CN200953093Y - 气流控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种气流控制系统，包括：气流传感器、控制器与鼓风提取器；气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。本实用新型在没有任何不利影响的基础上能减少上下料系统的尘粒含量，避免尘粒污染及产品产量下降。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种集成电路制造设备，尤其涉及一种气流控制系统。
背景技术
目前，集成电路制造中使用的上下料系统，其尘粒污染的风险非常大。尘粒污染是由于芯片制造过程甚为漫长，经过的机器、人为处理操作过程甚为繁杂，但因机器、人为均获多或少会产生一些尘粒，这些尘粒一但沾附到芯片上，就会造成污染影响，而伤害到产品品质与良率。通过上下料系统的许多芯片产品如果不是足够严重被扔弃，可能会不同程度地影响产品的产量下降。如图1所示，现有的上下料系统靠上下移动来装载/卸载芯片或中间掩模。当上下料系统在进行上料/下料移动时，带有尘粒的不规则气流进入该上下料系统。因此芯片或中间掩模会被影响，并有潜在的尘粒污染的风险。在分度器从上而下移动时，气流干扰和压力的不同将尘粒带入芯片表面和背后，造成尘粒污染。因此，迫切需要研究一种能有效控制气流的方法。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种气流控制系统，该气流控制系统在没有任何不利影响的基础上能减少上下料系统的尘粒含量，避免尘粒污染及产品产量下降。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种气流控制系统，该气流控制系统包括：
气流传感器，用于检测上下料系统中的气流；
控制器，与气流传感器相连接，用于接收气流传感器反馈的气流信号；
鼓风提取器，与控制器相连接，用于接收控制器传输的控制信号；
气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。
所述的气流控制系统还包括报警系统，所述的报警系统包括一蜂鸣装置，该蜂鸣装置与气流传感器相连接。
和现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型气流控制系统能够有效地从上下料系统中提取尘粒，且在没有任何不利影响的基础上能大大减少装置的尘粒含量，避免尘粒污染。本实用新型还在气流控制系统上设计了一种报警系统，其能避免由于鼓风机或其它原因造成鼓风提取器工作不正常，用于使气流控制系统运转正常。
附图说明
图1是现有的上下料系统中气流造成尘粒污染的示意图；
图2是本实用新型气流控制系统的结构示意图；
图3是本实用新型气流控制系统的控制流程示意图；
图4是本实用新型的报警系统的结构示意图；
图5是使用本实用新型造成上下料系统中尘粒含量减少的效果示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
如图2所示，本实用新型气流控制系统包括：
气流传感器，用于检测上下料系统中的气流；
控制器，与气流传感器相连接，用于接收气流传感器反馈的气流信号；
鼓风提取器，与控制器相连接，用于接收控制器传输的控制信号。
如图3所示，本实用新型气流控制系统的控制流程如下：气流传感器检测上下料系统中的气流，并将不同的气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。
如图4所示，为了避免由于鼓风机或其它原因造成鼓风提取器工作不正常，设计了一种用于使气流控制系统运转正常的报警系统。该报警系统包括一蜂鸣装置，该蜂鸣装置与气流传感器相连接。利用气流传感器激发蜂鸣装置，当鼓风提取器工作不正常时，蜂鸣装置会发出报警声。
将本实用新型运用到Nikon OM芯片上下料系统中。气流控制系统的规格为：鼓风机：220V，50Ma；气流：200g/cm2，安装方法是在配气板上钻孔，用四个螺丝将鼓风机固定在配气板表面。所有的管道被用作排气管，所有的材料用于清洁室。
如图5所示，使用本实用新型气流控制系统能大大减少上下料系统中的尘粒含量。
Claims (2)
1、一种气流控制系统，其特征在于，包括：
气流传感器，用于检测上下料系统中的气流；
控制器，与气流传感器相连接，用于接收气流传感器反馈的气流信号；
鼓风提取器，与控制器相连接，用于接收控制器传输的控制信号；
气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。
2、根据权利要求1所述的气流控制系统，其特征在于，还包括报警系统，所述的报警系统包括一蜂鸣装置，该蜂鸣装置与气流传感器相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620046601 CN200953093Y (zh) | 2006-10-08 | 2006-10-08 | 气流控制系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN 200620046601 CN200953093Y (zh) | 2006-10-08 | 2006-10-08 | 气流控制系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN200953093Y true CN200953093Y (zh) | 2007-09-26 |
Family
ID=38811394
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 200620046601 Expired - Lifetime CN200953093Y (zh) | 2006-10-08 | 2006-10-08 | 气流控制系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN200953093Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105123090A (zh) * | 2015-07-16 | 2015-12-09 | 张萍 | 一种基于物联网的多功能智能割草机 |
-
2006
- 2006-10-08 CN CN 200620046601 patent/CN200953093Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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| COR | Change of bibliographic data |
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| TR01 | Transfer of patent right |
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Granted publication date: 20070926 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |