CN201068279Y - 光罩放置装置的充气结构 - Google Patents

Abstract

一种光罩放置装置的充气结构，其包含一底座、一壳罩、至少一进气单元及至少一排气单元。该壳罩结合于该底座的上方，该进气及排气单元设置于该壳罩上。利用该进气单元充气，使得本实用新型具有提高该光罩放置装置的充气结构充填效率及气体置换率的效果。

Description

光罩放置装置的充气结构

技术领域

本实用新型涉及一种光罩放置装置的充气结构尤其是涉及一种在一光罩放置装置的一壳罩上设置至少一进气单元及至少一排气单元，以供该光罩放置装置充气的光罩放置装置之充气结构。

背景技术

一般而言，市场上所使用的光罩片由于结构较为精细，若直接运送该光罩片，则容易于运送途中因碰撞等各种因素对该光罩片造成损坏，也可能在该光罩片表面附着各种粒子及杂质，进而在后续使用时对该光罩片的表现造成影响。为避免上述情形发生，因此该光罩片通常放置于一光罩放置装置中进行运送。

该光罩放置装置形成一密闭空间，并将该光罩放置于该密闭空间中，以避免其它杂质进入该光罩放置装置中，进而污染该光罩片的表面。为避免该光罩放置装置内的气体含有过重的湿气及其它有害该光罩片的气体，进而影响该光罩片的性能，因此，该光罩放置装置优选设置一充气结构，并充入一填充气体〔例如：氮气〕于该光罩放置装置中，利用该填充气体将位于该光罩放置装置中的气体及湿气置换出来，以维持该光罩放置装置中的环境，进而降低对该光罩片的影响。

现有的光罩放置装置的充气结构，如中国台湾公告第I238804号「传送盒之填充装置改良」实用新型专利，其具有一盖体及一座体。该盖体覆盖于该座体的上方。该盖体内具有一容置空间，以供置放一光罩片于其内。该座体内设有数个透孔。该透孔内设置有一填充装置。该填充装置内具有一中空通道。该中空通道的一端形成一开合部，其另一端形成一导引斜面。

当使用该现有光罩放置装置的充气结构时，首先，将该光罩片放置于该座体上，并将该盖体覆盖于该座体上。接着，将一充气管通过该中空通道并顶抵于该开合部，再施予一外力即可使该充气管穿过该开合部，并进入该容置空间中。接着，经由该充气管将该填充气体充入该容置空间中。待填充完成后，将该充气管抽出，而该开合部将于该充气管抽出同时自行闭合，以避免该光罩放置装置内的光罩片受到外界空气的污染，进而保持该光罩放置装置内的环境。

一般而言，该现有的光罩放置装置的充气结构于实际使用时仍具有下列缺点，例如：该现有的光罩放置装置的充气结构的填充装置由该座体的下方进气，而该光罩片由于放置于该座体上，因此该光罩片将阻挡该填充气体的循环流动，使得该填充气体不易置换该光罩放置装置的上方空间中的气体，进而造成其具有气体置换率不好及充填效率低的缺点。另外，该开合部通常由一弹性材料制成〔例如：橡胶材料〕，长期使用后，该充气管将磨损该开合部，致使该开合部的活页无法密合，造成该填充装置寿命短。而且，该填充装置并无滤气功能，使得其无法滤除该填充气体中的杂质，造成其具有填充气体洁净度低的缺点。

新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种光罩放置装置的充气结构，其在一光罩放置装置的一壳罩上设置至少一进气单元及至少一排气单元，使得本实用新型具有提高该光罩放置装置的充气结构的充填效率及气体置换率的效果。

本实用新型的次要目的是提供一种光罩放置装置的充气结构，其通过另设置数个过滤组件分别与该进气及排气单元相连接，使得本实用新型具有提高充填气体洁净度的效果。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，一种光罩放置装置的充气结构，其包含一底座、一壳罩、至少一进气单元及至少一排气单元。该壳罩结合于该底座的上方，该进气及排气单元设置于该壳罩上。利用该进气单元充气，使得本实用新型具有提高该光罩放置装置的充气结构的充填效率及气体置换率的效果。

本实用新型改进了上述现有的光罩放置装置的充气结构的缺点，其能有效提升高该光罩放置装置的充气结构额气体置换率、充填效率及充填气体洁净度。

附图说明

图1：光罩放置装置的充气结构的立体图。

图2：光罩放置装置的充气结构的上视图。

图3：光罩放置装置的充气结构的分解立体图。

图4：光罩放置装置的充气结构的部分剖视图。

图5：光罩放置装置的充气结构的闭合状态示意图。

图6：光罩放置装置的充气结构的开放状态示意图。

图7：光罩放置装置的充气结构的使用状态示意图。

【主要组件符号说明】

1    壳罩              11   壳体             111 第一凸部        12  内罩

121  第二凸部          2    底座             3   进气单元        31  第一管体

311  第一顶持壁        3111 第一通孔         32  第一活动件      321 第一顶抵部

322  第一闭合部        33   第一垫圈         34  第一弹性组件    35  第三垫圈

36   过滤组件          4    排气单元         41  第二管体        411 第二顶持壁

4111 第二通孔          42   第二活动件       421 第二顶抵部      422 第二闭合部

43   第二垫圈          44   第二弹性组件     5   进气管          6   排气管

7    顶抵件

具体实施方式

为让本实用新型的上述及其它目的、特征及优点能更明显易懂，下文特举本实用新型的优选实施例，并配合附图，作详细说明如下：

请参照图1至图3所示，本实用新型优选实施例公开的光罩放置装置的充气结构包含一壳罩1、一底座2、至少一进气单元3及至少一排气单元4。该壳罩1位于该底座2的上方，且该壳罩1周缘与该底座2的周缘相结合，使得该壳罩1与该底座2之间形成一容置空间以容置一光罩片〔未标示〕。该底座2可供承托置放该光罩片。该进气及排气单元3、4设置于该壳罩1上。该进气单元3用于充入一填充气体，并利用该填充气体置换该光罩放置装置内的气体及湿气，进而使位于该光罩放置装置内的气体及湿气由该排气单元4排出。该进气及排气单元3、4优选设置于该壳罩1的上方，以便该填充气体可快速置换该光罩放置装置内的气体。该进气及排气单元3、4优选位于该壳罩1的对角位置，以避免该进气及排气单元3、4的设置位置过于接近，使得由该进气单元3充入的填充气体尚未置换该装置内的气体，即直接由该排气单元4排出，而造成该填充气体的浪费。

请参照图3至图5所示，本实用新型优选实施例公开的光罩放置装置的充气结构的壳罩1包含一壳体11及一内罩12。该进气及排气单元3、4可选择设置于该壳体11上、该壳体11及内罩12之间或该内罩12上。该壳体11的周缘与该底座2的周缘相结合。该内罩12与该壳体11相结合，且该内罩12位于该壳体11及底座2之间，以经由该内罩12定位该光罩片的位置。该壳体11上向外凸出设置至少两第一凸部111，且该凸部111的中央形成一第一穿孔〔未标示〕，以供该填充气体通过。该内罩12对应该第一凸部111的位置向该容置空间凸出设置至少两第二凸部121，且该第二凸部121的中央形成一第二穿孔〔未标示〕，以供该填充气体通过。该第一及第二凸部111、121之间形成一空间〔未标示〕，以分别设置该进气及出气单元3、4。

请参照图5及图6所示，该进气单元3具有一第一管件31、一第一活动件32、一第一垫圈33及一第一弹性组件34。该第一活动件32设置于该第一管件31中。该第一垫圈33及第一弹性组件34分别套设于该第一活动件32的两端。该第一管件31内形成一第一顶持壁311，以供一顶抵件7顶抵该第一活动件32。该第一顶持壁311中央形成一第一通孔3111，以供气体通过。该第一活动件32的一端径向延伸形成一第一顶抵部321，其另一端径向延伸形成一第一闭合部322。该第一活动件32可活动的设置于该第一通孔3111中，使得该第一顶抵部321及第一闭合部322分别位于该第一顶持壁311的相对两侧。该第一通孔3111的直径略大于该第一活动件32的直径，使得该第一通孔3111可连通该第一顶持壁311相对两侧的空间，以供气体流通。该第一垫圈33位于该第一闭合部322与第一顶持壁311之间。该第一弹性组件34位于该第一顶抵部321与第一顶持壁311之间。该第一垫圈33的直径优选大于该第一通孔3111的直径，且小于该第一闭合部322的直径。该第一弹性组件34优选自一弹簧，且其直径小于该第一顶抵部321的直径。这样，该第一弹性组件34将提供一弹性偏压推抵该第一顶抵部321，使得该第一闭合部322向该第一顶持壁311移动至该第一垫圈33同时与该第一顶持壁311及第一闭合部322相抵接。如此便可通过该第一垫圈33及第一闭合部322封闭该第一顶持壁311相对两侧空间的连通。

请再参照图3所示，该排气单元4的结构与该进气单元3相同，因此，该排气单元4具有一第二管件41、一第二活动件42、一第二垫圈43及一第二弹性组件44。该第二管件41内形成一第二顶持壁411，且该第二顶持壁411中央形成一第二通孔4111。该第二活动件42两端分别形成一第二顶抵部421及一第二闭合部422。

请再参照图5及图6所示，该进气单元3设置于该第一及第二凸部111、121之间。该第一管体31相对该顶抵部321的一端与该第一凸部111相抵接，该第一管体31的相对另一端则与该第二凸部121相接。优选分别设置一第三垫圈35于该第一管体31与第一凸部111之间及该第一管体31与第二凸部121之间，以增强本实用新型的气密度。另外，该第三垫圈35与第二凸部121之间优选设置一过滤组件36，以滤除该填充气体中的杂质，进而使得本实用新型可以提高充填气体洁净度。如图3所示，该排气单元4的设置方法与该进气单元3相同。

请参照图3、图5至图7所示，组装完成后光罩放置装置的充气结构，由于该第一弹性组件34所产生的弹性偏压推抵该第一顶抵部321，使得该第一闭合部322向该第一顶持壁311移动至该第一垫圈33同时与该第一顶持壁311及第一闭合部322相抵接。这样，该容置空间即形成一密闭空间。当使用本光罩放置装置的充气结构时，将至少一进气管5及至少一排气管6分别与该进气单元3及排气单元4相接。该进气管5及排气管6内皆设置该顶抵件7，以供分别顶抵该第一及第二顶抵部321、421。通过施加一外力于该顶抵件7上，以顶抵该第一及第二顶抵部321、421并克服该弹性偏压，使得该第一及第二活动件32、42移动。此时，该容置空间即可经由该第一及第二通孔3111、4111与该进气管5及排气管6相通。再由该进气管充填该填充气体于该容置空间内，以置换该容置空间内原有的气体及湿气。由于该进气及出气单元3、4设置于该壳罩1上，因此该填充气体充入该容置空间后，其对流不易受到该光罩片的阻挡，使得该填充气体可快速置换该容置空间内之气体，并经由该排气单元4及排气管6排出。待该容置空间内的气体湿度降低至一定标准后，即可停止进气，并将该进气管5及排气管6拆卸。此时，该进气及排气单元3、4将回复成闭合状态，使该容置空间再度形成一密闭空间，以避免外界的气体污染该容置空间内的光罩片。

如上所述，相较于图1所示的现有的光罩放置装置的充气结构的填充装置由该座体的下方进气，造成其气体置换率不高及充填效率低等缺点。另外，该开合部于长期使用后，容易受到磨损，造成该填充装置的寿命低。另外，该现有的填充装置并无滤气功能，使得其无法滤除该填充气体中的杂质，造成其填充气体洁净度低。本实用新型在该壳罩1上设置至少一进气单元3及至少一排气单元4，使得该光罩放置装置可由该进气单元3进气，并经由该排气单元4将该光罩放置装置中的气体排出，因此能提高该光罩放置装置的充气结构的气体置换率、充填效率及充填气体洁净度。另外设置该过滤组件46分别与该进气及排气单元3、4相连接，可以提高该充填气体的洁净度。

Claims (10)

1.一种光罩放置装置的充气结构，其特征在于，其包含：

一个底座，其用于承托一个光罩片；

一个壳罩，其结合于该底座的上方；

至少一个进气单元，其设置于该壳罩上；及

至少一个排气单元，其设置于该壳罩上。

2.根据权利要求1所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该壳罩包含一个壳体及一个内罩。

3.根据权利要求2所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该壳体设置至少两个第一凸部，且该内罩设置至少两个第二凸部。

4.根据权利要求3所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该第一及第二凸部之间形成一个空间，且该进气及排气单元分别设置于该空间内。

5.根据权利要求4所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该进气单元与该第一凸部之间设有一个第三垫圈。

6.根据权利要求5所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该第三垫圈与第一凸部之间系设有一个过滤组件。

7.根据权利要求4所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该排气单元与该第二凸部之间设有一个第三垫圈。

8.根据权利要求7所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该第三垫圈与第二凸部之间设有一个过滤组件。

9.根据权利要求1所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该进气单元包含一个第一管件、一个第一活动件、一个第一垫圈及一个第一弹性组件，该第一活动件设置于该第一管件中，且该第一垫圈及第一弹性组件分别套设于该第一活动件的两端。

10.根据权利要求1所述的光罩放置装置的充气结构，其特征在于，该排气单元包含一个第二管件、一个第二活动件、一个第二垫圈及一个第二弹性组件，该第二活动件设置于该第二管件中，且该第二垫圈及第二弹性组件分别套设于该第二活动件的两端。

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