CN1853134A - 液晶显示面板的制造方法及其制造设备 - Google Patents

Abstract

一种液晶显示面板的制造方法，包括：将密封剂涂覆到将要彼此粘合的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；将液晶滴至两块基板中的一块上的液晶滴注步骤；以及将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤，其中，该方法还包括：执行于液晶滴注步骤前的将两块基板中至少一块滴有液晶的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及执行于粘合步骤前的采用惰性气体释放减压氛围的放气步骤。或者，该方法还包括：执行于密封剂涂覆步骤前的将两块基板中至少一块涂覆有密封剂的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及执行于粘合步骤前的采用惰性气体释放减压氛围的放气步骤。

Description

液晶显示面板的制造方法及其制造设备

技术领域

本发明涉及液晶显示面板的制造方法和液晶显示面板的制造设备。更具体地，涉及采用液晶滴注方式进行制造的液晶显示面板的制造方法和液晶显示面板的制造设备。

背景技术

液晶显示面板由两块背靠的基板组成，在两块背靠的基板之间封装有液晶。图7是多种液晶显示面板的其中一种范例性彩色液晶显示面板的示意性截面图。液晶30密封在TFT(薄膜晶体管)基板1和CF(滤色)基板5之间。在TFT基板1的主表面上，扫描线驱动电路2被形成并连接于外部驱动IC(未图示)。在扫描线驱动电路2的主表面上形成像素电极层3。在像素电极层3中，除了像素电极之外，还形成有TFT。在像素电极层3的主表面上，形成有配向膜4。

在背靠的TFT基板1的CF基板5的主表面上形成滤色器6。滤色器6具有三种色调，红、绿和蓝。滤色器6的主表面形成有公共电极7。公共电极7的主表面形成有配向膜8。液晶30被注入并夹在配向膜4和配向膜8之间，并且密封剂31被设置在液晶30的旁边。即，液晶30可由配向膜4、8和密封剂31环绕密封。通过介于它们之间的取间隔器9使得配向膜4、8之间保持一定的空间。因此，液晶30直接接触配向膜4、8和密封剂31。通过密封剂31将两块基板彼此牢固地粘合在一起。在本说明书和权利要求书中，诸如TFT基板的单块基板以及其中形成有像素电极层、配向膜等单块基板均被简单地称为“基板”。

在液晶显示面板的制造方法中，存在一种被称为液晶滴注方式的制造方法。图8示出液晶滴注方式的步骤。首先，将滤色器和像素电极层分别形成于两块基板上，此后将配向膜形成在各基板上。接着，将密封剂形成于分别形成在TFT基板和CF基板上的各个配向膜或其中一个配向膜的主表面上。接着，将所需量的液晶滴至基板配向膜中的一个的主表面。图9是按照液晶滴注方式而将两块基板粘合在一起的剖面示意性图。在图9中，除了配向膜4、8，诸如取间隔器和滤色器等部件均未图示。在图9所示的基板粘合过程中，密封剂31涂覆于形成在CF基板5的配向膜8的主表面上，而所需量的液晶30被滴至形成在另一TFT基板1的配向层4的主表面上。在基板粘合过程中，如箭头50所示，两基板的各主表面保持彼此平行并彼此紧贴以牢固地粘合。两块基板的粘合是在减压氛围下进行的。在基板上形成配向膜后的密封剂配置和液晶滴注是在放气氛围下进行的，仅基板的粘合是在减压氛围下进行的。

配向膜由多孔材料制成。并因此它们的表面很容易吸收水气。如果水气混入液晶，则会产生电压保持率下降并且图象显示不均匀或表现出斑点的问题。为了防止因为被配向膜等的表面吸收的水气所引起的水气混入液晶，该制造工序包括将基板配置在减压氛围下持续一定时间的步骤，该步骤称为除气步骤。为了实现除气步骤，需要采用真空腔、真空泵等以减少整个基板周围的压力。为了成功地在减压氛围中执行从密封剂的配置到基板粘合的步骤，需要非常大尺寸的设备。此外，如果在配置密封剂前执行除气步骤，则除气步骤后的基板就要从配置密封剂开始直到粘合基板都保存在放气氛围下。在这段时间内，空气中的水气可能会再次被配向膜的主表面吸收。因此，要在将两块基板彼此粘合前的瞬间执行除气步骤。诸如配置密封剂、液晶滴注、产品运输等其它步骤一般在放气氛围下进行。

2003-107481号日本专利公报公开一种液晶显示面板的制造方法，其中在涂覆密封剂前配向膜吸收的水分被设为小于4wt％。而配向膜成形后的各步骤并至少直到粘合完成为止是在湿度小于40％的环境下进行的。在该制造方法中，例如在形成配向膜后，保存或装配是在湿度小于40％的环境下进行的，并且保存或装配是在用干空气清洗基板的同时进行的。将密封剂配置到基板表面的步骤是在干空气氛围下进行的，例如，滴下液晶并粘合基板的步骤是在真空氛围下进行的。根据这种方法，可防止在保存或安装基板时配向膜吸收水气，并因此能制造出不包括残像的液晶显示面板。

2001-305545号日本专利公布公开了一种在研磨工序后立刻通过使配向膜非活性化而防止水气或吸附性气体被配向膜表面吸收的制造方法。根据这种方法，在研磨工序后，马上在至少为80℃并小于100℃的温度下持续预设时间对配向膜表面进行热处理，由此使配向膜表面的极性失去活性。从而，可防止水气或吸附性气体被配向膜表面吸收，由此可防止显示中的各种不均匀的情况。

专利文档1：2003-107481号日本专利公报(页3-5，页2-5)

专利文档2：2001-305545号日本专利公报(页3和页4)

如上所述，一般来说，在减压氛围下配置基板的除气步骤是在将基板彼此粘合前的瞬间进行的。图10A和图10B是分别表示出在放气氛围下配置在配向膜主表面上的液晶和密封剂。图10A是示出将液晶滴在配向膜主表面上的状态的放大的剖面图。由于配向膜是由多孔材料制成的，如果将配向膜置于空气中，空气中的水气被配向膜表面吸收。在将基板彼此粘合前执行除气步骤，并由此多数水气被蒸发。然而，将液晶30滴入的配向膜4主表面中的区域被液晶30覆盖，并因此不能蒸发水气。结果，如图10A的虚线40所示，由配向膜4吸收的水气仍然存在。至于密封剂，如图10B所示，同样在涂覆密封剂31的配向膜8的主表面区域中，如虚线41所示，由配向膜8吸收的水气仍然存在。

图11是解释当残留有水气时将两块基板彼此粘合在一起和制造液晶显示面板时所造成的问题的示意图。图11是液晶显示面板35的平面示意图。密封剂31被形成环形的，液晶被封入由密封剂31所包围的区域内。在将液晶封入的区域中，图象显示部分44是显示图象的区域。在液晶显示面板上，其中水气部分残留于由滴下的液晶覆盖的配向膜中，部分残留于由密封剂覆盖的配向膜中，因此出现缺陷显示部分45、46。缺陷显示部分45是具有对应于液晶滴注的区域及其周围部分区域的缺陷部分，然而，缺陷显示部分46是只有密封剂31所具有的缺陷部分。缺陷显示部分46因为配向膜吸收水气并随后通过密封剂31混入液晶所产生。在这些区域中，图象表现出斑点或不均匀。特别是那些实际上是黑的图象被显示成白。因此，会出现水气混入液晶的问题，由此电压保持率降低并产生缺陷显示。

一种采用所谓多重制造的方法被提出，其中将多个液晶单元被形成在母板上，随后将每个液晶单元从基板上切割下来，由此减少成本并提高产量。在母板表面上设置密封剂的液晶单元的数量现已达到一块母板上几百个的程度。预计每块母板上的单元数量将持续增加。随着单元数量的增加，母板的尺寸也趋向于增大。某些情况下对角线尺寸会超过1米。在这样大的母板上涂覆大量密封剂需要很长的时间，在这段时间内释放到空气中的水气被再次吸收。因此，即使在涂覆密封剂前的瞬间步骤中执行除气工序，也不足以有效地防止水气混入液晶中。

根据2003-107481号日本专利公布的制造方法，在形成配向膜后直到涂覆密封剂为止，必须将基板保存在下列氛围中的一种氛围中：低湿度氛围、用惰性气体代替空气的氛围中以及减压氛围。此外，接下来必须在这种氛围中涂覆密封剂。因此，用于保存基板或涂覆密封剂的设备存在尺寸变大的问题。特别地，对角线尺寸超过1米的大型母板要求非常昂贵的基板存储设备和密封剂配置设备，并因此降低产量而使成本变得非常昂贵。此外，在保存基板后进行热处理和氛围放气的制造方法中，由于配向膜被加热，则会在配向膜的处理中产生分解反应。此外，还存在由于氛围放气而使由热处理除去的水气再次被配向膜吸收的问题。

根据2001-305545号日本专利公布中公开的制造方法，由于加热配向膜并随后进行氛围放气，会出现伴随着配向膜加热过程中的分解反应问题。此外，由于氛围放气执行在后，因此会产生水气再次被配向膜吸收的问题。

本发明为了解决上述问题而作出，其目的是提供一种即使在大母板中也能防止水气混入到液晶中并能高产量地制造液晶显示面板的制造方法及其制造设备。

发明内容

在根据本发明的液晶显示面板制造方法的第一方面中，该方法包括：将密封剂涂覆到将要彼此粘合的两块基板或两块基板中的一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；将液晶滴至两块基板中的一块上的液晶滴注步骤；以及将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤。该方法还包括：执行于密封剂涂覆步骤前的将两块基板中至少一块需要涂覆密封剂的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及执行于粘合步骤前通过惰性气体使减压氛围放气的放气步骤。采用这种方法，可事先从涂覆有密封剂的基板上将水气除去，即使是大型母板也好，由此防止此后将基板置于空气中时，水气被吸收。因此，能制造出可防止缺陷显示的液晶显示面板。此外还提高了产量。

较为有利地，在上述发明中，放气步骤是在密封剂涂覆步骤前执行的。采用这种方法，可在空气中进行密封剂涂覆步骤从而提高产量。

较为有利地，在上述发明中，密封剂涂覆步骤在放气步骤后的30分钟内进行。采用这种方法，可在被基板吸收的多数惰性气体逸出前涂覆密封剂。因此，能制造出更确实地防止缺陷显示的液晶显示面板。

较为有利地，在上述发明中，除气步骤包括将两块基板配置在减压氛围下的步骤。采用这种方法，传统地在粘合步骤前瞬间执行的除气步骤被省去。

较为有利地，在上述发明中，在密封剂涂覆步骤和液晶滴注步骤后执行放气步骤。采用这种方法，可除去由两块基板所吸收的水气。因此，能制造出更确实地防止缺陷显示的液晶显示面板。此外，除了能防止涂覆密封剂的区域周围的缺陷显示，还能防止滴入液晶区域的缺陷显示。

较为有利地，在上述发明中，在液晶滴注步骤前执行放气步骤，并在放气步骤后30分钟内执行液晶滴注步骤。采用这种方法，除了能防止涂覆密封剂的区域周围的缺陷显示还能防止液晶滴注区域周围的缺陷显示的液晶显示器能被制造出。

在根据本发明的液晶显示面板的制造方法的第二方面中，该方法包括：将密封剂涂覆于彼此粘合的两块基板或两块基板中的一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；将液晶滴至两块基板中的一块的液晶滴注步骤；以及将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤。该方法还包括：执行于液晶滴注步骤前的将两块基板中至少一块滴有液晶的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及执行于粘合步骤前的通过惰性气体使减压氛围放气的放气步骤。采用这种方法，可事先从其上滴有液晶的基板上将水气除去，即使是大型母板也好，由此防止此后将基板置于空气中时，水气被吸收。因此，能制造出可防止缺陷显示的液晶显示面板。此外还能提高产量。

较为有利地，在上述发明中，放气步骤是在液晶滴注步骤前执行的，并且液晶滴注步骤执行于放气步骤后的30分钟内。采用这种方法，可确实地防止水气被再次吸收，并能防止缺陷显示。

较为有利地，在上述发明中，除气步骤包括将两块基板一起置于减压氛围中。采用这种方法，传统地执行于粘合步骤前瞬间的除气步骤被省去。

根据本发明的制造设备被用于液晶显示面板的制造方法，该方法包括：将密封剂涂覆于将要彼此粘合的两块基板或两块基板中的一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；将液晶滴至两块基板中的一块的液晶滴注步骤；以及将两块基板彼此粘合的粘合步骤，其中该设备包括：用于将基板配置在减压氛围中的减压氛围形成装置；以及通过惰性气体释放减压氛围的放气装置。采用这种方法，能提供一种液晶显示面板的制造设备，该液晶显示面板能除去水气并防止在将两块基板粘合在一起之前，水气再次被吸收。

较为有利地，在本发明中，减压氛围形成装置包括：真空腔；用于将基板配置在腔内的基板配置腔；以及对真空腔真空排气的真空泵。该放气装置包括用来将惰性气体引入真空腔的惰性气体引入装置。采用这种结构，能方便地形成液晶显示面板的制造设备。

较为有利地，在本发明中，形成真空腔以使将要彼此粘合的两块基板被容纳在内。采用这种结构，能同时将两块基板容纳于一个真空腔中，并能减少进入粘合步骤的时间。此外，移向粘合步骤的工作被省去，由此提高产量。

这里提供一种液晶显示面板的制造方法及其制造设备，使用该方法和制造设备能防止水气混入液晶中和提高产量，并且还能应用于大型母板。

附图说明

图1是根据第一实施例的制造方法的流程图。

图2是根据第一实施例的制造设备的剖面示意图。

图3是根据第一实施例的制造设备中的真空腔的剖面示意图。

图4是根据第一实施例的制造设备的总体示意图。

图5是根据第二实施例的制造方法的流程图。

图6是根据第三实施例的制造方法的流程图。

图7是彩色液晶显示面板的剖面示意图。

图8是基于现有技术的液晶显示面板的制造方法的流程图。

图9是说明液晶滴注方法的剖面图。

图10A是解释与现有技术的制造方法有关问题的第一示意图。

图10B是解释与现有技术的制造方法有关问题的第二示意图。

图11是说明现有技术的液晶显示面板的问题的平面示意图。

1.TFT基板          2.扫描线驱动电路       3.像素电极层

4、8.配向膜        5.CF基板               6.滤色器

7.公共电极         9.取间隔器             11.惰性气体引入装置

12.供气管          13.供气阀              14.气瓶

16.真空排气装置    17.真空排气管          18.真空排气阀

19.真空排气泵      20.真空腔              21.支承座

22.开启/关闭门     25.真空皿              30.液晶

31.密封剂          35.液晶显示面板        40、41.虚线

44.图象显示部分    45、46.缺陷显示部分    50.箭头

具体实施方式

(第一实施例)

参阅图1-4，下面将对根据本发明第一实施例的液晶显示面板的制造方法及其液晶显示面板的制造设备进行说明。

图1是根据第一实施例的液晶显示面板的制造方法的流程图。所制造的液晶显示面板与基于现有技术的液晶显示面板具有相同构成。即，如图7所示，在TFT基板1的主表面上形成用于驱动TFT的扫描线驱动电路2。在扫描线驱动电路2的主表面上形成有像素电极层3，其上形成有TFT等。在像素电极层3的主表面上形成有配向膜4。在CF基板5的主表面上，形成有滤色器6。在滤色器6的主表面上形成有公共电极7。在公共电极7的主表面上形成有配向膜8。液晶显示面板由两块彼此结合的基板组成，在两基板之间插入取间隔器9。采用密封剂31将两块基板固定地粘合在一起，并且液晶30被密封在由两块基板和密封剂31包围的空间中。

根据本发明的制造方法与现有技术中的制造方法相同的是配向膜被形成在将要彼此粘合的两块基板上，还有该方法包括：将密封剂涂覆于那些基板中的一块或两块的主表面的密封剂涂覆步骤；将液晶滴至那些基板中的一块上的液晶滴注步骤；以及在减压氛围下将两块基板粘合在一起的粘合步骤。

本发明的液晶显示面板的制造方法包括：执行于密封剂涂覆步骤前的将形成有配向膜的基板设置于减压氛围内的除气步骤；以及用惰性气体释放减压氛围的放气步骤。在完成放气步骤后的30分钟内执行密封剂涂覆步骤。在将配向膜形成于基板后，将基板置于减压氛围以除去配向膜等的表面中所包含的水气。此后，采用惰性气体(例如氮气和氩气)来释放减压氛围，惰性气体被配向膜的多孔表面的多个孔吸收。由此，可防止当基板被置于空气中时，水气被配向膜吸收。因此，在密封剂和配向膜之间不残留有水气，并能防止密封剂周围的缺陷显示。

在本实施例中，液晶可被滴至与涂覆有密封剂的基板背靠的另一基板上。在本实施例中，滴有液晶的基板还被置于减压氛围中，并随后引入惰性气体以释放氛围放气。由于惰性气体被配向膜的表面吸收，因此能防止水气的吸收。结果，可将水气从滴有液晶的区域的配向膜中除去，并能防止滴有液晶的区域和周围区域中的缺陷显示。

在多孔配向膜的多个孔中以及其它中的惰性气体可取代水气等，并随时间的流逝而扩散到空气中。因此，由配向膜吸收的惰性气体浓度会随着时间的流逝而减少。因此，较为有利的是，在放气步骤后尽可能快地涂覆密封剂，并且特别地在放气步骤完成后大约30分钟内这样做是较为有利的。对于液晶滴注步骤亦然，在由惰性气体释放减压氛围后大约30分钟内执行该步骤是较为有利的。

在将彼此粘合的两块基板置于减压氛围后，通过采用惰性气体来释放减压的氛围，则不论哪块基板是具有密封剂或哪块基板是具有液晶的，都能防止与密封剂涂覆和液晶滴注有关的缺陷显示。同时，由配向膜等吸收的水气也能从涂覆密封剂和滴有液晶的那些区域之外的区域中被除去。当由惰性气体放气后、基板置于空气中的时间很短时，无需再次执行将基板粘合在一起前将基板置于减压气氛中某段时间的除气步骤，并且粘合步骤在压力减少后立即执行。

在根据本发明的制造方法中，即使在基板上形成配向膜后将基板保存在空气中很长时间，在将涂覆密封剂或滴入液晶之前，也可执行将基板配置于减压氛围中的除气步骤以及采用惰性气体释放减压的氛围的放气步骤。本发明与现有技术文献中所公开的制造方法不同点在于：基板周围的氛围被水气减少的空气或惰性气体所置换(清洗)。在本发明中，一旦将基板置于真空氛围中，并完全将水气蒸发和除去后，惰性气体被配向膜等的表面吸收。与现有技术文献中所公开的制造方法不同的是：无需将基板保存在需要湿度控制等的氛围下，并能在形成配向膜后将基板保存在正常氛围下。结果，可减小制造设备的尺寸，提高产量并低成本地制造液晶显示面板。

在各种基板中，例如，传统地当经历多重生产的大尺寸基板被保存在湿度受控的范围下时，设备不可避免地会相当大。然而，根据本应用，由于除气步骤和放气步骤在涂覆密封剂前进行，所以这样的大型保存设备是不必要的。结果，对于大型基板而言，能提高产量并能实现大批量制造。

此外，由于可在空气氛围压力下进行密封剂的涂覆和液晶的滴入，能轻易地实现密封剂的涂覆和液晶的滴入。由此能更快地进行工作并提高产量。

图2-图4示出根据本发明的液晶显示设备的制造设备的示意图。图2是根据本发明的制造设备的剖面示意图。根据本发明的制造设备被用于液晶显示面板的制造方法，该方法包括密封剂涂覆步骤、液晶滴注步骤和将两块基板彼此粘合的粘合步骤。也就是说，该制造设备适用于液晶滴注方式。

根据本发明的液晶显示面板的制造设备具有将基板置于减压氛围内的减压氛围形成装置和采用惰性气体释放减压的氛围的放气装置。例如其上形成有配向膜的TFT基板1和其上形成有配向膜的CF基板5的两块基板被置于真空腔20中。真空腔20由铝制成，尽管也可由不锈钢之类其它金属制成。本实施例中的真空腔20被形成为能够容纳两块彼此粘合的基板。所制成的真空腔20为空腔并与外界保持密封。在真空腔20中，两个支承座21彼此朝向地形成以作为安装基板的部件。被制成的支承座21使彼此粘合的两块基板可相互垂直对准地配置。制成支承座21固定于真空腔20的底部。

真空腔20连接于对真空腔20真空排气的真空排气装置16。真空排气装置16包括真空排气管17、真空排气阀18和真空泵19。在本实施例中，真空排气装置16、真空腔20和形成在真空腔20内的支承座21一起构成用于将基板配置在减压氛围中的减压氛围形成装置。

真空腔20连接于作为放气装置的惰性气体引入装置11。惰性气体引入装置11包括供气管12、供气阀13和气瓶14。气瓶14装有例如氮气或氩气的惰性气体。

图3是沿图2的线III-III剖切的真空腔的剖面图。真空腔20基本被形成为矩形立方体。将分别为TFT基板1和CF基板5的两块基板设置在支承座21上，由此它们的主表面是水平的。在真空腔20的前侧，根据形成两个台阶的制成支承座21的各台阶而形成开/关门22。开/关门22为可打开和关闭，并具有足够大的尺寸以便于各基板放入和取出。开/关门22可形成以便于在关闭时保持其内部密封。

图4是本实施例的制造设备的总体示意图。包括惰性气体引入装置11、真空排气装置16和真空腔20的多个相同制造设备被置于真空皿25中。真空腔20连接于各惰性气体引入装置11和真空排气装置16，并形成彼此独立地使它们被真空排气并将惰性气体引入的结构。在各真空腔20中，图3所示的支承座21被形成，由此能容纳两块彼此粘合的基板。

本设备适用于图1所示制造方法的实例，其中放气步骤在形成配向膜后，将基板置于减压氛围并采用惰性气体释放减压的氛围。首先，将开/关门22打开并将TFT基板1和CF基板5设置于真空腔20内支承座的各台阶上。对基板进行配置，以使它们完全容纳于真空腔20内。在本实施例中，TFT基板1设置在上面而CF基板5设置在下面，尽管它们的配置不局限于此，并且两个都可以都配置在上面。主要为使所形成俄配向膜中的水气蒸发，较为有利地配置基板以使具有配向膜的侧面朝上以避免配向膜和支承座21之间的接触。在将基板配置完毕后，所有开/关门22(见图3)被关上以使真空腔20密封。

接着，真空泵19被驱动并且真空排气阀18打开以对真空腔20真空排气。真空腔20被真空排气至大约30Pa。如果真空腔20内的压力急剧下降，配向膜可能受到损坏。因此，使真空腔20内的压力逐渐下降是较为有利的。因此，适用开启程度逐渐变化的阀作为真空排气阀18是较为有利的。作为本实施例的真空排气阀18，所使用的是一种能够连续增加阀开口并能逐级增加阀开口的阀。将压力减少到大约30Pa并持续保持大约30分钟，配向膜表面中的水气被蒸发。这样，除气步骤执行完毕。

真空腔内的压力和维持减压的时间不局限于此，例如真空腔内的压力最多可以是1Pa，这取决于配向膜的种类。换句话说，根据所形成的配向膜的类型等因素改变在压力降低情况下执行除气步骤的条件是较为有利的。

当除气步骤结束后，接着关闭真空排气阀18并打开供气阀13以将来自惰性气体引入装置11的惰性气体引入真空腔20。即，执行放气步骤。作为本实施例的供气阀13，可调节敞开度以使真空腔20内的压力逐渐增加的阀被使用。继续引入惰性气体，直到真空腔20内的压力达到空气氛围压力为止。当真空阀20中的压力达到空气氛围压力时，供气阀13被关闭以停止引入惰性气体。在这种状态下，在执行密封剂涂覆步骤前，基板被保存在真空腔20中。或者，如果到密封剂涂覆步骤为止的时间在大约30分钟以内，可将基板从真空腔20中取出并保存。

用于液晶滴注方式的制造设备包括减压氛围形成装置和用于采用惰性气体释放减压氛围的放气装置，基板主表面和形成于基板主表面配向膜中的水气被惰性气体置换，藉此即使此后将基板置于空气中，也能防止水气被再次吸收。结果，能防止液晶显示面板的缺陷显示。在形成配向膜直到粘合步骤为止，无需持续地控制湿度，并且在形成配向膜后直到涂覆密封剂或滴入液晶为止，可将基板保存在空气中。由此大大简化的设备复杂度。即使对大型基板也能方便地进行处理并提高产量。

此外，由于形成真空腔以容纳将要彼此粘合的基板，可同时处理两块基板，并使完成一块基板处理的等待时间(即下个步骤为止/前置时间)变得最小。由此提高产量。

如图4所示，由于形成多个小型真空腔20以使各腔被彼此独立地真空排气并供以惰性气体，如有必要可将这些基板置于惰性气体氛围中，直到密封剂涂覆步骤前或直到液晶滴注步骤前。因此能确实地防止水气的吸入。此外，将基板从中取出的制造设备随后被分别地装入下一块基板以进行除气步骤和放气步骤，藉此成功地处理基板。因此，制造工序中的等待时间被最小化并提高产量，藉此提供廉价的液晶显示面板。

尽管本发明的制造设备的结构可将两块基板置于真空腔内，但本发明不局限于这种方式，该设备的结构也能够使一块基板或三块或更多的基板置于一个腔内。此外，尽管各个真空腔都只安装了一个真空泵，但也能将多个真空管连接于大型真空泵以通过各真空排气阀调节真空腔的内部压力。同样，惰性气体引入装置仅需具有将惰性气体引入真空腔的结构，诸如连接于多个并联气瓶的供气管。

(第二实施例)

参阅图5，其中描述了本发明第二实施例的液晶显示面板的制造方法及其制造设备。

本实施例与根据第一实施例的制造方法相同点在于配向膜形成于基板并且根据液晶滴注方式封入液晶。本发明与第一实施例另一个相似是形成配向膜的基板被置于后来惰性气体放气的氛围中。

本实施例的制造设备被形成为除第一实施例的制造设备的结构外，还提供用于将密封剂涂覆于真空腔内的分配器。由此将密封剂涂覆于真空腔内。

在根据本实施例的制造方法中，将密封剂涂覆于将要彼此粘合的两块基板或两块基板中的一块的主表面的密封剂涂覆步骤在减压氛围中进行。在将配置各基板的氛围减压后，在持续规定时间内维持该压力，由此配向膜表面的水气和配向膜内的水气被蒸发。接着，在该减压的气氛中，密封剂被涂覆于各基板或其中一块基板上。

在密封剂涂覆完成后，诸如氮气或氩气的惰性气体被引入真空腔以使真空腔内达到空气氛围的压力状态，并且将基板保存在真空腔中。在将液晶滴在其中一块基板上的液晶滴注步骤前，可将基板从真空腔中取出。或者，如果到液晶滴注步骤为止的时间很短，可将基板取出并保存在空气中，接着，在执行液晶滴注步骤之后，执行粘合步骤。

在本实施例的液晶显示面板的制造方法中，在基板被配置在减压氛围的状态下涂覆密封剂。即，将密封剂涂覆于已完全去除水气的配向膜的上表面。通过采用这种方法，可防止水气残留在涂覆密封剂的区域内的配向膜中，并能防止涂覆密封剂的区域周围的缺陷显示。此外，通过采用惰性气体来释放真空腔内的减压氛围，可防止滴入液晶时混入水气。

当滴入液晶的基板和涂覆密封剂的基板不同时，滴入液晶的基板也被事先置于减压氛围的真空腔内，并随后经历采用惰性气体释放真空腔的放气步骤。通过采用这种方法，事先从滴有液晶的基板上除去配向膜的水气，并能防止液晶被滴入的区域中的缺陷显示。与第一实施例相同，在采用惰性气体释放减压氛围后的30分钟内将液晶滴注是较为有利的。通过采用这种方法，能确实地防止缺陷显示，即使液晶滴注步骤执行于正常空气氛围下。由此简化液晶滴注设备的结构并由于作业变得容易而使产量提高。

另外在将密封剂涂覆于滴有液晶的基板的情况下，较为有利地使背靠的的基板在粘合步骤之前经历除气步骤和放气步骤。通过使用这种方法，则没有必要在粘合步骤前执行除气步骤，藉此缩减制造步骤并且提高产量。

尽管第一实施例的液晶显示面板的制造设备被形成为容纳两块将要彼此粘合的基板，然而，本实施例的设备也可被形成为：如果涂覆了密封剂的基板和滴入液晶的基板是同一块，则只将一块基板置于真空腔内，由此仅对这块基板进行处理。

制造方法及其制造设备的其余部分与第一实施例的相同，并因此不重复说明。

(第三实施例)

参阅图6，其中描述了本发明第三实施例的液晶显示面板的制造方法及其制造设备。

本实施例与根据第一实施例的制造方法相同的是配向膜形成于基板以及通过液晶滴注方式将液晶封入。本发明与第一实施例相同的还有，其上形成有配向膜的基板被置于随后采用惰性气体释放的减压氛围中。

在本实施例中，密封剂涂覆步骤和液晶滴注步骤在减压氛围中进行。此后，真空腔中的减压氛围采用惰性气体放气的，并且基板保存在真空腔中，直到粘合步骤。

在本实施例的真空腔中，除了第一实施例的真空腔结构，还设有涂覆密封剂的分配器和滴入液晶的分配器。可对任何一块基板进行密封剂的涂覆和液晶的滴入。此外，也可对两块基板涂覆密封剂。

通过采用这种制造方法，由于在完全除去配向膜的表面的水气的状态下执行密封剂涂覆和液晶滴注，所以可除去水气并防止其混入液晶。结果，在涂覆密封剂的区域、滴有液晶的区域及其周围区域内的缺陷显示被更确实地防止。此外，由于采用惰性气体来释放真空腔内的减压氛围并能在粘合前保存基板，因此能防止在这段时间内被基板和配向膜吸收水气，并因此防止液晶显示面板的缺陷显示。如果在放气步骤后保存基板的时间很短，可防止基板吸收水气并省去在粘合步骤前的除气步骤，并由此缩短制造时间。

制造方法和制造设备的其余部分与第一实施例的相同，因此不重复说明。

在上述实施例中，除气步骤主要执行在密封剂涂覆步骤前。然而，如果只打算防止液晶滴注步骤中的水气混入，则在密封剂涂覆步骤前不对涂覆密封剂的基板执行除气步骤等。滴有液晶的基板可在液晶滴注步骤前经历除气步骤并在粘合步骤前经历放气步骤。

尽管上述实施例中主要围绕彩色液晶显示面板展开说明，然而本发明不局限于彩色液晶并且同样适用于黑白液晶显示面板。

应该理解，本文披露的实施例的所有方面均为示例性和非限制性的。本发明的范围由权利要求所定义，而不是上述说明和例子，并且本发明旨在涵盖权利要求的所有范围和等效物内作出的修正和变化。

本发明适用于液晶显示面板的制造。特别地，它较为有利地适用于基于液晶滴注方式实现的液晶显示面板的制造方法及其制造设备。

权利要求书

(按照条约第19条的修改)

1.一种液晶显示面板的制造方法，包括：

将密封剂涂覆到将要彼此粘合在一起的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；

将液晶滴至所述两块基板中的一块上的液晶滴注步骤；以及

将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤，其中，所述方法还包括：

执行于所述密封剂涂覆步骤前的将两块基板中至少一块涂覆有密封剂的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及

执行于所述粘合步骤前的采用惰性气体释放减压氛围的放气步骤。

2.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，所述放气步骤是在所述密封剂涂覆步骤前执行的。

3.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

所述密封剂涂覆步骤是在减压氛围中进行的。

4.如权利要求3所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

所述密封剂涂覆步骤是在所述放气步骤后30分钟内进行的。

5.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

所述除气步骤包括将所述两块基板一起置于所述减压氛围中的步骤。

6.如权利要求5所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

在所述密封剂涂覆步骤和所述液晶滴注步骤之后，执行所述放气步骤。

7.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

在所述液晶滴注步骤前，执行所述放气步骤；以及

在所述放气步骤后30分钟内，执行所述液晶滴注步骤。

8.一种液晶显示面板的制造方法，包括：

将密封剂涂覆于彼此粘合在一起的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；

将液晶滴至所述两块基板中的一块的液晶滴注步骤；以及

将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤。其中，所述方法还包括：

执行于所述液晶滴注步骤前的将两块基板中至少一块滴有液晶的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及

执行于所述粘合步骤前的采用惰性气体释放减压的氛围的放气步骤，其中

在所述液晶滴注步骤前执行所述放气步骤；以及

所述液晶滴注步骤是在放气的氛围中进行的。

9.如权利要求8所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

在所述放气步骤后30分钟内执行所述液晶滴注步骤。

10.如权利要求8所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

所述除气步骤包括将所述两块基板一起置于所述减压氛围中的步骤。

11.一种用于液晶显示面板制造方法的制造设备，所述方法包括：

将密封剂涂覆于将要彼此粘合在一起的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；

将液晶滴至所述两块基板中的一块的液晶滴注步骤；以及

将所述两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤，其中，所述设备包括：

用于将基板配置在减压氛围中的减压氛围形成装置；以及

采用惰性气体释放减压氛围的装置，其中

所述减压氛围形成装置包括：

真空腔；

用于将基板配置在所述腔内的基板配置腔；以及

对所述真空腔真空排气的真空泵；其中

所述放气装置包括：

用来将惰性气体引入所述真空腔的惰性气体引入装置。

12.如权利要求11所述的液晶显示面板的制造设备，其特征在于，

所述真空泵可制成为能容纳将要彼此粘合在一起的两块基板。

13.如权利要求11所述的液晶显示面板的制造设备，其特征在于，

所述制造设备只包括减压氛围形成装置和所述放气装置。

Claims (12)

1.一种液晶显示面板的制造方法，包括：

将密封剂涂覆到将要彼此粘合在一起的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；

将液晶滴至所述两块基板中的一块上的液晶滴注步骤；以及

将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤，其中，所述方法还包括：

执行于所述密封剂涂覆步骤前的将两块基板中至少一块涂覆有密封剂的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及

执行于所述粘合步骤前的采用惰性气体释放减压氛围的放气步骤。

2.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，所述放气步骤是在所述密封剂涂覆步骤前执行的。

3.如权利要求2所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，所述密封剂涂覆步骤在所述放气步骤后的30分钟内进行。

4.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，所述除气步骤包括将两块基板一起置于减压氛围下的步骤。

5.如权利要求4所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，在所述密封剂涂覆步骤和所述液晶滴注步骤后执行所述放气步骤。

6.如权利要求1所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

在所述液晶滴注步骤前执行所述放气步骤，以及

在所述放气步骤后30分钟内执行液晶滴注步骤。

7.一种液晶显示面板的制造方法，包括：

将密封剂涂覆于彼此粘合在一起的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；

将液晶滴至所述两块基板中的一块的液晶滴注步骤；以及

将两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤，其中，所述方法还包括：

执行于所述液晶滴注步骤前的将两块基板中至少一块滴有液晶的基板置于减压氛围中的除气步骤；以及

执行于所述粘合步骤前的采用惰性气体释放减压的氛围的放气步骤。

8.如权利要求7所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

所述放气步骤是在液晶滴注步骤前执行的，并且

液晶滴注步骤执行于所述放气步骤后的30分钟内。

9.如权利要求7所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，

所述除气步骤包括将所述两块基板一起置于所述减压氛围中。

10.一种用于液晶显示面板制造方法的制造设备，所述方法包括：

将密封剂涂覆于将要彼此粘合的两块基板或其中一块的主表面上的密封剂涂覆步骤；

将液晶滴至所述两块基板中的一块的液晶滴注步骤；以及

将所述两块基板彼此粘合在一起的粘合步骤，其中，所述设备包括：

用于将基板配置在减压氛围中的减压氛围形成装置；以及

采用惰性气体释放减压氛围的装置。

11.如权利要求10所述的液晶显示面板的制造设备，其特征在于，

所述减压氛围形成装置包括：

真空腔；

用于将基板配置在腔内的基板配置部件；以及

对所述真空腔真空排气的真空泵。其中

所述放气装置包括：

用于将惰性气体引入所述真空腔的惰性气体引入装置。

12.如权利要求11所述的液晶显示面板的制造设备，其特征在于，所述真空泵可制成为能容纳将要彼此粘合在一起的两块基板。

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