CN207689061U - 一种电容压力传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电容压力传感器，包括测量膜片以及固定在测量膜片上下两面的固定极板，上下两个所述固定极板和测量膜片之间形成对称的两个压腔，压腔内部均设置有环形隔离盘，压腔通过进气口连通外部环境，压腔和进气口外部配套设置有对应的球面基座，进气口穿过球面基座固定在外罩上，进气口至压腔处依次设置有隔离膜片和硅油；本实用新型使用差动电容式压力传感器比传统单电容式的灵敏度高、线性度好，在实现对被测气体测量时，且使用隔离膜片和硅油对被测气体进行过滤，将腐蚀性物质进行隔离，可适应更多的使用环境，大大提高差动式压力传感器的使用范围。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种传感器，具体为一种电容压力传感器。
背景技术
电容式压力传感器是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器，特点是：低的输入力和侏儒能量，高动态响应，小的自然效应，环境适应性好。电容式压力传感器一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定极板之间形成的电容量发生变化，通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器包括陶瓷电容压力传感器，相较于金属电容是传感器，陶瓷电容压力传感器可以直接应用于卫生型行业，以及腐蚀性介质的测量，性价比高，可应用于液体、气体或各种流体的压力测量。但是，陶瓷电容压力传感器极易因过载而造成损坏，寿命较短，增加了生产成本。
因此，如何改变现有技术中，陶瓷电容压力传感器易因过载而损坏的现状，是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种电容压力传感器，以解决上述现有技术存在的问题，使陶瓷电容压力传感器在过载时能够得到有效保护。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
本实用新型提供一种电容压力传感器，包括测量膜片以及固定在测量膜片上下两面的固定极板，上下两个所述固定极板和测量膜片之间形成对称的两个压腔，压腔内部均设置有环形隔离盘，压腔通过进气口连通外部环境，压腔和进气口外部配套设置有对应的球面基座，进气口穿过球面基座固定在外罩上，进气口至压腔处依次设置有隔离膜片和硅油。
作为本实用新型的一种优选技术方案，固定极板是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定极板和测量膜片上均通过引线电性连接输出端子，输出端子设置在外罩外部。
作为本实用新型的一种优选技术方案，固定极板和球面基座为一体成型，外罩与球面基座配套使用。
本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型使用差动电容式压力传感器比传统单电容式的灵敏度高、线性度好，在实现对被测气体测量时，且使用隔离膜片和硅油对被测气体进行过滤，将腐蚀性物质进行隔离；
本实用新型的电容压力传感器，包括两个固定极板和可变电极，可变电极设置在测量膜片内，在测量膜片和两个固定极板之间分别形成两个可变的电容压腔，在压力的作用下，其中一个压腔5的容量增大，而另一个压腔5则相应减小，测量结果由差动式电路输出；
本实用新型的固定极板是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成，当测试压力超过设计测量值时，测量膜片上的环形隔离盘先与固定极板直接接触，测量膜片与固定极板之间始终隔着一个环形隔离盘，这可有效防止固定极板和测量膜片之间直接接触，造成的短路，起到限位保护作用，防止传感器因过载造成损坏，同时测量膜片受到固定极板凹面的保护而不致破裂。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
在附图中：
图1是本实用新型结构示意图；
图中标号：1、测量膜片；2、环形隔离盘；3、固定极板；4、输出端子；5、压腔；6、球面基座；7、硅油；8、隔离膜片；9、进气口；10、外罩。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例：如图1所示，本实用新型提供一种电容压力传感器，包括测量膜片1以及固定在测量膜片1上下两面的固定极板3，固定极板3和球面基座6为一体成型，外罩10与球面基座6配套使用；所述固定极板3和测量膜片1上均通过引线电性连接输出端子4，输出端子4设置在外罩10外部；上下两个所述固定极板3和测量膜片1之间形成对称的两个压腔5，压腔5内部均设置有环形隔离盘2，压腔5通过进气口9连通外部环境，压腔5和进气口9外部配套设置有对应的球面基座6，进气口9穿过球面基座6固定在外罩10上，进气口9至压腔5处依次设置有隔离膜片8和硅油7。
固定极板3是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成，固定极板3是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成，当测试压力超过设计测量值时，测量膜片1上的环形隔离盘2先与固定极板3直接接触，测量膜片1与固定极板3之间始终隔着一个环形隔离盘2，这可有效防止固定极板3和测量膜片1之间直接接触，因此可避免两个电极之间造成的短路，起到限位保护作用，防止传感器因过载造成损坏，同时测量膜片1受到固定极板3凹面的保护而不致破裂。
本实用新型使用差动电容式压力传感器比传统单电容式的灵敏度高、线性度好，在实现对被测气体测量时，且使用隔离膜片8和硅油7对被测气体进行过滤和隔离，将腐蚀性物质进行隔离，从而提高该电容式压力传感器的使用范围，被测气体通过对硅油7的改变，从而影响压腔5中测量膜片1的影响，从而达到测量的目的；
本实用新型包括两个固定极板3和可变电极，可变电极设置在测量膜片1内，在测量膜片1和两个固定极板3之间分别形成两个可变的电容压腔5，在压力的作用下，其中一个压腔5的容量增大，而另一个压腔5则相应减小，测量结果由差动式电路输出；直接通过引线导出输出端子4，在输出端子4内部设置有对应的差动式压力转换器，将形成的压力差直接输出。
最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种电容压力传感器，其特征在于，包括测量膜片（1）以及固定在测量膜片（1）上下两面的固定极板（3），上下两个所述固定极板（3）和测量膜片（1）之间形成对称的两个压腔（5），压腔（5）内部均设置有环形隔离盘（2），压腔（5）通过进气口（9）连通外部环境，压腔（5）和进气口（9）外部配套设置有对应的球面基座（6），进气口（9）穿过球面基座（6）固定在外罩（10）上，进气口（9）至压腔（5）处依次设置有隔离膜片（8）和硅油（7）。
2.根据权利要求1所述的一种电容压力传感器，其特征在于，固定极板（3）是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。
3.根据权利要求1所述的一种电容压力传感器，其特征在于，所述固定极板（3）和测量膜片（1）上均通过引线电性连接输出端子（4），输出端子（4）设置在外罩（10）外部。
4.根据权利要求1所述的一种电容压力传感器，其特征在于，固定极板（3）和球面基座（6）为一体成型，外罩（10）与球面基座（6）配套使用。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN111337182A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-26 | 包继宏 | 一种大量程高精度压力变送器 |
| CN115077779A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-09-20 | 浙江思格传感器智能检测技术有限公司 | 一种用于多通道压力传感器的运行测试模块 |
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| CN111337182B (zh) * | 2020-03-13 | 2021-09-14 | 浙江奥新仪表有限公司 | 一种大量程高精度压力变送器 |
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| CN115077779B (zh) * | 2022-06-13 | 2024-04-12 | 广东瑞莱斯精密电测技术有限公司 | 一种用于多通道压力传感器的运行测试模块 |
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Granted publication date: 20180803 Termination date: 20220109 |
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