CN1924512A - 平面传感器 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Abstract
本发明公开一种平面传感器，它包括直线驱动单元、直线位移传感器、两个磁致传感器、两个支撑轴、两个转动副、两个磁致传感器安装板、直线驱动单元安装板、连接板、两个固定座，两个支撑轴分别安装在两个固定座上，两个磁致传感器安装板分别固定在两个磁致传感器安装板的一端，两个磁致传感器安装板另一端分别与两个支撑轴固定连接，套在两个磁致传感器上的磁环分别固接在直线驱动单元安装板及连接板上，直线驱动单元安装板及连接板通过两个转动副分别与两个支撑轴连接，直线位移传感器安装在直线驱动单元安装板上。采用本发明平面传感器则即能测出x、y方向的位移，则又能测出绕z轴方向的相对转角。
Description
技术领域
本发明涉及一种机械运动测量设备，具体是测量两物体间相对运动的位移和相对转角的一种平面传感器。
背景技术
现有的测量设备一般不能测出两个物体间的位置及相互转角关系，设水平轴为x、y轴，z轴为垂直为xy平面的垂直轴，现有的设备一般只能测出x、y、z三个方向的位移，而不能测出绕z轴的转角，其结构一般为龙门式框架加上x、y、z三轴方向的移动机构。现有的六坐标测量机也能测出x、y方向的位移及绕z轴方向的相对转角，其结构一般为龙门式框架加上x、y、z三轴方向的移动机构及分别绕x、y、z三轴方向的转动机构；但其造价昂贵、体积庞大、结构复杂、机构笨重，限制了其应用。
发明内容
为解决上述测量设备之不足，本发明的目的是提供一种系统刚度好、变形小、微动精度高、易测量的平面传感器，采用本发明，可实现两物体间相对运动的位移的时时测量，并能时时测量出两物体相对运动的转角。
为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：
平面传感器包括直线驱动单元、直线位移传感器、两个磁致传感器、两个支撑轴、两个转动副、两个磁致传感器安装板、直线驱动单元安装板、连接板、两个固定座，两个支撑轴分别安装在两个固定座上，两个磁致传感器安装板分别固定在两个磁致传感器安装板的一端，两个磁致传感器安装板另一端分别与两个支撑轴固定连接，套在两个磁致传感器上的磁环分别固接在直线驱动单元安装板及连接板上，直线驱动单元安装板及连接板通过两个转动副分别与两个支撑轴连接，直线位移传感器安装在直线驱动单元安装板上；
两个转动副的下方装有转动摩擦板，上方装有转动副挡圈；
所述直线驱单元由两个支座、一根轴、两个直线轴承组成，两个支座固定在直线驱动单元安装板两端，之间设有连接轴，直线轴承安装在连接轴上，直线轴承与连接板连接。
本发明具有如下优点：
1.本发明利用直线驱动单元分别与两支撑轴连接，靠直线位移传感器及磁致传感器测量被测物体的相对位移及转角。
2.本发明占用空间小，将其安装在待测量的物体上，装夹灵活，操作方便对待测物体的适应性强。
3.本发明整个系统的刚度高、微动精度高，结构紧凑、简单，制造成本低。
4.本发明既可精确测量位移，又可测量转角，应用广泛，解决了特定应用场合的实际技术难题。
附图说明
图1为平面传感器的机构原理图。
图2为平面传感器的结构简图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明：
如图1、2所示，本发明平面传感器由第一固定座7、第二固定座9，第一支撑轴2、第二支撑轴12，直线驱动单元安装板5及连接板13，第一磁致传感器安装板6、第二磁致传感器安装板15，第一转动副4、第二转动副11，直线驱动单元1，两个磁致传感器8，位移传感器3，转动副磨擦板10及转动副挡圈14组成，第一支撑轴2、第二支撑轴12分别安装在第一固定座7、第二固定座9上，第一磁致传感器安装板6、第二磁致传感器安装板15一端分别固定在第一磁致传感器安装板6、第二磁致传感器安装板15上，第一磁致传感器安装板6、第二磁致传感器安装板15的另一端分别与第一支撑轴2、第二支撑轴12固定连接，套在其上的磁环分别固接在直线驱动单元安装板5及连接板13上；直线驱动单元安装板5及连接板13通过第一转动副4、第二转动副11分别与第一支撑轴2、第二支撑轴12连接，直线位移传感器3安装在直线驱动单元安装板5上；第一、二转动副4、11的下部装有转动摩擦板，上部装有转动副挡圈，防止其上下窜动。
所述直线驱单元由两个支座、一根轴、两个直线轴承组成，将两个支座固定在直线驱动单元安装板5两端，之间设有连接轴，直线轴承安装在连接轴上，与连接轴移动配合，直线轴承与连接在第二支撑轴12上的连接板13连接。
工作原理：
平面传感器的两个固定座分别与两相对运动的物体连接，当两物体相对运动时，直线位移传感器3可以测出其运动的距离；当两物体相对转动时，磁致传感器8可以通过磁环测出其相对的转角。
Claims (3)
1.一种平面传感器，其特征在于：包括直线驱动单元、直线位移传感器、两个磁致传感器、两个支撑轴、两个转动副、两个磁致传感器安装板、直线驱动单元安装板、连接板、两个固定座，两个支撑轴分别安装在两个固定座上，两个磁致传感器安装板分别固定在两个磁致传感器安装板的一端，两个磁致传感器安装板另一端分别与两个支撑轴固定连接，套在两个磁致传感器上的磁环分别固接在直线驱动单元安装板及连接板上，直线驱动单元安装板及连接板通过两个转动副分别与两个支撑轴连接，直线位移传感器安装在直线驱动单元安装板上。
2.按照权利要求1所述平面传感器，其特征在于：所述两个转动副的下方装有转动摩擦板，上方装有转动副挡圈。
3.按照权利要求1所述平面传感器，其特征在于：所述直线驱单元由两个支座、一根轴、两个直线轴承组成，两个支座固定在直线驱动单元安装板两端，之间设有连接轴，直线轴承安装在连接轴上，直线轴承与连接板连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2005100471142A CN100392347C (zh) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 平面传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2005100471142A CN100392347C (zh) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 平面传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1924512A true CN1924512A (zh) | 2007-03-07 |
| CN100392347C CN100392347C (zh) | 2008-06-04 |
Family
ID=37817252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2005100471142A Expired - Fee Related CN100392347C (zh) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 平面传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100392347C (zh) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5616917A (en) * | 1995-05-16 | 1997-04-01 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Device for measuring an angle between pivotally-connected members |
| JP2001280958A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 構造物の位置決め方法および変位計測装置 |
| JP2002286497A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Aisin Seiki Co Ltd | 変位センサ |
| JP2004166223A (ja) * | 2002-09-26 | 2004-06-10 | Sharp Corp | 密着型エリアセンサ |
| CN1186587C (zh) * | 2003-05-13 | 2005-01-26 | 大连理工大学 | 接触式自动测量冰、雪厚度变化过程的方法 |
| CN2823975Y (zh) * | 2005-08-31 | 2006-10-04 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种平面传感器 |
-
2005
- 2005-08-31 CN CNB2005100471142A patent/CN100392347C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN100392347C (zh) | 2008-06-04 |
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