短路,其二者上面设置的绝缘保护层5则起到绝缘保护的作用。
Claims (6)
1、一种双桥式厚膜压力传感器,包括基座,设置在基座上的感压膜片,设置在感压膜片上的可动感压膜片,及与可动感压膜片相连接的测量电路和处理电路,其特征是:可动感压膜片为双桥电路结构。
2、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:基座与感压膜片是一体式结构。
3、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:双桥电路结构的可动感压膜片烧接在基座上的感压膜片上。
4、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片间设有烧接附层。
5、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:其特征是:双桥电路结构的可动感压膜片与基座上的感压膜片上设有绝缘保护层。
6、根据权利要求1所述的双桥式厚膜压力传感器,其特征是:双桥电路结构为双桥惠斯顿电桥。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2008201875138U CN201266126Y (zh) | 2008-08-08 | 2008-08-08 | 双桥式厚膜压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2008201875138U CN201266126Y (zh) | 2008-08-08 | 2008-08-08 | 双桥式厚膜压力传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201266126Y true CN201266126Y (zh) | 2009-07-01 |
Family
ID=40832500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNU2008201875138U Expired - Fee Related CN201266126Y (zh) | 2008-08-08 | 2008-08-08 | 双桥式厚膜压力传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201266126Y (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105092138A (zh) * | 2014-05-12 | 2015-11-25 | 刘胜 | 厚膜压力传感器及其制造方法 |
CN107941384A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-04-20 | 苏州康姆普机械有限公司 | 一种电子式压力传感器 |
-
2008
- 2008-08-08 CN CNU2008201875138U patent/CN201266126Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105092138A (zh) * | 2014-05-12 | 2015-11-25 | 刘胜 | 厚膜压力传感器及其制造方法 |
CN107941384A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-04-20 | 苏州康姆普机械有限公司 | 一种电子式压力传感器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101566514B (zh) | 集成温度的薄膜压力传感器 | |
CN103105248B (zh) | 一种硅基双岛结构石英梁谐振式微压力传感器 | |
CN201463884U (zh) | 压电式电子水平仪 | |
CN202126319U (zh) | 应变电阻与弹性体一体式传感器 | |
CN103575446B (zh) | 一种中等量程三维力传感器 | |
CN202304895U (zh) | 一种实现温度和压力信号的同时测试的溅射薄膜芯片 | |
CN212807437U (zh) | 一种差压传感器芯体 | |
CN207366110U (zh) | 一种高灵敏压力传感器 | |
CN102519653A (zh) | 一种弹簧管应变片组合式数字压力表 | |
CN208704923U (zh) | 耐高温硅压阻压力敏感元件 | |
CN101241030A (zh) | Mos力敏传感器 | |
CN203178006U (zh) | 压力传感器封装结构 | |
CN201266126Y (zh) | 双桥式厚膜压力传感器 | |
CN205120283U (zh) | 张力仪传感器 | |
CN103728065A (zh) | 一种soi结构压力传感器 | |
CN201476928U (zh) | 高精度高频压电式压力传感器 | |
CN103921171A (zh) | 一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器 | |
CN207689061U (zh) | 一种电容压力传感器 | |
CN102506691A (zh) | 一种具有温度补偿功能的水泥基智能复合材料应变传感器 | |
CN206399366U (zh) | 一种基于薄膜应变计的弓形梁传感器 | |
CN203011606U (zh) | 基于电阻应变片的智能压力检测系统 | |
CN115060405A (zh) | 一种基于特殊非晶合金材料的微型化六维力传感器 | |
CN109994596A (zh) | 一种高性能宽量程带温敏型薄膜压敏芯片 | |
CN202771390U (zh) | 夹心型压电触摸屏 | |
CN103267606B (zh) | 一种e型梁式压力传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090701 Termination date: 20110808 |