CN1997907A - 用于被测装置具有近似控温管理的微型热处理室 - Google Patents

Abstract

一种使用流体控制被测装置温度的温度单元，该温度单元包括与被测装置相对设置的元件和移动该元件的执行器，并且该元件限定了两者之间的间隙，通过该间隙流体以间隙流速横穿过被测装置。通过调整这一间隙，流过被测装置的流体的流速改变，从而调整被测装置的温度。另外，该元件可以是加热元件，其产生的热透过间隙可被被测装置吸收，因此通过执行器对加热元件的调整改变横跨间隙的热阻。

Description

用于被测装置具有近似控温管理的微型热处理室

背景技术

在制作半导体设备的过程中，制作出的半导体设备需要进行一系列综合性测验，以保证其适于被最终用户使用。该测试程序是利用自动测试仪器(ATE)进行的。该ATE系统是设计来测试多种条件下的装置(通常指的是被测装置或DUT)。ATE系统一般包括对设备进行测试的检测器、将将装置放入检测器并将装置从检测器中取出的操纵器。在检测的过程中，由于温度会影响被测装置的电性能，因此最好是将装置保持在预定温度下。另外，为了在设计温度下测试装置以模拟该装置的设计和操作条件，该检测器需要在很宽温度范围内测试装置。因此，就有必要在测试过程中控制装置的温度。

控制温度的一种解决方案涉及将加热单元设置到被测装置和液冷散热片之间。然而，该解决方法对加热和冷却不能作出迅速响应。另外，加热元件其实必须非常薄以防止过度屏蔽，并防止影响热沉冷却效果。因此，加热单元需要具有低的热质量(thermal mass)，这既增加成本又影响了响应时间和高瓦特数的应用。

根据另一解决方案，液体被设置在加热单元和该装置之间以降低此间的热阻。然而，在测试之后，液体自身需要蒸发掉，不能在设备上留有任何残留。另外，液体需要在较大的温度范围内以供测试。因此，这种液体很难找到，使得采用液体不实际。

另外，备选的解决方案包括使用热电设备和热交换器。然而，热电设备不能用在高功率密度上，并且在工业环境中是不可靠的。

因此，提供DUT温度控制的已有解决方案不能控制大范围的温度，不具有快速响应时间，在测试过程中不稳定也不易于控制。

发明内容

本发明的一个方面是提供一种具有快速响应并用机械方法控制被测装置温度的低成本机械温度控制单元。

本发明的另一个方面是提供一种低成本的机械温度控制单元，其通过机械调节被测装置上方的热阻和/或热属性，来控制被测装置的温度。

本发明的其他方面以及优点部分将在下文中阐述，部分在描述中已很明显，或者可以在本发明的实践中得出。

根据本发明的一个方面，控制被测装置温度的温度单元包括加热元件，该加热元件与被测装置对置并生成被测装置可以透过间隙接收的热量；以及执行器，在加热元件生成热量时，其移动加热元件以调节该间隙，从而改变被测装置所接收到的热量，并从而调节被测装置的温度。

根据本发明的另一方面，该执行器增大该间隙以增加加热元件及被测装置之间的热阻，从而降低被测装置接收到的热量；该执行器减小该间隙以减小加热元件和被测装置之间的热阻，以增加被测装置接收到的热量。

根据本发明的另一方面，温度单元还包括壳体，该壳体将执行器和加热元件封装在内，并包括支撑被测装置的界面，其中该壳体可连接至用在自动测试设备中的操纵器。

根据本发明的另一方面，利用液体控制被测装置温度的温度单元包括与被测装置对置的部件，该部件限定了其与被测装置之间的间隙，液体以间隙液体流速通过该间隙流过被测装置，还包括执行器，该执行器移动该部件以调节间隙并改变流过被测装置液体的间隙流速，从而调节被测装置的温度。

根据本发明的另一方面，部件包括加热元件，被测装置可以透过间隙接收该加热元件产生的热量。

根据本发明的另一方面，温度单元还包括通道和阀门，液体通过该通道流经温度单元，该阀门控制导入该通道的液体的初始流速，其中执行器调节间隙从而使间隙流速与初始流速不同。

根据本发明的另一方面，温度单元还包括通道和泵，液体通过该通道流经温度单元，该泵控制导入该通道的液体的初始流速，其中执行器调节间隙从而使间隙流速与初始流速不同。

根据本发明另一方面，温度单元还包括阀，液体通过该阀从通道和泵之间流过，其中该阀是关闭的，以便泵在间隙处产生吸力。

根据本发明的另一方面，当产生吸力时，加热元件产生热量以调节被测装置的温度。

根据本发明的另一方面，一种记录有处理指令的计算机可读介质，采用计算机执行控制被测装置温度的方法，该方法包括确定执行器及加热元件的设置以实现被测装置所要求的温度，根据已确定的加热器部件设置调节加热元件以生成热量，并根据确定的执行器设置调节执行器以将加热元件移动到被测装置上方一定距离处。

根据本发明的另一方面，一种带有处理指令的计算机可读介质，采用计算机执行被测装置的温度控制的方法，该方法包括，对引入温度单元的液体的初始流速来说，确定需要的执行器设置以获得被测装置需要的温度，根据确定的执行器设置调节执行器以将部件移动至被测装置上方的间隙中，以改变流经已获得所需温度的被测装置的液体的初始流速，获得其间隙流速。

根据本发明的另一方面，该部件包括加热元件，该加热元件生成被测装置可以透过间隙接收的热量，以及该方法进一步包括决定所需加热元件的设置已获得与确定的执行器设置相一致的被测装置的所需温度，并根据设定的加热器部件设置调节加热器部件以生成热量。

根据本发明的另一方面，该方法进一步包括检测被测装置的当前温度，并且如果当前温度不是所需温度时，调节加热器部件和执行器中的一个。

根据本发明的另一方面，确定执行器和加热器部件的设置包括检测被测装置的当前温度，并且如果当前温度不是所需温度时设定该加热器部件和执行器的设置。

根据本发明的另一方面，该方法进一步包括通过调节液体流入或流出温度单元所经过的阀、并通过控制使液体在温度单元中循环的泵，在间隙中生成吸力。

附图说明

根据下文参照附图对实施例的描述，本发明这些及其他目标将变得明显并更易理解，附图中：

图1为根据本发明实施例的与处理器相连的模块示意图；

图2为图1所示模块实施例的示意图；

图3为图1所示模块另一实施例的示意图；

图4为图3所示模块的另一实施例，其中该模块支撑着被测装置；及

图5和图6为根据本发明另一实施例的微型热处理室内部的立体图。

具体实施方式

现在就详细描述本发明的现有实施例，附图中示出了其示例，其中相同的附图标记始终指代相同的元件。下文将对实施例进行描述以参照附图解释本发明。

图1简要地示出了本发明的实施例，其中模块100与处理器200一起使用。如图2中的实施例所示，模块100包括温度控制单元10，温度控制单元10支撑在被测装置1000上，用界面40生成控制温度的空间。在该空间内，加热元件20被连接到执行器30上，这样就能在执行器30的作用下相对于被测装置1000移动。如图所示，该执行器30为螺旋式执行器，具有螺杆35，螺杆35能使加热元件20精确地设置在被测装置1000上方，以控制这二者之间的间隙g。然而，当然也可以使用其他类型的执行器30。其他类型的执行器30包括但不限于线性电动机、齿条齿轮装置和其他类型的线性运动装置。

间隙g的改变会改变热阻以增加或降低被测装置1000的温度。具体来说，间隙g的改变调节了被测装置1000和加热元件20之间的距离。间隙g使被测装置1000和加热元件20之间具有热阻。因此，对加热元件20产生的一定的热量来说，被测装置1000获得的温度作为间隙g的函数会发生改变。这种改变大致成反比，即间隙g越小，被测装置1000的温度越高。

为了控制执行器30和加热元件20，控制器50驱动执行器驱动器60和加热器驱动器70。特别是控制器50控制加热器驱动器70，以便使加热元件20达到预定的温度。控制器50控制执行器驱动器60以控制执行器30来操纵加热元件20至被测装置1000上的预定间隙g。这样，被测装置1000的温度将通过加热元件20所产生的热量和通过由于执行器30调整被测装置1000和加热元件20之间的间隙g所引起的预定热阻两种方式控制。

采用适当的介质如周围空气可以限定热阻，适当的介质具有预定的热行为和为距离函数的绝缘值。然而，可以理解的是真空或接近真空的条件也能够被用来控制其间的热阻。

根据本发明的一方面，控制器50使用反馈回路来控制加热器驱动器70和执行器驱动器60，以调整和/或保持加热元件20的温度和间隙g。例如，反馈回路可以使用一传感器(未示出)，控制器50利用传感器来确定被测装置1000的当前温度。该传感器可以是外部温度传感器，并能够在被测装置1000接触界面40上接触被测装置。另外，被测装置1000可以包含内部温度传感器。在这种情况下，内部温度传感器可以包括二极管，并且控制器能够通过连通被测装置感知在二极管中正常方向上电压的改变。无论如何，要获得当前温度，通过比较当前温度和检测所要求的温度，控制器50调整加热器驱动器70和执行器驱动器60，以实现所要求的温度。这样，本发明的所有方面都不要求控制器50为了获得被测装置1000上的温度而使用预先的标定值和设置。此外，控制器50能够感知其他温度如加热元件20的表面温度、输入模块的液体温度、或流出模块液体的温度。另外，控制器50可以接收由被测装置消耗的能量值。

此外，很明显控制器50所使用的一个设置是预先校准的，同时为了实现并保持温度使用反馈回路来控制其余的设置。根据本发明的一方面，控制器50使用预先校准变量作为设置来控制加热元件20的温度，并且使用反馈回路来控制执行器30以调整间隙“g”。然而，很明显也可以使用其他的排列和组合。

根据图3中所示的模块100的另一个实施例，模块100进一步通过导入的流体240来控制热阻。使用泵300，流体240被泵送通过入口210。被导入的液体240通过加热元件20、界面40、温度控制单元10和被测装置1000之间的通道。来自模块100的流体240通过出口220被排出。为了避免流体泄漏，在被测装置接触界面40点处可以包括密封件如O形圈或弹性密封组件。

为了另外使用流体240控制温度，控制器50进一步利用阀门控制器310和泵控制器320。阀门控制器310控制吸入阀340和排出阀330，以便控制通过模块100的流体240的流速。泵控制器320控制泵300，也以便控制通过模块100的流体240的流速。流体240可以是任何类型的气体或液体，这些气体和液体在已有技术中用于冷却装置。另外，该流体可以是不蒸发的流体其在被测装置上不会蒸发，蒸发流体其在被测装置上蒸发。此外，虽然阀门330、340能够是可变的控制阀门，但阀门330、340在本发明的所有方面中都不必是可变的。

通过控制加热元件20，可以粗略地调整被测装置1000的温度。此外，由于被测装置1000和加热元件20之间的热阻与间隙g之间通常成反比，使用执行器30调整间隙g可以更精确地控制被测装置1000的温度。例如，当间隙g为0的时候，被测装置1000将与加热元件20接触，并将可以实现给加热元件设定的最高温度。相反，当间隙g非常大的时候，对于给定的加热元件设置来说加热元件20的效果将被大大减小。

如图3中所示流体240的进一步导入，如上文所述通过调整流过被测装置1000上的流体240的流速和速度，温度将进一步得到调节。由于流体240是直接接触被测装置1000的，热阻可以被更精确地控制。特别地，通过调整间隙g，通过由流速导致的对流效应和传导效应来控制温度。同样，在被测装置1000处流体240的静态热阻和由于流速传到走的热量都影响间隙g的变化，这两者也影响被测装置1000的温度(通过冷却或加热)。

图2和图3中所示的控制器50可以是已知的任何类型的控制器。特别地，控制器50可以是机械地、应用器件操作系统、或使用普通或特别目的的存储在任何记录介质上的计算机实施软件来实施。控制器50存储的设置和/或变量用于控制温度。这些设置和/或变量包括实现给定温度所需的间隙g、实现给定温度提供给加热元件20的电流或电能、以及为实现给定温度以实现流过被测装置1000的流体流动对泵300和阀门330，340的设置。另外，这里作为间隙g的函数，将加热元件20形成为部分地堵塞入口210和排出口220，该变量还可以包括执行器30的设置，执行器30使用加热元件20以进一步遮挡开口210、220来实现所希望的温度。对于本领域的那些技术人员来说是明显的，这些设置和/或变量可以利用本领域已知的经验或其他模块技术来确定。

还要注意到，由于加热元件20的移动，在图3中所示的实施例中在入口210和出口220之间具有可控制的通路。然而，可以理解的是不必包括这些特征，并且可以设置其他类型的单独靠加热元件20的运动来更精确控制通道形状的可变通道。例如，可以用适当的倾斜机构控制形状，改倾斜机构倾斜加热元件20，在流体240流过被测装置1000时，补偿改变流体240。

根据本发明的另一个实施例，流体240是用于冷却的适当气体。特别地，流体240可以是冷却的空气、压缩或液态的氮、或其他适于冷却的混合气体。当被测装置1000设置在触点或检测器(未示出)的时候，流体240加速通过被测装置1000。如图4中所示，通路的高度在点2和7与3和6之间最窄，以便来自点1和8的初始流速Vi加速流体至间隙流速V。另外，间隙流速V在点4和5加速至排出流速Vo。流体240的这一加速度流过被测装置1000后提高，并且在被测装置1000上机械地控制冷却效应。

如图3和图4中所示，从加热元件20延伸出伸出部分250以便调节通道的轮廓。调整该轮廓以优化流过被测装置1000的流体240的流动。然而，在本发明的所有方面中不必都使用伸出部分250，并且不必都整体地连接到加热元件20上。另外，可以在界面40和伸出部分250或加热元件20之间设置密封件。

根据本发明的另一方面，使用流体240的流动来生成保持在被测装置1000上的真空，如图1中所示，这样模块100可以进一步用来补充操纵器200的抓取和放下动作。为了使用模块100来生成真空，控制器50来控制关闭入口阀门340并开启出口阀门330。在温度控制单元10中生成这一真空，以便抵着界面40来夹持被测装置1000。因此，如图4中所示，界面40可以在被测装置1000的上面。这样，根据这一方面，在传输的过程中模块100使用该吸力来夹持被测装置1000。然而，很明显其他的机械也能够用于产生这种吸力，例如倒转泵300，而非关闭出口阀门330。

另外，虽然示出了两个阀门330和340，很明显也可以仅仅使用一个阀门。在这样的实施例中，根据温度控制单元10的入口210或出口220之一的位置来控制泵300的方向。

另外，模块100能够启动加热元件20，以此调整被测装置1000的温度，同时被测装置1000被传送至检测阶段之前的检测器上。这里使用传输功能，可以理解，可将传统已知的真空垫(未示出)将安装到被测装置1000上以促进吸取效应。

在使用的过程中，图3中所示的设备将如下方式运行。控制器50将使用阀门控制器310来校准阀门330、340。该校准将是用在检测阶段为实现预期温度的最佳设置。控制器50也将确定必须的间隙g以及要求的电流或电能，这样加热元件20结合流体流速来实现期望的温度。该控制器50接着调整间隙g，将确定的电流提供给加热元件20并通过阀门330、340和泵300的调整来调节流体240的流速。一旦使用传感器(未示出)确定被测装置1000达到期望的温度，检测器继续检测被测装置1000。

这里的模块100用来夹持被测装置1000，控制器50将产生真空以便把被测装置1000夹持在传输至检测器(未示出)的位置上，以用于检测。虽然没有要求，很明显在传送的过程中可以控制加热元件20来粗略地调整被测装置1000的温度，以便减少在检测器上的整个的检测时间。一旦在检测器上，真空操作将不会连续，并且被测装置1000将设置在相应的用于检测的接触器上。一旦检测结束，模块100再一次产生真空，以便夹持该被测装置1000，并把该被测装置1000移动到检测器的出口位置。

根据图5中所示的本发明的另一个实施例，模块100包括具有绝缘的入口410和绝缘的出口420的加热元件20。通过入口开口410从入口210流入的流体240由模块100通过出口开口420移动到出口220。另外，加热元件20包括其中可以插入分开的加热元件的加热元件口430。这样加热元件可以是圆柱形的加热器，或任何其他类型的加热器元件。然而，很明显加热元件20不必使用这种加热器元件，而采用具有相同的直接插入到加热元件20中的设计作为替代。

虽然就冷空气和液态氮来描述流体240。显然流体240可以是任何其他快速蒸发的流体，最好是无毒无污染的。然而，这里使用不蒸发流体240，很明显可以在被测装置1000和加热元件20之间使用柔性薄膜以避免损失不蒸发的流体240。很明显这种薄膜增加了热阻，从而影响了模块100的温度控制，以至于通常优选蒸发的流体240。

另外，流体能够通过冷却装置作为一个循环流动。在通过出口220之后，具有压缩机的冷却单元能够接收象液体、蒸汽、或液体和蒸汽这样的热流体。冷却单元能够能够冷却该流体至期望的温度，接着再导入流体。

另外，很明显非加热元件能够用于替代加热元件20。在这样的实施例中，流体240将根据流体的温度和间隙g的尺寸被用来提供被测装置1000的加热和冷却。

在本发明的另一方面中，通过间隙g的液体的流动仅仅通过间隙(g)的尺寸来控制。在这种情况下，阀门330和340可以不开启或完全省略。

根据本发明的各个方面，可以通过调整源头如加热元件和目标物如被测装置之间的热阻，以在期望的温度下精确地检测被测装置。此外，可以通过引入流体以及通过调整在被测装置和加热元件之间的通道的横截面积来调整流速，以此来更精确地控制温度。在这样的组合系统中，被测装置和加热元件之间距离的修正，由于距离和流过其间的流体的流速两者改变了热阻。这样，加热和冷却介质进入，直接接触被测装置，这进一步提高了效率并加快了响应时间。因此，可以以非常快的响应来控制大温度区间的热和冷。另外，通过使用电动机机械地控制温度来代替加热元件改变温度，本发明获得了有效的解决方法，同时以快速的响应允许精确的温度控制。因此，本发明具有低成本、有效的解决方法，并进一步具有拾起、放下被测装置的选择权，使得除具有在检测期间提供温度控制的优点外，可具有被用来传输被测装置的优点。

尽管已经示出并描述了本发明的一些实施例，那些没有脱离本发明的原理和精神对这些实施例所做的改变对本领域的那些技术人员来说是显而易见的，在权利要求以及它们的等效文件中限定了本发明的保护范围。

Claims (45)

1.一种控制被测装置温度的温度单元，包括：

与被测装置相对设置的加热元件，该加热元件产生的热能够由被测装置透过间隙所接收；及

执行器移动加热元件，并在加热元件产生热量的同时调整间隙及改变被测装置所接收到的热量，以调整被测装置的温度。

2.根据权利要求1的温度单元，其中：

执行器增大间隙以增大加热元件和被测装置之间的热阻，以减少在被测装置上所接收到的热量，及

该执行器减小间隙以减小加热元件和被测装置之间的热阻，以增大被测装置所接收到的热量。

3.根据权利要求2的温度单元，进一步包括设置在间隙中的介质，并且该介质具有热阻。

4.根据权利要求1的温度单元，其中执行器进一步包括通过执行器可转动的螺杆，以调整加热元件和被测装置之间的间隙。

5.根据权利要求1的温度单元，进一步包括罩住执行器和加热元件的壳体，并且该壳体包括夹持被测装置的界面，其中壳体可连接至用于自动检测装置的操纵器上。

6.根据权利要求1的温度单元，进一步包括控制执行器和加热元件的控制器，其中控制器包括关于加热元件和执行器设置的信息，用于取得被测装置的不同温度。

7.一种使用流体控制被测装置的温度的温度单元，包括：

与被测装置相对设置的元件，并且该元件限定了其间的间隙，并且通过该间隙流体以间隙流速通过被测装置；及

移动元件的执行器，使得调整间隙并改变流过被测装置间隙流体的流速，从而调节被测装置的温度。

8.根据权利要求7的温度单元，其中元件包括加热元件，该加热元件产生透过间隙可被被测装置接收的热。

9.根据权利要求7的温度单元，进一步包括：

通道，通过该通道流体流过温度单元；及

阀门，其控制导入到通道中流体的初始流速；

其中执行器调整间隙使得将初始流速改变为间隙流速。

10.根据权利要求7的温度单元，进一步包括：

通道，通过该通道流体流过温度单元；及

泵，该泵控制导入到通道中的流体的初始流速；

其中执行器调整间隙使得将初始流速改变为间隙流速。

11.根据权利要求10的温度单元，进一步包括阀门，通过该阀门流体在通道和泵之间通过。

12.根据权利要求11的温度单元，其中为了在间隙上产生吸力，使得泵足以支撑被测装置的重量而关闭阀门。

13.根据权利要求12的温度单元，其中元件包括加热元件，该加热元件产生透过间隙被被测装置能接收的热。

14.根据权利要求13的温度单元，其中在产生吸力的同时加热元件产生热量以及调整被测装置的温度。

15.根据权利要求7的温度单元，进一步包括控制执行器的控制器，其中控制器包括关于执行器设置的信息，用于调整间隙流速以取得被测装置的不同温度。

16.根据权利要求8的温度单元，进一步包括控制执行器和加热元件的控制器，其中控制器包括关于加热元件和执行器设置的信息，用于实现被测装置温度的多样性。

17.根据权利要求11的温度单元，进一步包括控制执行器、泵、加热元件和阀门的控制器，其中控制器包括关于执行器、泵、加热元件和阀门设置的信息，以实现被测装置温度的多样性。

18.根据权利要求17的温度单元，其中控制器进一步包括关于执行器、泵、加热元件和阀门设置的信息，用于在间隙上产生吸力足以支撑被测装置的重量。

19.根据权利要求7的温度单元，其中元件进一步包括从元件伸出的伸出部分，以限定与被测装置相对的间隙的轮廓。

20.根据权利要求19的温度设备，其中伸出部分是可从元件上拆卸的。

21.一种记录有处理指令用于通过计算机来实施被测装置温度的控制方法的计算机可读介质，该方法包括：

检测执行器和加热元件设置所要求实现的被测装置的要求温度；

根据检测到的加热元件的设置来调整加热元件产生的热；及

根据检测到的执行器的设置来调整执行器以将加热元件移动至被检测元件上方的一段距离。

22.根据权利要求21的计算机可读介质，该方法进一步包括检测被测装置的当前温度，并且如果当前温度不是期望的温度就调整加热元件、执行器中的一个。

23.根据权利要求21的计算机可读介质，其中检测执行器和加热器设置包括检测被测装置的当前温度，并且如果当前温度不是期望的温度就检测加热元件和执行器的设置。

24.一种记录有用于实施控制被测装置温度方法的处理指令的计算机可读介质，其中温度单元由计算机执行，该方法包括：

初始流速的流体导入到温度单元，检测执行器的设置以实现被测装置所要求的温度：及

根据检测到的执行器设置来调整执行器以移动元件至被测装置上方的一间隔，以及改变初始流速以实现流过被测装置的流体的间隙流速，该间隙流速实现要求的温度。

25.根据权利要求24的计算机可读介质，其中元件包括产生的热量透过间隙可被被测装置接收的加热元件，该方法进一步包括：

结合检测到的执行器设置，检测加热元件的设置所要求实现的被测装置所要求的温度；及

根据检测到的加热元件的设置来调整加热元件以产生热量。

26.根据权利要求25的计算机可读介质，该方法进一步包括检测被测装置的当前温度，并且如果当前温度不是要求的温度就调整加热元件和执行器中的一个。

27.根据权利要求25的计算机可读介质，其中检测执行器和加热元件的设置包括检测被测装置的当前温度，以及如果当前温度不是要求的温度就检测加热元件和执行器的设置。

28.根据权利要求24的计算机可读介质，该方法进一步包括通过调整阀门在间隙内产生吸力，通过该阀门流体被导入到温度单元，并且控制通过温度单元循环该流体的泵。

29.根据权利要求7的温度单元，进一步包括再次导入流过设备的流体至间隙中的流体循环。

30.根据权利要求29的温度单元，其中流体循环进一步包括流体冷却单元。

31.根据权利要求7的温度单元，进一步包括流体冷却单元。

32.根据权利要求6的温度单元，进一步包括连接到控制器的温度传感器。

33.根据权利要求32的温度单元，其中温度传感器感知被测装置的温度。

34.根据权利要求15的温度单元，进一步包括连接到控制器上的温度传感器。

35.根据权利要求34的温度单元，进一步包括感知被测装置温度的温度传感器。

36.根据权利要求16的温度单元，进一步包括连接到控制器上的温度传感器。

37.根据权利要求36的温度单元，其中温度传感器感知被测装置的温度。

38.根据权利要求17的温度单元，进一步包括连接到控制器的温度传感器。

39.根据权利要求38的温度单元，其中温度传感器感知被测装置的温度。

40.根据权利要求9的温度单元，进一步包括与被测装置、温度单元和通道接触的密封件。

41.根据权利要求19的温度单元，进一步包括与伸出部分和间隙接触的密封件。

42.根据权利要求6的温度单元，其中控制器感知被测装置所消耗的能量。

43.根据权利要求15的温度单元，其中控制器感知被测装置所消耗的能量。

44.根据权利要求16的温度单元，其中控制器感知被测装置所消耗的能量。

45.根据权利要求17的温度单元，其中控制器感知被测装置所消耗的能量。

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