CN1895833A - 激光加工头 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种激光加工头，具备保持形成有喷嘴孔的喷嘴的喷嘴保持机构和保持聚光光学系统的聚光光学系统保持机构，聚光光学系统保持机构在喷嘴保持机构内可密封地滑动，还具备：使喷嘴保持机构及聚光光学系统保持机构相对滑动的移动机构；向在聚光光学系统保持机构的聚光光学系统与喷嘴保持机构的喷嘴孔之间形成的加工头空腔供给气体的气体供给机构；连通加工头空腔和喷嘴保持机构的外部并在喷嘴保持机构上形成的通路；可密封地在通路内滑动的滑动部件；和连接滑动部件与聚光光学系统保持机构的连接机构。由此，不设置副气体室，能以轻微的力移动聚光光学系统保持机构或喷嘴保持机构。

Description

激光加工头
技术领域
本发明涉及一种通过聚光光学系统会聚激光光束并通过加工喷嘴照射，同时从加工喷嘴喷射辅助气体并进行激光加工被加工工件的激光加工头。
背景技术
在激光加工机的加工头中，保持有会聚激光光束的聚光光学系统，另外，形成有向加工头供给辅助气体的辅助气体供给口。通过聚光光学系统、例如聚光透镜会聚的激光光束和从辅助气体供给口供给的辅助气体从加工头的加工喷嘴朝向被加工工件，由此加工被加工工件。另外，在加工头中，聚光光学系统与加工喷嘴之间的空间称为加工头空腔。
另外，近年来使用作为高功率激光器的二氧化碳激光器。在这种二氧化碳激光器中，由于需要根据波长的关系尽可能减少透过光学系统、例如聚光透镜的数目，所以保持在加工头上的透过光学系统成为单一。另外，相对聚光透镜与加工头空腔侧相反的一侧的空间是大气压。加工头及聚光透镜可以通过调节机构部相对地移动，加工喷嘴与聚光透镜之间的位置关系可自由调整。
在激光加工时，辅助气体从辅助气体供给口向加工头内供给，加工头空腔内成为规定的高压力、例如1Mpa。聚光透镜通过比该聚光透镜大一圈的聚光透镜保持部保持。例如，在聚光透镜保持部的外径为60mm的场合，在由聚光透镜和聚光透镜保持部构成的受压面上作用的力达到约2.8KN。由于调节机构部需要克服该力使加工喷嘴及/或聚光透镜相对地移动，所以需要用于使调节机构部动作的大型驱动部，存在加工头自身大型化或复杂化的倾向。
为了解决这些问题，在专利第2804206号说明书中公开了具备副气体室及活塞气驱动器的加工头。图8是专利第2804206号说明书中公开的现有技术的激光加工头的长度方向剖视图。图8所示的激光加工头114主要由形成有喷嘴孔111的喷嘴部105和保持聚光透镜102的聚光透镜保持部103构成。在聚光透镜102与喷嘴孔111之间形成有加工头空腔108。
如图所示，在喷嘴部105的内周面上设置有上方环状突出部117和下方环状突出部109。聚光透镜保持部103的外周面配合在上方环状突出部117及下方环状突出部109内。而且，聚光透镜保持部103通过连接部107连接在驱动器106的活塞106a上。通过作为调节机构部的驱动器106，聚光透镜保持部103能在喷嘴部105内滑动。
另外，在喷嘴部105上形成有与加工头空腔108连通的辅助气体供给口113。来自配置在激光加工头114外部的辅助气体源的辅助气体通过供给通路119从辅助气体供给口113向加工头空腔108内供给。由于在激光加工时总是供给辅助气体，所以加工头空腔108能维持在规定的高压。
如图所示，激光透镜保持部103的上方环状突出部117与下方环状突出部109之间配置的法兰116设置在聚光透镜保持部103上。法兰116的前端以使其配合在喷嘴部105的内周面上确定尺寸。由于聚光透镜保持部103与喷嘴部105之间通过密封部件进行密封，所以在法兰116的上端面与上方环状突出部117的下端面之间形成环状的副气体室115。
另外，在上方环状突出部117的下端面形成有开口部153。另一方面，从供给通路119的分支部141分支的分支通路142延伸到开口部153。因而，供给通路119的辅助气体通过分支通路142同样供给到副气体室115。
如图所示，若下方环状突出部109的内径为D1、喷嘴部105的内径为D2、上方环状突出部117的内径为D3，则聚光透镜保持部103的受压面积表示为D12/4×π，环状副气体室115的受压面积表示为(D32-D22)/4×π。在图8中，由于这些聚光透镜保持部103的受压面积与环状副气体室115的受压面积相互等同地形成，所以聚光透镜保持部103及环状副气体室115所受的各力相互抵消。由此，驱动器106将聚光透镜保持部103维持在当前位置，或者在辅助气体加压下移动所需的力很少就可以。
当激光加工结束时，停止来自辅助气体源的辅助气体的供给。加工头空腔108内的辅助气体从喷嘴孔111放出，加工头空腔108的压力逐渐降低。同样，环状副气体室115内的辅助气体也通过分支通路142及供给通路119流入加工头空腔108内，接着从喷嘴孔111同样放出。
可是，在专利第2804206号说明书内公开的现有技术的激光加工头114中，设置有环状副气体室115的同时，需要向环状副气体室115供给辅助气体或压缩气体的分支通路142等，所以激光加工头114整体的构造变复杂。另外，在设置环状副气体室115的场合，在加工头空腔108与环状副气体室115之间难于维持压力平衡。
而且，在激光加工结束并加工头空腔108减压时，需要使环状副气体室115的辅助气体等通入分支通路142及供给通路119并流入加工头空腔108内。因而，使环状副气体室115的压力降低需要相当长的时间。
另外，在变更激光加工机的加工内容时，有变更气体种类、例如将辅助气体从氧气切换为氮气的情况。在这种辅助气体的切换作业中，也需要一次放出残留在环状副气体室115内的气体，由于同样的原因，辅助气体的切换需要花费相当长的时间。
发明内容
本发明是鉴于这些事实提出的，目的在于提供一种不需要设置副气体室及/或副气体室用分支通路，用轻微的力使聚光光学系统保持装置或喷嘴保持装置移动的激光加工头。
为了实现上述目的，本发明第1方案提供的激光加工头，具备保持形成有喷嘴孔的喷嘴的喷嘴保持机构和保持聚光光学系统的聚光光学系统保持机构，该聚光光学系统保持机构以可密封的方式滑动地配置在上述喷嘴保持机构内，还具备：使上述喷嘴保持机构及上述聚光光学系统保持机构相对滑动移动的移动机构；向在上述聚光光学系统保持机构的上述聚光光学系统与上述喷嘴保持机构的上述喷嘴孔之间形成的加工头空腔供给辅助气体的辅助气体供给机构；连通上述加工头空腔和上述喷嘴保持机构的外部并在上述喷嘴保持机构上形成的通路；在上述通路上以可密封的方式滑动的滑动部件；和连接该滑动部件与上述聚光光学系统保持机构的连接机构。
即在第1方案中，当加工头空腔通过辅助气体达到高压时，在聚光光学系统保持机构及滑动部件上作用互为相反方向的力。由于滑动部件与聚光光学系统保持机构连接为一体，所以作用在这些聚光光学系统保持机构及滑动部件上的力相互抵减。其结果，不设置副气体室及/或副气体室用分支通路，能减少通过移动机构使聚光光学系统保持机构或喷嘴保持机构移动的力。而且，由于在第1方案中能排除副气体室及/或副气体室用分支通路，所以激光加工头的构造变简单，还可以在短时间内进行辅助气体的切换。
本发明第2方案是在第1方案基础上，垂直于上述滑动部件的滑动方向的平面上的上述滑动部件在上述加工头空腔侧的投影面积与垂直于上述聚光光学系统和上述喷嘴孔之间的光路的光轴的平面上的上述聚光光学系统保持机构在上述加工头空腔侧的投影面积相等。
即在第2方案中，由于通过辅助气体作用在聚光光学系统保持机构及滑动部件上的力是完全相等的大小，所以能完全抵消这些力，移动机构所需的力极其轻微。
本发明第3方案是在第1或2方案基础上，上述连接机构至少是一根杆件。
本发明第4方案是在第1或2方案基础上，上述连接机构至少是形成有一个贯通孔的上述聚光光学系统保持机构的一部分。
即在第3方案及第4方案中，能通过比较简单的构成，形成激光加工头。
本发明第5方案提供的激光加工头，具备保持形成有喷嘴孔的喷嘴的喷嘴保持机构和保持聚光光学系统的聚光光学系统保持机构，上述喷嘴保持机构以可密封的方式滑动地配置在上述聚光光学系统保持机构内，还具备：使上述喷嘴保持机构及上述聚光光学系统保持机构相对滑动移动的移动机构；向在上述聚光光学系统保持机构的上述聚光光学系统与上述喷嘴保持机构的上述喷嘴孔之间形成的加工头空腔供给辅助气体的辅助气体供给机构；连通上述加工头空腔和上述喷嘴保持机构的外部并在上述喷嘴保持机构上形成的通路；在上述通路上以可密封的方式滑动的滑动部件；和连接该滑动部件与上述喷嘴保持机构的连接机构。
即在第5方案中，当加工头空腔通过辅助气体达到高压时，在喷嘴保持机构及滑动部件上作用互为相反方向的力。由于滑动部件与喷嘴保持机构连接为一体，所以作用在这些喷嘴保持机构及滑动部件上的力相互抵减。其结果，不设置副气体室及/或副气体室用分支通路，能减少通过移动机构使聚光光学系统保持机构或喷嘴保持机构移动的力。而且，由于在第5方案中能排除副气体室及/或副气体室用分支通路，所以激光加工头的构造变简单，还可以在短时间内进行辅助气体的切换。
本发明的第6方案是在第5方案基础上，在垂直于上述滑动部件的滑动方向的平面上的上述滑动部件在上述加工头空腔侧的投影面积与垂直于上述聚光光学系统和上述喷嘴孔之间的光路的光轴的平面上的上述喷嘴保持机构在上述加工头空腔侧的投影面积相等。
即在第6方案中，由于通过辅助气体作用在喷嘴保持机构及滑动部件上的力为完全相等的大小，所以这些力能完全抵消，移动机构所需的力极其轻微。
本发明的第7方案是在第1至6中任何一种方案基础上，通过上述辅助气体供给机构供给辅助气体的加工头空腔的辅助气体供给口从上述聚光光学系统与上述喷嘴孔之间的光路的光轴看形成在比上述连接机构更靠远处。
即在第7方案中，在变更辅助气体种类时，由于辅助气体从加工头空腔的外周部分供给，所以能迅速地置换。
本发明的第8方案是在第5至7中任何一种方案基础上，上述连接机构是挂设在设于上述聚光光学系统保持机构上的带轮上的金属线。
即在第8方案中，能通过比较简单的构成，形成激光加工头。
本发明第9方案提供的激光加工头，具备保持形成有喷嘴孔的喷嘴的喷嘴保持机构和保持聚光光学系统的聚光光学系统保持机构，该聚光光学系统保持机构以可密封的方式滑动地配置在上述喷嘴保持机构内，还具备：使上述喷嘴保持机构及上述聚光光学系统保持机构相对滑动移动的移动机构；向在上述聚光光学系统保持机构的上述聚光光学系统与上述喷嘴保持机构的上述喷嘴孔之间形成的加工头空腔供给辅助气体的辅助气体供给机构；在上述聚光光学系统保持机构与上述喷嘴保持机构之间形成的流体空腔；连通上述流体空腔与上述加工头空腔的通路；和在上述通路上以可密封的方式滑动的滑动部件，在上述聚光光学系统保持机构向减小上述加工头空腔体积的方向移动时，上述流体空腔的体积增加，在上述流体空腔与上述通路的上述滑动部件之间填充非压缩性流体。
即在第9方案中，通过辅助气体变高了的加工头空腔的压力通过滑动部件传递给通路内的流体，流体空腔的压力也同样上升。由此，加工头空腔的体积减少的方向的力作用在聚光光学系统保持机构上。并且，由于这个力的方向与通过加工头空腔作用在聚光光学系统保持机构上的力的方向相反，所以这些力相互抵减。其结果，不设置副气体室用分支通路，能减少通过移动机构使聚光光学系统保持机构或喷嘴保持机构移动的力。而且，由于在第9方案中能排除副气体室用分支通路，所以激光加工头的构造变简单，还可以在短时间内进行辅助气体的切换。
本发明第10方案是在第9方案基础上，上述通路在上述喷嘴保持机构上形成。
本发明第11方案是在第9方案基础上，上述通路在上述聚光光学系统保持机构上形成。
即在第10或11方案中，能通过比较简单的构成，形成激光加工头。
根据附图所示的本发明典型的实施方式的详细说明，本发明的这些目的、特征及优点和其它的目的、特征及优点将更明晰。
附图说明
图1是基于本发明的第一实施方式的激光加工头的长度方向的剖视图。
图2表示第一实施方式的变更例的与图1同样的图。
图3是沿图2的I-I线视察的剖视图。
图4表示第一实施方式的其它变更例的与图1同样的图。
图5是基于本发明的第二实施方式的激光加工头的长度方向的剖视图。
图6是基于本发明的第三实施方式的激光加工头的长度方向的剖视图。
图7表示第三实施方式的变更例的与图6同样的图。
图8是现有技术的激光加工头的长度方向的剖视图。
图中：
1激光                2聚光透镜(聚光光学系统)
3聚光透镜保持部(聚光光学系统保持机构)                 3a宽度较窄部分
3b宽度较宽部分       4喷嘴                5喷嘴保持部(喷嘴保持机构)
6驱动器              6a活塞               7连接部                7a开口部
8加工头空腔          8′空间              9下方环状突出部        11喷嘴孔
12通路                13辅助气体供给口(辅助气体供给机构)
14激光加工头          15流体空腔          16法兰                17上方环状突出部
19供给通路(辅助气体供给机构)              20a、20b辅助气体源
31通路                31′贯通孔          32流体通路            33滑动部件
33a法兰               33b套筒             35杆件(连接机构)      36贯通孔
37金属                38带轮              39通路                41支撑棒
51光轴                52聚光点            54、55开口
具体实施方式
以下，参照附图进行说明本发明的实施方式。在以下的附图中，相同的部件标以相同的符号。为了便于理解，适当变更这些附图的比例尺。
图1是基于本发明第一实施方式的激光加工头的长度方向的剖视图。图1所示的激光加工头14主要由保持形成有喷嘴孔11的喷嘴4的筒形喷嘴保持部5和保持聚光光学系统、例如聚光透镜2的筒形聚光透镜保持部3构成。喷嘴保持部5固定在主体53上。聚光透镜2保持在聚光透镜保持部3的上缘附近，聚光透镜2的直径为例如25mm至63mm左右。喷嘴保持部5的喷嘴孔11的直径为0.5mm至6mm左右。另外，在聚光透镜2与喷嘴孔11之间形成有称为加工头空腔8的密闭空间。
如图所示，在喷嘴保持部5的内周面上设置有环状突出部9。聚光透镜保持部3的外周面配合在环状突出部9上，聚光透镜保持部3可以滑动地配置在喷嘴保持部5内。
另外，在喷嘴保持部5的外周面上形成有比较大的开口部7a。设置在聚光透镜保持部3上的连接部7通过开口部7a延伸，连接在配置于喷嘴保持部5的外部的驱动器6的活塞6a上。驱动器6连接在无图示的激光加工机的控制装置上。通过驱动器6的活塞6a的升降，聚光透镜保持部3在喷嘴保持部5内沿上下方向滑动，由此，进行调整在被加工工件10上的聚光点。利用驱动器6的聚光透镜保持部3(在后述的第二实施方式的场合为喷嘴保持部5)的滑动距离最大为20mm左右。再者，不进行详细说明，但在本申请说明书中，在伴随滑动作用的部件上设置有密封材料，这些部件可以密封地滑动。
另外，在喷嘴保持部5的内周面上形成有与加工头空腔8连通的辅助气体供给口13。来自配置在激光加工头14外部的辅助气体源20a、20b的辅助气体通过通路12及供给通路19从辅助气体供给口13向加工头空腔8内供给。由于在激光加工时总是供给辅助气体，所以加工头空腔8维持在规定的高压。
再者，在图1中，辅助气体源20a是氧气源，辅助气体源20b是氮气源。但是，根据相对被加工工件10的激光加工的内容，可以采用其它辅助气体源、例如氩气、空气、氦气、氮气或氧气的提纯调质空气、或者由多种气体构成的混合气体等气体源。
在图1所示的实施方式中，喷嘴4周围的喷嘴支持部5的厚度比其它部分更厚。并且，连通加工头空腔8与喷嘴保持部5的外部的多个、在图1中为2个的通路31在喷嘴4周围形成。而且，沿通路31滑动的滑动部件33分别配置在该通路31上。另外，如图所示，通过配置在加工头空腔8内的杆件35，滑动部件33连接在聚光透镜保持部3的下方端。即，如图所示，加工头空腔8为由聚光透镜保持部3与滑动部件33夹持的结构。另外，滑动部件33的一面暴露在加工头空腔8内，另一面暴露在激光加工头14外部的周围空气中。再者，杆件35的直径小到可配置在聚光透镜保持部3的厚度部分上的程度，在杆件35与环状突出部9之间形成规定的间隙。
如图1所示，在垂直于通过喷嘴保持部5及聚光透镜保持部3的激光1的光轴51的方向上，通路31的至少一部分位于聚光透镜保持部3的区域内。因此，在图1中能采用直线状的杆件35。
在图1所示的实施方式中，通过杆件35，聚光透镜保持部3与滑动部件33为一体地滑动的结构。因此，在聚光透镜保持部3向下方滑动使加工头空腔8的体积减少时，滑动部件33向下方滑动以增加加工头空腔8的体积。
在激光加工头14使用时，将被加工工件10配置在规定的位置后，通过无图示的Z轴驱动器将激光加工头14定位在被加工工件10上方，接着通过驱动器6调节聚光透镜保持部3的位置。其后，开放开关阀23，将来自一方的辅助气体源20a的辅助气体、例如氧气通入压力调整器21流入通路12内。辅助气体在供给通路19内流动，通过辅助气体供给口13向加工头空腔8内供给。由此，加工头空腔8内的压力上升到例如1Mpa。再者，相对聚光透镜2与加工头空腔8侧相反的一侧的空间为大气压。
当加工头空腔8为高压时，在聚光透镜保持部3上作用向上方的力。另外，由于加工头空腔8为由聚光透镜保持部3与滑动部件33夹持的结构，所以当加工头空腔8为高压时，在滑动部件33上作用向下方的力。即，在聚光透镜保持部3及滑动部件33的各自上作用互为相反方向的力。然而，在图示的实施方式中，由于通过杆件35聚光透镜保持部3与滑动部件33连接为一体，所以作用在这些聚光光学系统保持机构及滑动部件上的力减小。
接着，在激光加工时，来自无图示的激光起振器的激光1输入激光加工头14内，接下来激光1通过聚光透镜2会聚到被加工工件10上的聚光点52上。由此，在聚光点52处，被加工工件10恰当地进行激光加工或激光焊接。为了适当地调节聚光点52，需要通过驱动器6上下微调整聚光透镜保持部3。在本发明中，由于作用在聚光透镜保持部3及喷嘴保持部5上的力被抵减，所以通过驱动器6使聚光透镜保持部3上下移动所需的力比较小即可。
另外，如图1所示，若环状突出部9的内径为Da，同时滑动部件33为圆形且其直径为Db，则聚光透镜保持部3的受压面积为Da2/4×π，2个滑动部件33的受压面积之和为2×Db2/4×π。在第一实施方式中，这些聚光透镜保持部3的受压面积与2个滑动部件33的受压面积之和最好相等。换言之，在垂直于2个滑动部件33各自的滑动方向的平面上的滑动部件33在加工头空腔8侧的投影之和最好与垂直于聚光透镜2与喷嘴孔11之间的激光1的光轴51的平面上的聚光透镜保持部3在加工头空腔8侧的投影面积相等。
在这些受压面积上，施加基于加工头空腔8的压力与大气压之间的压力差的力。因而，在这些受压面积相等的场合，作用在聚光透镜保持部3及滑动部件33上的力可以完全相互抵消，因此，通过驱动器6使聚光透镜保持部3上下移动所需的力变的极小。
然而，在激光加工中途，由于加工条件的变更等，有辅助气体例如从氧气切换为氮气的场合。此时，关闭开关阀23，停止来自辅助气体源20a的氧气供给。由此，加工头空腔8内的辅助气体从喷嘴孔11放出，加工头空腔8的压力减少。接着，打开开关阀24，向加工头空腔8内供给辅助气体源20b的氮气。在图1所示的实施方式中，由于没设置副气体室及/或副气体室用分支通路(参照图8)，所以激光加工头的构造变简单，另外切换前的辅助气体也不会残留在副气体室及/或副气体室用分支通路内。因此，能迅速地进行辅助气体的切换，其结果能提高激光加工机的生产率。
另外，当激光加工结束时，开关阀24关闭，停止供给来自辅助气体源20b的辅助气体。并且，加工头空腔8内的辅助气体从喷嘴孔11放出，加工头空腔8的压力逐渐减少。由于在这种场合也设置有副气体室及/或副气体室用分支通路(图8)，所以同样可以迅速地进行放出辅助气体。
图2表示第一实施方式的变更例的与图1同样的图。以下主要关于相对于图1的不同点进行说明。在图2中，取代杆件35，聚光透镜保持部3延长到比环状突出部9更靠近下方。并且，在聚光透镜保持部3的延长的部分的周面上，多个贯通孔36在周向等间隔形成。贯通孔36的尺寸最好充分大到在辅助气体放出时辅助气体不残留在聚光透镜保持部3与喷嘴保持部5之间的程度。
图3是沿图2的I-I线观察的剖视图。由图2及图3可知，在本变更例中，在喷嘴4周围形成有环状贯通孔31′。并且，在贯通孔31′的下端附近配置有在径向延伸的多个支持棒41。这些支持棒41起到支持喷嘴保持部5的喷嘴4的作用。
再次参照图2，加工头空腔8的喷嘴4的外径大致对应聚光透镜保持部3的内径。并且，对应贯通孔31′形状的环状滑动部件33直接连接在聚光透镜保持部3的下端。
在图2所示的变更例中，聚光透镜保持部3及滑动部件33为一体地滑动的结构。因此，在聚光透镜保持部3向下方滑动使加工头空腔8的体积减少时，滑动部件33向下方滑动使加工头空腔8的体积增加。因而，在图2所示的变更例中，也能取得与上述同样的效果。
在图2中，若环状突出部9的内径为Da，喷嘴4的外径为Dc，喷嘴保持部件5的内径为Dd，则聚光透镜保持部3的受压面积为Da2/4×π，滑动部件33的受压面积表示为(Dd2/4×π-Dc2/4×π)。并且，在聚光透镜保持部3的受压面积与滑动部件33的受压面积相等的场合，与上述同样，作用在聚光透镜保持部3及滑动部件33上的力能完全相互抵消，因而，能极大地减少驱动器6所需的力。
图4表示第一实施方式的其它变更例的与图1同样的图。在图4中，上方环状突出部17在环状突出部9的上方形成，聚光透镜保持部3在上方环状突出部17内滑动。
在图4中，滑动部件33与聚光透镜保持部3同轴配置，滑动部件33由法兰33a和从法兰33a延伸出来的套筒33b构成。法兰33a前端的尺寸确定成使其配合在喷嘴保持部5的内周面上。滑动部件33的法兰33a为在上方环状突出部17与下方环状突出部9之间滑动的结构。另外，套筒33b的尺寸确定成使其在环状突出部9的内周面内滑动。
而且，安装在驱动器6的活塞6a上的连接部7连接在滑动部件33的套筒33b上。如图示，由于多个杆件35连接聚光透镜保持部3与滑动部件33，所以聚光透镜保持部3、杆件35及滑动部件33为一体地滑动的结构。
在这种场合，在聚光透镜保持部3向下方滑动使加工头空腔8的体积减少时，滑动部件33在上方环状突出部17与下方环状突出部9之间向环状突出部9滑动。上方环状突出部17与滑动部件33之间的空间8′通过这种滑动作用而增大。因而，在图4的场合，也可以说在聚光透镜保持部3向下方滑动使加工头空腔8的体积减少时，滑动部件33向下方滑动使加工头空腔8的体积增加。因而，在图4所示的变更例中，也能取得与上述同样的效果。
在图4中，若环状突出部9的内径为Da，上方环状突出部17的内径为Df，法兰33a的外径为De，则聚光透镜保持部3的受压面积为Df2/4×π，滑动部件33的受压面积表示为(De2/4×π-Da2/4×π)。并且，在这些聚光透镜保持部3的受压面积与滑动部件33的受压面积相等的场合，与上述同样，作用在聚光透镜保持部3及滑动部件33上的力能完全相互抵消，因而，能极大地减少驱动器6所需的力。
图5是基于本发明的第二实施方式的激光加工头的长度方向的剖视图。如图5所示，聚光透镜保持部3固定在主体53上。并且，聚光透镜保持部3的前端侧作为比保持聚光透镜2的宽度较宽部分3b宽度窄的宽度较窄部分3a形成。而且，宽度较窄部分3a的内径大致对应喷嘴保持部5的外径，安装在驱动器6的活塞6a上的连接部7连接在喷嘴保持部5上。由于这种结构，所以在第二实施方式中，喷嘴保持部5在聚光透镜保持部3的内周面上滑动。另外，用于供给辅助气体的供给通路19及辅助气体供给口13在聚光透镜保持部3的宽度较宽部分3b上形成。
如图所示，相对光轴51斜向延伸的多个、例如2个通路39在宽度较宽部分3b的壁厚部分上形成。由图5可知，这些通路39相对于从喷嘴孔11向聚光透镜2的方向相互离开地形成。
滑动部件33可以滑动地配置在这些通路39的各个内。在宽度较宽部分3b与宽度较窄部分3a之间的内侧肩部上设置有带轮38。并且，在加工头空腔8内金属线37通过带轮38连接滑动部件33与喷嘴保持部5。因而，滑动部件33、金属线37及喷嘴保持部5为一体地滑动的结构。
在这种场合，在喷嘴保持部5向下方滑动使加工头空腔8的体积增大时，滑动部件33在通路39中使加工头空腔8的体积减少而向斜下方滑动。另外，在激光加工时，由于加工头空腔8通过辅助气体加压，所以在嘴保持部5向上方滑动喷使加工头空腔8的体积减少时，滑动部件33在通路39中向斜上方滑动使加工头空腔8的体积增加。因而，在图5所示的变更例中，也能取得与上述同样的效果。
在图5中，若聚光透镜保持部3的宽度较窄部分3a的内径为Dg，圆形的滑动部件33的直径为Dh，则喷嘴保持部5的受压面积为Dg2/4×π，滑动部件33的受压面积表示为2×Dh2/4×π。当加工头空腔8通过辅助气体加压时，基于辅助气体压力(测量压力)与上述的受压面积的力各自作用在喷嘴保持部5及滑动部件33上。
并且，最好这些喷嘴保持部5的受压面积与滑动部件33的受压面积相等。即，垂直于2个滑动部件33的各个的滑动方向的平面上的滑动部件33在加工头空腔8侧的投影面积之和最好与垂直于聚光透镜2和喷嘴孔11之间的光轴51的平面上的喷嘴保持部5在加工头空腔8侧的投影面积相等。在这种场合，与上述同样，作用在喷嘴保持部5及滑动部件33上的力能完全相互抵消，因而，能极大地减少驱动器6所需的力。
由图5所示的第二实施方式可知，滑动部件33的滑动方向不限定于光轴51的方向，也可以是相对光轴51倾斜的方向。另外，在通过无图示的连杆机构及/或齿轮机构增大滑动部件33的力的场合，可知能采用受压面积更小的滑动部件33。
另外，在参照图1至图5说明了的实施方式中，做成杆件35或金属线37及带轮38设置在加工头空腔8内的结构，但这些也可以设置在加工头空腔8的外部。
然而，在参照图1至图5说明了的实施方式中，辅助气体供给口13从光轴51看位于比杆件35、贯通孔36、或金属线37与带轮38的组合更靠径向外侧。在辅助气体例如从氧气切换为氮气时，切换后的辅助气体从辅助气体供给口13流入加工头空腔8，同时切换前的残留辅助气体从喷嘴保持部5的中心喷嘴孔11快速放出。因此，在这些实施方式中，在变更辅助气体种类时，通过从加工头空腔的外周部分供给辅助气体，能迅速地进行置换。
图6是基于本发明第三实施方式的激光加工头的长度方向的剖视图。在图6中，在喷嘴保持部5的内周面上设置有上方环状突出部17和下方环状突出部9。聚光透镜保持部3的外周面配合在上方环状突出部17及下方环状突出部9的两方。聚光透镜保持部3通过连接部7连接在驱动器6的活塞6a上，通过驱动器6聚光透镜保持部3在喷嘴保持部5内滑动。
如图所示，在聚光透镜保持部3上设置有法兰16。法兰16的前端以使其配合在嘴保持部5的内周面上地确定尺寸。另外，该法兰16配置在聚光透镜保持部3的上方环状突出部17与下方环状突出部9之间。另外，由于聚光透镜保持部3与喷嘴保持部5之间通过密封部件密封，所以在法兰16的上端面与上方环状突出部17的下端面之间形成环状的流体空腔15。
而且，流体通路32的开口54形成在上方环状突出部17的下端面上。该流体通路32从上方环状突出部17通过喷嘴保持部5的厚度部分延伸到下方环状突出部9，向下方环状突出部9的突出方向弯折，在下方环状突出部9的内周面上形成的开口55为终端。并且，在下方环状突出部9内的流体通路32中可以滑动地配置滑动部件33。在图6所示的实施方式中，在流体空腔15及流体空腔15与滑动部件33之间的流体通路32内填充非压缩性流体A、例如液体。如图所示，开口55比流体通路32的剖面稍微小地形成，由此，能防止滑动部件33从流体通路32脱落。流体空腔15在光轴51的方向上可伸缩地构成，在聚光透镜保持部3向下方滑动使加工头空腔8的体积减少时，流体空腔15的体积增加。换言之，在流体空腔15加压的场合，通过法兰16聚光透镜保持部3受到向喷嘴孔11方向的力。另外，流体空腔15自身为只受大气压的构造，由于流体空腔15及流体通路32通过非压缩性流体A填充，所以流体空腔15也不受加工头空腔8内的压力的影响。
在图6所示的第三实施方式中，当通过从辅助气体供给口13供给辅助气体而使加工头空腔8加压时，在聚光透镜保持部3上作用向上方的力。另一方面，通过开口55作用在滑动部件33上的力通过流体通路32及流体空腔15内的流体作用在流体空腔15上，由此，流体空腔15内的压力大致与加工头空腔8内的压力相等。因此，流体空腔15内的压力作用在聚光透镜保持部3的法兰16上，聚光透镜保持部3受到向下方的力。即，在聚光透镜保持部3向上方滑动使加工头空腔8的体积增加时，作用有使加工头空腔8的体积减少地而使聚光透镜保持部3向下方滑动的力。
因而，在第三实施方式中，作用在聚光透镜保持部3的法兰16的受压面积(Di2-Dj2)/4×π的向下的力，与作用在聚光透镜保持部3的受压面积Da2/4×π上的向上的力抵减。并且，只这些受压面积之差的力作用在聚光透镜保持部3上。因此，通过驱动器6使聚光透镜保持部3滑动所需的力很少就够了。可知，在这种场合也是在法兰16的受压面积和聚光透镜保持部3的受压面积相等的场合，可以极大地减少驱动器6所需的力。
而且，由于向流体空腔15及流体通路32内填充非压缩性流体A，所以在辅助气体切换时也不需要放出非压缩性流体A，可以在短时间内进行辅助气体的切换作业。另外，在第三实施方式中，由于能排除在加工头外部设置的现有技术的副气体室用分支通路，所以激光加工头的构造变简单。
再者，在滑动部件配置在分支通路142上的场合，图8所示的现有技术的激光加工头类似于图6所示的第三实施方式的激光加工头。可是，在现有技术的激光加工头中，由于辅助气体向环状副气体室115内供给，所以有辅助气体供给口113与分支部141之间的压力降低变大的缺点。而且，由于使用辅助气体，所以滑动部件33的移动范围变大，也有激光加工头变大这样的缺点。对于这点，由于在第三实施方式中是非压缩性流体A向流体通路32及流体空腔15内填充的结构，所以滑动部件33的受压面积比较小就够了。
图7表示第三实施方式的变更例的与图6同样的图。在图7中，流体通路32在法兰16内在径向形成。流体通路32的一端在聚光透镜保持部3的内周面设置开口55，另一端在法兰16上端形成的开口54处为终端。与图6的情况相同，在流体通路32内可以滑动地配置有滑动部件33，在流体通路32及流体空腔15内填充非压缩性流体A。
在图7所示的场合，也在作用有使加工头空腔8的体积增加而聚光透镜保持部3向上方滑动的力时，作用有使加工头空腔8的体积减少地使聚光透镜保持部3向下方滑动的力，这些力相互抵减。因此，可知，在图7所示的场合，也能取得与参照图6说明的同样的效果。再者，当然，使上述实施方式适当组合也包含在本发明的范围内。
用典型的实施方式说明了本发明，但本领域技术人员在不脱离本发明的范围的情况下，进行上述变更及各种其它变更、省略、追加是可以理解的。

Claims (11)

1.一种激光加工头，包括保持形成有喷嘴孔(11)的喷嘴(4)的喷嘴保持机构(5)和保持聚光光学系统(2)的聚光光学系统保持机构(3)，该聚光光学系统保持机构(3)以可密封的方式滑动地配置在上述喷嘴保持机构(5)内，
还包括：使上述喷嘴保持机构(5)及上述聚光光学系统保持机构(3)相对滑动移动的移动机构(6)；和向在上述聚光光学系统保持机构(3)的上述聚光光学系统(2)与上述喷嘴保持机构(5)的上述喷嘴孔(11)之间形成的加工头空腔(8)供给辅助气体的辅助气体供给机构(13)，其特征在于，
具备：连通上述加工头空腔(8)和上述喷嘴保持机构(5)的外部并在上述喷嘴保持机构(5)上形成的通路(31)；在上述通路(31)上以可密封的方式滑动的滑动部件(33)；和连接该滑动部件(33)与上述聚光光学系统保持机构(3)的连接机构(35)。
2.根据权利要求1所述的激光加工头，其特征在于，
垂直于上述滑动部件(33)的滑动方向的平面上的上述滑动部件(33)在上述加工头空腔(8)侧的投影面积与垂直于上述聚光光学系统(2)和上述喷嘴孔(11)之间的光路的光轴(51)的平面上的上述聚光光学系统保持机构(3)在上述加工头空腔(8)侧的投影面积相等。
3.根据权利要求1或2所述的激光加工头，其特征在于，
上述连接机构(35)是至少为一根的杆件。
4.根据权利要求1或2所述的激光加工头，其特征在于，
上述连接机构是至少形成有一个贯通孔(36)的上述聚光光学系统保持机构(3)的一部分。
5.一种激光加工头，包括保持形成有喷嘴孔(11)的喷嘴(4)的喷嘴保持机构(5)和保持聚光光学系统(2)的聚光光学系统保持机构(3)，上述喷嘴保持机构(5)以可密封的方式滑动地配置在上述聚光光学系统保持机构(3)内，
还包括：使上述喷嘴保持机构(5)及上述聚光光学系统保持机构(3)相对滑动移动的移动机构(6)；和向在上述聚光光学系统保持机构(3)的上述聚光光学系统(2)与上述喷嘴保持机构(5)的上述喷嘴孔(11)之间形成的加工头空腔(8)供给辅助气体的辅助气体供给机构(13)，其特征在于，
具备：连通上述加工头空腔(8)和上述喷嘴保持机构(5)的外部并在上述喷嘴保持机构(5)上形成的通路(39)；在上述通路(39)上以可密封的方式滑动的滑动部件(33)；和连接该滑动部件(33)与上述喷嘴保持机构(5)的连接机构(37)。
6.根据权利要求5所述的激光加工头，其特征在于，
垂直于上述滑动部件(33)的滑动方向的平面上的上述滑动部件(33)在上述加工头空腔(8)侧的投影面积与垂直于上述聚光光学系统(2)和上述喷嘴孔(11)之间的光路的光轴(51)的平面上的上述喷嘴保持机构(5)在上述加工头空腔(8)侧的投影面积相等。
7.根据权利要求1至6中任何一项所述的激光加工头，其特征在于，
通过上述辅助气体供给机构(13)供给辅助气体的加工头空腔(8)的辅助气体供给口(13)从上述聚光光学系统(2)与上述喷嘴孔(11)之间的光路的光轴(51)看形成在比上述连接机构更远处。
8.根据权利要求5至7中任何一项所述的激光加工头，其特征在于，
上述连接机构(37)是挂设在设于上述聚光光学系统保持机构(3)上的带轮(38)上的金属线(37)。
9.一种激光加工头，包括保持形成有喷嘴孔(11)的喷嘴(4)的喷嘴保持机构(5)和保持聚光光学系统(2)的聚光光学系统保持机构(3)，该聚光光学系统保持机构(3)以可密封的方式滑动地配置在上述喷嘴保持机构(5)内，
还包括：使上述喷嘴保持机构(5)及上述聚光光学系统保持机构(3)相对滑动移动的移动机构(6)；和向在上述聚光光学系统保持机构(3)的上述聚光光学系统(2)与上述喷嘴保持机构(5)的上述喷嘴孔(11)之间形成的加工头空腔(8)供给辅助气体的辅助气体供给机构(13)，其特征在于，
具备：在上述聚光光学系统保持机构(3)与上述喷嘴保持机构(5)之间形成的流体空腔(15)；连通上述流体空腔(15)与上述加工头空腔(8)的通路(32)；和在上述通路(32)上以可密封的方式滑动的滑动部件(33)，
在上述聚光光学系统保持机构(3)向减小上述加工头空腔(8)的体积的方向移动时，上述流体空腔(15)的体积增加，
在上述流体空腔(15)与上述通路(32)的上述滑动部件(33)之间填充非压缩性流体(A)。
10.根据权利要求9所述的激光加工头，其特征在于，
上述通路(32)在上述喷嘴保持机构(5)上形成。
11.根据权利要求9所述的激光加工头，其特征在于，
上述通路(32)在上述聚光光学系统保持机构(3)上形成。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101837517A (zh) * 2010-03-31 2010-09-22 龙岩理尚精密机械有限公司 自动调焦数控激光切割器
CN102131614A (zh) * 2008-07-30 2011-07-20 Ipg光子公司 带光纤激光器的激光焊接工具
CN102151990A (zh) * 2011-04-01 2011-08-17 江苏大学 激光加工机床的旋转激光头辅助气体传输装置
CN110695541A (zh) * 2018-07-10 2020-01-17 大众汽车有限公司 用于在停放位置中容纳光学工具的工具组件和方法
CN110936030A (zh) * 2019-12-20 2020-03-31 济南邦德激光股份有限公司 一种激光切割机的激光头
CN114829056A (zh) * 2019-11-25 2022-07-29 普雷茨特两合公司 用于激光加工装置的喷嘴及包括其的激光加工装置
CN115715243A (zh) * 2020-06-25 2023-02-24 山崎马扎克公司 激光加工装置、激光加工系统以及盒的安装方法

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1657020A1 (de) * 2004-11-10 2006-05-17 Synova S.A. Verfahren und Vorrichtung zur Optimierung der Kohärenz eines Flüssigkeitsstrahls für eine Materialbearbeitung und Flüssigkeitsdüse für eine solche Vorrichtung
EP2062676B1 (de) * 2007-11-26 2012-01-25 Bystronic Laser AG Wechsel-Modul für einen modularen Bearbeitungskopf einer Laserbearbeitungsmaschine ; entsprechende modularen Bearbeitungskopf und Laserbearbeitungsmaschine
EP2062679B1 (de) * 2007-11-26 2015-01-07 Bystronic Laser AG Bearbeitungskopf einer Laserbearbeitungsmaschine mit einer Zuführung von Gas und einer Kompensationseinrichtung zur Kompensation der von zugeführtem Gas übertragenen Kräfte
JP4611411B2 (ja) * 2008-10-20 2011-01-12 ヤマザキマザック株式会社 プログラマブルの焦点位置決め機能を備えたレーザ加工機
US8530783B2 (en) * 2009-02-03 2013-09-10 Abbott Cardiovascular Systems Inc. Laser cutting system
USD665829S1 (en) * 2010-08-13 2012-08-21 Trumpf, Inc. Laser processing head
PL3693122T3 (pl) 2010-12-16 2022-10-31 Bystronic Laser Ag Urządzenie do obróbki wiązką laserową zawierające pojedynczą soczewkę do skupiania światła
FR2997882B1 (fr) * 2012-11-09 2014-12-26 Air Liquide Buse laser avec element mobile modulaire
US10307864B2 (en) * 2013-12-13 2019-06-04 Avonisys Ag Methods and systems to keep a work piece surface free from liquid accumulation while performing liquid-jet guided laser based material processing
CN104668771A (zh) * 2015-02-25 2015-06-03 昆山宝锦激光拼焊有限公司 一种焊接头镜片保护装置
DE102017205084A1 (de) * 2017-03-27 2018-09-27 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Gasdüse mit verschleißfester Hülse zur Kapselung eines Schneidgasstrahls
JP6616368B2 (ja) * 2017-09-14 2019-12-04 ファナック株式会社 レーザ加工前に光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正するレーザ加工装置
JP6852031B2 (ja) * 2018-09-26 2021-03-31 株式会社東芝 溶接装置及びノズル装置
DE202018107281U1 (de) * 2018-12-19 2019-01-08 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Strahlformungseinheit mit Kühlsystem für Hochleistungslaser
DE102019103659B4 (de) * 2019-02-13 2023-11-30 Bystronic Laser Ag Gasführung, Laserschneidkopf und Laserschneidmaschine

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4031351A (en) * 1972-10-25 1977-06-21 Groupement Atomique Alsacienne Atlantique High energy laser beam cutting method and apparatus
EP0129603A4 (en) * 1982-12-17 1985-06-10 Inoue Japax Res CUTTING DEVICE WITH LASER.
FR2627409A1 (fr) * 1988-02-24 1989-08-25 Lectra Systemes Sa Appareil de coupe laser muni d'un dispositif d'evacuation des fumees
US5008510A (en) * 1989-12-29 1991-04-16 Amada Company, Limited Laser punch press, and beam detection device for adjusting the laser beam path
JPH03258479A (ja) * 1990-03-06 1991-11-18 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工装置
JPH04284993A (ja) * 1991-03-12 1992-10-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ加工装置
US5245155A (en) * 1992-03-06 1993-09-14 General Electric Company Single point powder feed nozzle for use in laser welding
JP2804206B2 (ja) 1992-09-22 1998-09-24 三菱電機株式会社 レーザ加工ヘッド
NZ272635A (en) * 1994-08-02 1998-02-26 Mcneil Ppc Inc Laser cutting/drilling processing head that creates a vortex gas flow within the head to clean and prevent back spatting of particles onto the lens therein
US5780806A (en) * 1995-07-25 1998-07-14 Lockheed Idaho Technologies Company Laser ablation system, and method of decontaminating surfaces
DE19628857A1 (de) * 1996-07-17 1998-01-29 Precitec Gmbh Anschlußkopf zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls
JP3745899B2 (ja) * 1998-04-13 2006-02-15 ヤマザキマザック株式会社 レーザ加工機
US6822187B1 (en) * 1998-09-09 2004-11-23 Gsi Lumonics Corporation Robotically operated laser head
US6204473B1 (en) * 1999-04-30 2001-03-20 W.A. Whitney Co. Laser-equipped machine tool cutting head with pressurized counterbalance
JP3900084B2 (ja) * 2000-08-31 2007-04-04 三菱電機株式会社 レーザ加工ヘッド
US6833222B1 (en) * 2001-03-29 2004-12-21 Dupont Photomasks, Inc. Method and apparatus for trimming a pellicle film using a laser
WO2003082511A1 (fr) * 2002-04-01 2003-10-09 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Procede de soudage a l'arc de composite avec fil d'apport induit par laser yag et equipement de soudage

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102131614A (zh) * 2008-07-30 2011-07-20 Ipg光子公司 带光纤激光器的激光焊接工具
US8766136B2 (en) 2008-07-30 2014-07-01 Ipg Photonics Corporation Laser welding tool
CN102131614B (zh) * 2008-07-30 2014-07-23 Ipg光子公司 带光纤激光器的激光焊接工具
CN101837517A (zh) * 2010-03-31 2010-09-22 龙岩理尚精密机械有限公司 自动调焦数控激光切割器
CN102151990A (zh) * 2011-04-01 2011-08-17 江苏大学 激光加工机床的旋转激光头辅助气体传输装置
CN102151990B (zh) * 2011-04-01 2013-11-20 江苏大学 激光加工机床的旋转激光头辅助气体传输装置
CN110695541A (zh) * 2018-07-10 2020-01-17 大众汽车有限公司 用于在停放位置中容纳光学工具的工具组件和方法
CN114829056A (zh) * 2019-11-25 2022-07-29 普雷茨特两合公司 用于激光加工装置的喷嘴及包括其的激光加工装置
CN110936030A (zh) * 2019-12-20 2020-03-31 济南邦德激光股份有限公司 一种激光切割机的激光头
CN110936030B (zh) * 2019-12-20 2021-08-31 济南邦德激光股份有限公司 一种激光切割机的激光头
CN115715243A (zh) * 2020-06-25 2023-02-24 山崎马扎克公司 激光加工装置、激光加工系统以及盒的安装方法

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Publication number Publication date
EP2018933A2 (en) 2009-01-28
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