CN201121206Y - 高效节能的真空设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高效节能的真空设备，其包括真空室、真空室室盖、翻板阀门组件及精抽阀门组件，真空室室盖盖于所述真空室上，翻板阀门组件安装于所述真空室内，精抽阀门组件安装于所述真空室侧面上，其中真空室室盖的底壁有一部分下凸，底壁下凸的部分伸入到真空室内。这样，真空室室盖的底壁下凸的部分与真空室的底壁之间的距离大大减少，从而使真空室的容积大大减少，所以缩短了对真空室的抽气时间、节省了电能并提高生产率，另外由于真空室室盖是整体结构，维修调整翻板阀门组件时只需整个室盖吊开即可，人人可站到真空室里面操作，所以便于维修保养。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空设备，尤其涉及一种高效节能的真空设备。
背景技术
当前普通的真空镀膜生产线上的真空设备，如图1a和图1b所示，所述真空设备包括真空室2a、真空室室盖1a、翻板阀门组件3a及精抽阀门组件4a，所述真空室室盖1a的底壁1b是平的，所述真空室室盖1a盖于所述真空室2a上，所述翻板阀门组件3a安装于所述真空室2a内，所述精抽阀门组件4a安装于所述真空室2a侧面上。因真空室2a里面设置有翻板阀门组件3a，侧面有精抽阀门4a，对所述翻板阀门组件3a和精抽阀门组件4a的安装与维修要占据一定的空间，从而决定了真空室2a的高度不能降到理想的高度。又因真空室室盖1a的底壁1b是平的，决定了真空室室盖1a的底壁1b与真空室2a的底壁之间的距离不可减少，所以造成真空室2a的空间过大，导致对真空室2a的抽气时间(从某一气压抽气至某一真空程度所需的时间)过长，从而影响生产线的生产效率且浪费电能。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种可以使对真空室抽气周期更短且高效节能的真空设备。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种高效节能的真空设备，适于运用在真空镀膜生产线上，包括真空室、真空室室盖、翻板阀门组件及精抽阀门组件，所述真空室室盖盖于所述真空室上，所述翻板阀门组件安装于所述真空室内，所述精抽阀门组件安装于所述真空室侧面上，其中，所述真空室室盖的底壁有一部分下凸，所述底壁下凸的部分伸入到所述真空室内。
本实用新型和现有技术相比，由于真空室室盖的底壁有一部分下凸，且所述底壁下凸的部分伸入到所述真空室内，所以真空室室盖的底壁下凸的部分与真空室的底壁之间的距离大大减少，从而使真空室的容积大大减少，所以缩短了对真空室的抽气时间、节省了电能并提高生产率，另外由于真空室室盖是整体结构，维修调整翻板阀门组件时只需整个室盖吊开即可，人人可站到真空室里面操作，所以便于维修保养。
附图说明
图1a是现有技术真空设备的剖视图。
图1b是现有技术真空设备的另一剖视图。
图2a是本实用新型高效节能的真空设备的剖视图。
图2b是本实用新型高效节能的真空设备的另一剖视图。
图3是本实用新型高效节能的真空设备之真空室室盖的平面图。
图4a是沿图3之A-A线的剖视图。
图4b是沿图3之B-B线的剖视图。
具体实施方式
如图2a、2b所示，所述真空设备包括真空室20、真空室室盖10、翻板阀门组件30及精抽阀门组件40，所述真空室室盖10盖于所述真空室20上，所述翻板阀门组件30安装于所述真空室20内，所述精抽阀门组件40安装于所述真空室20侧面上。所述真空室室盖10的底壁12有一部分下凸，所述底壁12下凸的部分122伸入到所述真空室20内，所述真空室室盖10通过所述底壁12盖于所述真空室20上，所述底壁12下凸的部分122与所述真空室20的底壁22之间的空隙足以使玻璃通过。更加具体地结构如下：
如图3、图4a及图4b所示，所述真空室室盖10还具有从底壁12四周向上伸出的侧壁13，所述真空室室盖10还具有横向连接于所述侧壁13及底壁12间的横加强板14，所述真空室室盖10还具有纵向连接于所述侧壁13及底壁12间的纵加强板15，这样使的本实用新型高效节能的真空设备的真空室室盖10更加的牢固，避免了由于真空室室盖10上下压强差所带来的扭曲和变形，增强了本实用新型高效节能的真空设备的实用性。
结合图2a、图2b、图3、图4a及图4b，对本实用新型高效节能的真空设备的原理做一详细的说明：由于真空室室盖10的底壁12有一部分下凸，且所述底壁12下凸的部分122伸入到所述真空室20内，所以真空室室盖10的底壁12下凸的部分122与真空室20的底壁22之间的距离大大减少，从而使真空室20的容积大大减少，所以缩短了对真空室20的抽气时间、节省了电能并提高生产率，另外由于真空室室盖10是整体结构，维修调整翻板阀门组件30时只需整个室盖吊开即可，人人可站到真空室20里面操作，所以便于维修保养。
本实用新型高效节能的真空设备适于运用在真空镀膜生产线上，所涉及的真空室室盖10的底壁12下凸的部分122与所述真空室20的底壁22之间的空隙足以使玻璃通过的情况下，所述底壁12下凸部分122尽量向下凸，这样使得真空室20的空间减少至尽可能小。
以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。
Claims (5)
1一种高效节能的真空设备，包括真空室、真空室室盖、翻板阀门组件及精抽阀门组件，所述真空室室盖盖于所述真空室上，所述翻板阀门组件安装于所述真空室内，所述精抽阀门组件安装于所述真空室侧面上，其特征在于：所述真空室室盖的底壁有一部分下凸，所述底壁下凸的部分伸入到所述真空室内。
2如权利要求1所述的高效节能的真空设备，其特征在于：所述底壁下凸的部分与所述真空室的底壁之间的空隙足以使玻璃通过。
3如权利要求1所述的高效节能的真空设备，其特征在于：所述真空室室盖还具有从底壁四周向上伸出的侧壁。
4如权利要求3所述的高效节能的真空设备，其特征在于：所述真空室室盖还具有横向连接于所述侧壁及底壁间的横加强板。
5如权利要求3所述的高效节能的真空设备，其特征在于：所述真空室室盖还具有纵向连接于所述侧壁及底壁间的纵加强板。
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Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103233879A (zh) * | 2013-04-24 | 2013-08-07 | 江苏宇天港玻新材料有限公司 | 一种连续真空生产线双腔转换室抽气系统 |
| CN104746008A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 去气腔室 |
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2007
- 2007-11-05 CN CNU200720059169XU patent/CN201121206Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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