CN1851599A - 一种抽真空阀门控制装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种抽真空阀门控制装置，包括旁路阀1、隔离阀2、阀门控制单元3，旁路阀1和隔离阀2并联在真空泵5和被抽真空腔室6之间，阀门控制单元3控制阀门1、2的开闭，还设有一个真空开关4，真空开关4检测被抽真空腔室6的压力，并比较阀门开闭压力标准值，根据比较结果发送打开/关闭旁路阀和/或隔离阀的开关触点信号给阀门控制单元3，阀门控制单元3根据检测结果确定时间控制旁路阀1和/或隔离阀2的开闭。使用本装置可以在对反应腔室抽真空的过程中有效的控制颗粒污染，并且在机台状态如腔室状态、真空泵抽速改变的时候同样可以有效的控制颗粒污染。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造中抽真空阀门的控制装置，特别涉及用腔室压力状态控制抽真空阀门的控制装置。
背景技术
半导体制造行业对于颗粒度(particles)的要求极为严格，每一个制程都要考虑如何尽量的减少颗粒的产生，从而提高生产的良率。在刻蚀机工作的时候，由于等离子体对硅片的轰击和反应就会在反应腔室内产生一些副产物，这些副产物大部分会被真空泵抽走，少部分会形成聚合物附着在反应腔室内壁。在对反应室抽真空的时候，如果抽速很大就会在反应腔室内产生紊流，将会使反应腔室内壁附着的聚合物颗粒脱落，脱落的颗粒会附着在静电卡盘表面或硅片表面，直接影响硅片的良率；如果抽速控制的较小，那么抽真空的时间就会延长，从而影响生产效率。解决这个问题的办法就是起始抽速较小，等到反应腔室内部的压力降低到一定程度后，使用大抽速对其抽真空，这样既可以减少颗粒的产生，又不会影响生产的效率。
图1中所示的是目前大多数设备使用的方法，2是真空泵和反应室之间的隔离阀(isolation valve)，1是一个低流导的旁路阀门。抽真空时，先打开旁路阀1，由于旁路阀1流导小所以起始的抽速较小，气流不会在反应室内产生紊流，也就会减少颗粒的产生。经过一段时间后，关闭旁路阀1，打开隔离阀2，使用大抽速抽真空，由于此时压力较低，反应腔室内部不会产生紊流，从而达到快速抽真空且减少颗粒产生的目的。
目前的技术方案依靠旁路阀1的开启时间来确定何时关闭旁路阀1并开启隔离阀2。旁路阀1的开启时间是通过计算和测试得来的经验性数值，这个数值决定于真空泵的抽速，反应腔室的状态等。但现有技术是将标准状态下测得的旁路阀1开启时间输入计算机，以后不会再根据真空泵的抽速和反应腔室的状态的变化来改变这个数值。因此，如果真空泵的抽速变低或者反应室内的湿度变高，那么这个数值就会比原来标准状态下测得的数值大。如果还是按照起初设定的时间来执行阀门的动作，那么就会在压力较高的时候打开大抽速的阀门(隔离阀2)，这时的气流会使得反应腔室内壁上的颗粒脱落，在这种状态下，目前的技术方案不能够完全实现减少颗粒产生的作用。
发明内容
发明目的
本发明的目的是提供一种在对反应腔室抽真空时，能控制阀门开闭减少其内部由于紊流产生的颗粒污染的控制装置，特别是在反应腔室状态和真空泵抽气能力改变的时候同样能够控制阀门开闭减少颗粒污染的功能装置。
技术方案
本发明的目的是由如下技术方案来实现的：
一种抽真空阀门控制装置，包括旁路阀、隔离阀、阀门控制单元，旁路阀和隔离阀并联在真空泵和被抽真空腔室之间，阀门控制单元控制阀门的开闭，还设有一个真空开关，真空开关检测被抽真空腔室的状态，并将检测信号传送给阀门控制单元。真空开关检测被抽真空腔室的压力，并比较阀门开闭压力标准值，根据比较结果发送打开/关闭旁路阀和/或隔离阀的开关触点信号。
阀门控制单元可以计算机或CPU。
通过计算可以确定旁路阀关闭且隔离阀打开的压力点，将此压力点设定为真空开关的开关触点。当对反应腔室抽真空的时候，计算机会根据真空开关提供的触点信号判断何时关闭旁路阀且打开隔离阀。具有此种控制方式的装置不会因为反应腔室的状态和真空泵抽速的改变而受到影响，此装置直接根据反应腔室内压力的变化来控制阀门之间的切换，从而实现在反应腔室状态和真空泵抽气能力改变的时候同样能够实现减少颗粒污染的功能。
有益效果
使用本装置可以在对反应腔室抽真空的过程中有效的控制颗粒污染，并且在机台状态如腔室状态、真空泵抽速改变的时候同样可以有效的控制颗粒污染。
附图说明
图1为现有抽真空阀门控制装置示意图
图2为本发明的抽真空阀门控制装置示意图
图中：1、旁路阀；2、隔离阀；3、阀门控制单元CPU；4、真空开关；5、真空泵；6、腔室。
具体实施方式
以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由各项权利要求限定。
一种抽真空阀门控制装置，使用6LVV-DPFR4-C型旁路阀1、LPJ1-40型号隔离阀2和CPCI3700A工控机作阀门控制单元3，旁路阀2和隔离阀3并联在真空泵型号5和被抽真空腔室6之间，阀门控制单元3控制阀门1、2的关闭，还设有一个真空开关4，真空开关4检测被抽真空腔室5的压力，并比较阀门开闭压力标准值，根据比较结果发送打开/关闭旁路阀1和/或隔离阀2的开关触点信号给阀门控制单元3，阀门控制单元3收到开关触点信号后，再确定开闭时间并控制旁路阀1和/或隔离阀2的开闭。
Claims (4)
1、一种抽真空阀门控制装置，包括旁路阀(1)、隔离阀(2)、阀门控制单元(3)，旁路阀(1)和隔离阀(2)并联在真空泵(5)和被抽真空腔室(6)之间，阀门控制单元(3)控制旁路阀(1)、隔离阀(2)的开闭，其特征在于，还设有一个真空开关(4)，真空开关(4)检测被抽真空腔室(6)的状态，并将检测信号传送给阀门控制单元(3)，阀门控制单元(3)根据检测信号控制旁路阀(1)和/或隔离阀(2)的开闭。
2、如权利要求1所述的抽真空阀门控制装置，其特征在于，所述被抽真空腔室(6)的状态是被抽真空腔室(6)的压力。
3、如权利要求1所述的抽真空阀门控制装置，其特征在于，所述检测信号是旁路阀(1)和/或隔离阀(2)的开关触点信号。
4、如权利要求1所述的抽真空阀门控制装置，其特征在于，所述的阀门控制单元(3)是计算机或CPU。
Priority Applications (1)
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| CNB2005101262642A CN100498628C (zh) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 一种抽真空阀门控制装置 |
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| CNB2005101262642A CN100498628C (zh) | 2005-12-02 | 2005-12-02 | 一种抽真空阀门控制装置 |
Publications (2)
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| CN1851599A true CN1851599A (zh) | 2006-10-25 |
| CN100498628C CN100498628C (zh) | 2009-06-10 |
Family
ID=37133079
Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100498628C (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101451619B (zh) * | 2007-12-04 | 2010-11-03 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 摆阀及等离子体加工装置及其控制反应腔室内压力的方法 |
| CN104101825A (zh) * | 2013-04-08 | 2014-10-15 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种半导体设备的故障排查方法及故障排查装置 |
| CN104626584A (zh) * | 2015-01-26 | 2015-05-20 | 杭州先临三维科技股份有限公司 | 一种刮刀稳压系统及其控制方法 |
| CN108304005A (zh) * | 2017-01-12 | 2018-07-20 | 株式会社岛津制作所 | 阀控制装置 |
-
2005
- 2005-12-02 CN CNB2005101262642A patent/CN100498628C/zh active Active
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| CN100498628C (zh) | 2009-06-10 |
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