CN201008874Y - 一种用于反应室的集气罩 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于反应室的集气罩，包括中空的外罩、中空的内罩和至少一个抽气把手，上述外罩的直径大于内罩，并使内罩安装于外罩内部时，两罩体的侧壁之间形成一个基本上为环形的空腔体，上述空腔体的上口和下口分别密封，内罩的侧壁上设有若干开放的能连通内罩内的空间与上述空腔体的空间的气流通道，上述抽气把手中空，与外罩的侧壁密封连接，从而与上述空腔体连通。本实用新型的集气罩既可保证收集反应室中的有害气体和/或烟尘等对操作人员有害的物质，又不影响操作人员的清理、检修等操作。其体积小、重量轻、效率高、制造简单、成本低、可根据反应室的开口形状具体定制。

Description

一种用于反应室的集气罩

技术领域

本实用新型涉及一种收集有害气体和烟尘的集气罩，且特别涉及一种用于反应室的集气罩。

背景技术

目前的集气罩多用于熔炼炉、家用燃煤炉、抽油烟机、沼气等，一般可分为两种：喇叭罩式和封闭式。喇叭罩式集气罩一般装在放气装置的出气口的上方并保持一定的高度，喇叭口大小与出气口相对应，此种方式的优点在于过程操作方便，其不足之处是系统配套的引风机所需电机功率和排风量要求较大，能源浪费严重，其次是集气除尘效果差，始终无法消除部分气体和烟尘外溢的现象。封闭式集气罩虽然能解决喇叭罩式集气罩所存在的弊病，但同时又带来对放气装置的操作，以及检修、调换等不便的问题。

现代的流水线上的一些反应室中都会有一些有害气体和/或烟尘产生，而在正常生产时这些反应室都是封闭的，当需要清理或检修时，反应室的门或盖被打开，其中残余的有害气体和/或烟尘和清理过程中可能产生的有害气体就会溢出，危害操作人员的正常工作和健康。如果靠厂房或车间内的整体的气体交换机来保持室内空气的清洁，必然会有相当量的有害气体和/或烟尘危害操作人员的健康，而上述集气罩都不能直接用于反应室，而专门用于或可以直接用于反应室的集气罩还十分鲜见。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种可直接用于反应室或类似装置的集气罩，特别是用于反应室清理或检修时，临时置于反应室的上方，既可保证收集反应室中的烟尘和/或有害气体等对操作人员有害的物质，又不影响操作人员的清理、检修的使用和移动都十分方便的集气罩。

本实用新型的集气罩根据涡流原理制作，使反应室中残留和/或生成的有害气体和/或烟尘直接从集气罩内被抽走，从而达到使气体不会散发的效果。

本实用新型的一种用于反应室的集气罩包括中空的外罩、中空的内罩和至少一个抽气把手，上述外罩的直径大于内罩，并使内罩安装于外罩内部时，两罩体的侧壁之间形成一个基本上为环形的空腔体，上述空腔体的上口和下口分别密封，内罩的侧壁上设有若干开放的能连通内罩内的空间与上述空腔体的空间的气流通道，上述抽气把手中空，与外罩的侧壁密封连接，从而与上述空腔体连通。

上述集气罩可直接放置于反应室的上方，使集气罩的环形空腔体的密封下口置于反应室的开口，也可在环形下口与反应室的开口之间加装一个环形柔性密封圈，以增加密封效果。从而在从抽气把手抽气时，上述内罩及空腔体内的空间呈负压状态，从而防止有害气体和烟尘的外溢，达到保护操作人员安全的目的。

上述气流通道为均匀的排布在内罩的侧壁上开孔，上述开孔的直径随在内罩侧壁上的高度的增加而减小，内罩侧壁上的开孔的直径采用大小孔设计，使有害气体和烟尘逐级减少。

上述外罩和内罩都为环形，内罩与外罩基本上沿同一中心轴安装，抽气把手至少为两个。

上述外罩和内罩都为多边形，内罩与外罩基本上沿同一中心轴安装，抽气把手至少为两个。

上述两个抽气把手在同一高度密封连接到外罩的侧壁上，两个抽气把手中心线之间角度不小于120度，使用外段接口，角度不小于120度，不会妨碍操作人员的正常操作。

上述两个抽气把手连接于外罩侧壁垂直方向上近似于2/5的高度，内罩上的孔在水平方向上分为四排，上两排的孔的直接近似于下两排孔的直径的1/2。

本实用新型的集气罩，可直接用于反应室或类似装置上，特别是用于反应室清理或检修时，临时置于反应室的上方，既可保证收集反应室中的有害气体和/或烟尘等对操作人员有害的物质，又不影响操作人员的清理、检修的使用和移动都十分方便的集气罩。

本实用新型的集气罩体积小、重量轻、效率高、制造简单、成本低、可根据反应室的开口形状具体定制。

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本实用新型的详细说明中，本实用新型的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例的集气罩的示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实施例的集气罩为用于钨蚀刻机反应室(LAM 4728XL)的保养集气罩，上述反应室(Chamber)可以是钨蚀刻机的反应室，也可以是其他任何适合的反应室。上述反应室内的残余尾气散发很严重，而且在清反应室的过程中H₂O₂与聚合物(Polymer)都会生成刺激性气体，危害操作人员的正常工作及健康。

上述集气罩包括环形的内罩2和外罩1，内罩2与外罩1的高度基本相同，当然内罩2的高度也可略低于外罩1；内罩2基本上同心的置于外罩1中间，两罩体的侧壁形成一个环形的空腔体，上述空腔体的环形上口4和下口5分别密封。在内罩的侧壁上设有横向的四排开孔，大小各两排，上面两排的直径小于下面两排的直径。两个中空的抽气把手31和32分别密封连接到外罩1的侧壁上。

在本实施例中，外罩1的外径D1为37cm(也可为37-38cm)，内罩2的内径D2为32cm(大于30cm)，抽气把手31和32的直径D3为5cm，长度也为5cm，两个抽气把手的中心线之间形成的角度∠A为120度。内罩2上的开孔做成水平方向的四排，大小各两排，小孔的直径d4为0.5cm，大孔的直径d5为1cm，每排设罩16个开孔，均匀分布。外罩1的高度H1为10cm，抽气把手31和32巨外罩底面的高度H2为4cm。

使用时将环形空腔体的密封下口5置于反应室开口上，两抽气把手31和32连接抽气装置，两抽气把手31和32之间的角度可使内罩2中的气体产生涡流，在散发出上口4之前被抽走，可根据反应室中有害气体的浓度适当调整抽气装置的功率，以达到使有害气体不散发或基本不散发的目的。操作人员可从内罩2的内空间进行相应的观察和操作。

需注意的是，虽然本实用新型的集气罩以用于反应室为例，但本实用新型的集气罩的用途并不限于反应室，并且上述参数仅表示一较佳实施方式，所属技术领域的技术人员当可根据本实用新型的说明及其基本知识做出各种变更，以适用于不同装置和场合。

虽然，本实用新型已通过以上实施例及其附图而清楚说明，然而在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的变化和修正，但这些相应的变化和修正都应属于本实用新型的权利要求的保护范围。因此，本实用新型应由其权利要求加以界定。

Claims (6)

1.一种用于反应室的集气罩，其特征在于上述集气罩包括中空的外罩、中空的内罩和至少一个抽气把手，上述外罩的直径大于内罩，并使内罩安装于外罩内部时，两罩体的侧壁之间形成一个基本上为环形的空腔体，上述空腔体的上口和下口分别密封，内罩的侧壁上设有若干开放的能连通内罩内的空间与上述空腔体的空间的气流通道，上述抽气把手中空，与外罩的侧壁密封连接，从而与上述空腔体连通。

2.根据权利要求1所述的集气罩，其特征在于上述气流通道为均匀的排布在内罩的侧壁上开孔，上述开孔的直径随在内罩侧壁上的高度的增加而减小。

3.根据权利要求2所述的集气罩，其特征在于上述外罩和内罩都为环形，内罩与外罩基本上沿同一中心轴安装，抽气把手至少为两个。

4.根据权利要求2所述的集气罩，其特征在于上述外罩和内罩都为多边形，内罩与外罩基本上沿同一中心轴安装，抽气把手至少为两个。

5.根据权利要求3或4所述的集气罩，其特征在于上述两个抽气把手在同一高度密封连接到外罩的侧壁上，两个抽气把手中心线之间角度不小于120度。

6.根据权利要求5所述的集气罩，其特征在于上述两个抽气把手连接于外罩侧壁垂直方向上近似于2/5的高度，内罩上的孔在水平方向上分为四排，上两排孔的直接近似于下两排孔的直径的1/2。