CN201258359Y - Pecvd设备上料及下料端的输送台 - Google Patents

Pecvd设备上料及下料端的输送台 Download PDF

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CN201258359Y CNU2008201602018U CN200820160201U CN201258359Y CN 201258359 Y CN201258359 Y CN 201258359Y CN U2008201602018 U CNU2008201602018 U CN U2008201602018U CN 200820160201 U CN200820160201 U CN 200820160201U CN 201258359 Y CN201258359 Y CN 201258359Y
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沈寅
王仁杰
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Abstract

本实用新型涉及太阳电池生产设备技术领域，尤其是一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮，输送主动轮之间设置至少一个惰轮，组成惰轮单元。这些惰轮给石墨框更多的支撑点，在增加石墨框运行的平稳性外，轮子对石墨条的摩擦也会更小，增加石墨条的使用寿命。

Description

PECVD设备上料及下料端的输送台
技术领域
本实用新型涉及太阳电池生产设备技术领域，尤其是一种PECVD设备上料及下料端的输送台。
背景技术
目前我们的电池生产线PECVD部分对石墨条的损耗以及设备卡框破片的现象比较严重。纵观目前PECVD设备的机台的上料端和下料端的输送台，如图1所示，在总长80cm的输送台共有4组2对的轮子负责带动石墨框进入反应腔内，这样同侧的输送主动轮之间的距离就有25cm，距离过大就直接导致带动石墨框时，轮子对石墨条的摩擦力会变大以及运行中稍有不平稳会直接引起石墨框在腔体里发生卡框。石墨框在进框体时因不平稳而发生抖动，直接会导致石墨条的松动以及损坏，甚至整个石墨框卡在反应腔体内，使石墨框上的硅片产生破片。同时现在石墨框的价格不断上涨。
实用新型内容
为了克服原有设备容易损坏放置硅片的石墨框的不足，本实用新型提供一种使石墨框更加稳定地移动进入反应腔的PECVD设备上料及下料端的输送台。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮，输送主动轮之间设置至少一个惰轮，组成惰轮单元。这些惰轮给石墨框更多的支撑点，在增加石墨框运行的平稳性外，轮子对石墨条的摩擦也会更小，增加石墨条的使用寿命。
为了避免对PECVD设备机台原有结构的破坏，惰轮单元中的每个惰轮通过独立的支架安装在输送台上。
为了解决因为石墨框的石墨条底部凹凸不平吃不上力而使石墨框在惰轮上打滑的现象，惰轮通过弹簧调节器安装支架上，使惰轮和石墨条底部充分接触。
为了使惰轮在工作是更加稳定，惰轮单元中的相邻的惰轮支架彼此固定，成为一个整体。
本实用新型的有益效果是，在同一段空间里增加了足够多的支撑点使得石墨框在运行中更加平稳，避免了因为石墨框抖动而磕坏石墨条，石墨条的寿命增加，同时石墨框的卡框现象减少，硅片的破片率下降，在实际生产中安装好惰轮后破片率下降了0.16％。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是原来的PECVD设备上料及下料端的输送台的结构示意图。
图2是本实用新型的结构示意图。
图3是本实用新型的惰轮的安装结构示意图。
图中：1.石墨框输送主动轮，2.惰轮，3.支架，4.弹簧调节器，5.石墨框。
具体实施方式
如图2和3中所示，一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮1，输送主动轮1之间设置至少一个惰轮2，组成惰轮单元，在本实施例中除了靠紧反应腔处设置三个惰轮2，其他的石墨框输送主动轮1之间设置四个惰轮2。惰轮单元中的每个惰轮2通过独立的支架3安装在输送台上，支架3成L型，方便安装。惰轮2以及支架3都是不锈钢制成的，不会因为石墨框5温度过高而受影响，惰轮2的高度会和原有的石墨框输送主动轮1的高度一致，确保石墨框5在上面的平稳。惰轮2通过弹簧调节器4安装支架3上，使惰轮2和石墨框5底部充分接触。惰轮单元中的相邻的惰轮2的支架3彼此固定，成为一个整体。

Claims (4)

1、一种PECVD设备上料及下料端的输送台，具有石墨框输送主动轮(1)，其特征是：所述的输送主动轮(1)之间设置至少一个惰轮(2)，组成惰轮单元。
2、根据权利要求1所述的PECVD设备上料及下料端的输送台，其特征是：所述的惰轮单元中的每个惰轮(2)通过独立的支架(3)安装在输送台上。
3、根据权利要求2所述的PECVD设备上料及下料端的输送台，其特征是：所述的惰轮(2)通过弹簧调节器(4)安装支架(3)上。
4、根据权利要求2所述的PECVD设备上料及下料端的输送台，其特征是：所述的惰轮单元中的相邻的惰轮(2)的支架(3)彼此固定，成为一个整体。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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