CN1797451A - 数据归档管理系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种数据归档管理系统及方法。一个储存装置用以储存归档数据以及至少一个数据简介。归档数据中包括相应于数据简介的至少一个数据项目。一个处理单元传递包括数据简介的一个第一网页至一个客户端计算机,从归档数据中取得数据项目以回应数据预览请求,传递包括数据项目的一个第二网页至客户端计算机,传递数据项目至客户端计算机以回应数据下载请求。本发明所述数据归档管理系统及方法,实现快速、准确的归档,增进了制程效率。
Description
技术领域
此发明是一种半导体数据管理技术,特别是一种关于半导体数据归档管理的方法及系统。
背景技术
于半导体制造过程中,数据库中的文件及记录的数目随时间逐渐累积。为了维持适当的数据库或文件大小,必须为文件及记录作归档作业。然而,这些归档后的数据并不能让客户直接存取。客户通常经由电话或电子邮件(e-mail)询问特定的归档数据。在确认客户拥有存取的权限后,作业人员经由电子邮件、电话或请求申请通知数据管理人员以取得要求的归档数据。另一方面,当客户没有足够的存取权限时,作业人员将回复客户,其所要求的归档数据无法提供。当数据管理人员从归档系统中取得请求的归档数据,接着传递至作业人员。最后,作业人员将请求的归档数据传递至客户。以传统方法来取得归档数据须耗费大量人力,并且严重地阻碍效率。有鉴于此,需要一个半导体数据归档管理的系统及方法,用以增进效率。
发明内容
本发明的目的为提供一种数据归档管理系统,用以管理数据的归档,包括一个储存装置用以储存归档数据以及至少一个数据简介。归档数据包括至少一个数据项目,其中,于完成相关的半导体产品、晶圆或晶圆批次后,将数据项目归档以产生归档数据。数据简介相应于数据项目。一个处理单元传递包括数据简介的第一网页至客户端计算机,数据简介包括数据项目的数据识别码。数据识别码相应于数据项目。从归档数据中取得数据项目以回应带有数据识别码的数据预览请求,传递包括数据项目的第二网页至客户端计算机,并且传递数据项目至客户端计算机以回应带有数据识别码的数据下载请求。
处理单元更可产生一个新历程记录,新历程记录包括数据项目是否已由一个使用者账号所预览或下载的信息,并且储存新历程记录至储存装置。处理单元更可传递一个通知至作业人员,通知中包括数据项目已由一个使用者账号所预览或下载的信息。此通知可透过电子邮件(e-mail)或短信传递至作业人员。处理单元更可决定一个使用者账号是否拥有存取数据项目的权限,并且据以传递相关的数据简介。处理单元更可接收数据项目,以及压缩或封装数据项目至归档数据,数据项目从一个制造机台、一个制造执行系统(manufacturing execution system,MES)、一个管理信息系统(management information system,MIS)或一个测试设备接收而来。
本发明的另提供一种数据归档管理方法。此方法传递包括数据简介的第一网页至客户端计算机。数据简介包括数据项目的数据识别码,并且数据简介相应于数据项目。该方法从归档数据中取得数据项目以回应带有数据识别码的数据预览请求。归档数据包括至少一个数据项目,其中,于完成相关的半导体产品、晶圆或晶圆批次后,将数据项目归档以产生归档数据。该方法传递包括数据项目的第二网页至客户端计算机,并且传递数据项目至客户端计算机以回应带有数据识别码的数据下载请求。
在一些情况下,该方法更可产生一个新历程记录,新历程记录包括数据项目是否已由一个使用者账号所预览或下载的信息,并且储存新历程记录至储存装置。该方法更可传递一个通知至作业人员,通知中包括数据项目已由一个使用者账号所预览或下载的信息,并且此通知可透过电子邮件(e-mail)或短信传递至作业人员。该方法更可决定一个使用者账号是否拥有存取数据项目的权限,以及当侦测到使用者账号拥有存取数据项目的权限时,传递相应于数据项目的数据简介。该方法更可接收数据项目,以及压缩或封装数据项目至归档数据,数据项目可从一个制造机台、一个制造执行系统(manufacturing execution system,MES)、一个管理信息系统(management information system,MIS)或一个测试设备接收而来。
本发明更揭露一种机器可读取储存介质用以储存一个计算机程序,该计算机程序于执行时可实施上述所揭露的数据归档管理的方法。
数据项目可于半导体制造过程中产生。此外,数据项目可为一个半导体制造机台的一个组态文件、栅极描述区域(GridDescription Section,GDS)文件、报价单、订单、出货单、晶圆接受度测试(Wafer Acceptance test,WAT)数据报告或电性针测(circuit probing,CP)测试报告。可将归档数据解压缩或解封装来取得数据项目。数据预览请求以及数据下载请求可与超文本传输通讯协定(hypertext transfer protocol,HTTP)相容。第一网页及第二网页可与超文本标记语言(hypertext markuplanguage,HTML)相容。
本发明所述数据归档管理系统及方法,实现快速、准确的归档,增进了制程效率。
附图说明
图1是表示应用于本发明实施例的半导体数据归档管理系统的系统架构图;
图2是表示依据本发明实施例的计算机的硬件环境架构图;
图3是为依据本发明实施例的数据归档管理方法的方法流程图;
图4为描述本发明实施例的包括数据简介的网页的屏幕画面示意图;
图5是表示依据本发明实施例的数据归档管理的计算机可读取储存介质示意图。
具体实施方式
图1是表示应用于本发明实施例的半导体数据归档管理系统的系统架构图。半导体数据归档管理系统20包含一部客户端计算机21、一个归档系统22以及一个制造机台23,一个制造执行系统(manufacturing execution system,MES)24、一个管理信息系统(management information system,MIS)25以及一个测试机台26。客户端计算机21于一个网络环境下运作(于较佳的情况下为因特网或企业外部因特网)并使用各样的逻辑连接方式连接于归档系统22。归档系统22、制造机台23、制造执行系统24、管理信息系统25以及测试机台26使用各样的逻辑连接方式连接在一个网络环境下运作(于较佳的情况下为因特网或企业外部因特网)。本领域技术人员皆知道,客户端计算机21、归档系统22、制造机台23、制造执行系统24、管理信息系统25以及测试机台26可在不同的网络环境下彼此连接,并且通过各式各样的中继装置在不同的网络环境下进行通讯,像是路由器(routers)、网关(gateways)、无线接取点(access points)、基地台系统(basestation systems)等等。
图2是表示依据本发明实施例的计算机的硬件环境架构图,提供一可让本发明据以实施的简洁且共通的计算机硬件以及作业环境描述,在此环境下,计算机21、22、24与25接于可实施本发明的数据归档管理系统及方法的实施例。图2的硬件环境包含处理单元11、存储器12、储存装置13、输入装置14、输出装15和通讯装置16。基于范纽曼架构(Von Neumann architecture),处理单元11通过总线17连接存储器12、储存装置13、输入装置14、输出装置15及通讯装置16。其或许存在唯一或多个处理单元11,致使计算机的处理器包含一单一中央处理单元(central-processing unit;CPU)、一微处理单位(MPU)或者是关连于平行运算环境(parallel processing environment)的多个处理单元。存储器12于较佳的情况下为动态存取存储器(RAM),但也可包含只读存储器(ROM)或快闪存储器(flash ROM)。存储器12于较佳的情况下储存可由处理单元11执行数据归档管理功能的程序模块。一般而言,程序模块包含常序(routines)、程序(program)、对象(object)、元件(component)等,用以执行特定功能或实作特定抽象数据型态(abstract data type)。除此之外,本领域技术人员也可将本发明实施于其他计算机系统样态(configuration)上,例如,手持式设备(hand-held devices)、多处理器系统、以微处理器为基础或可程序化的消费性电子产品(microprocessor-based or programmable consumerelectronics)、网络计算机、迷你计算机、大型主机以及类似的设备。本发明亦可以实施于分散式运算环境,其运算工作被一连接于通讯网络的远端处理设备所执行。在分散式环境中,程序模块可基于远端存取架构同时存在于本地以及远端储存装置中,而远端存取架构包含分散式元件对象模型(DCOM)、通用对象请求中介架构(CORBA)、网页元件(Web objects)、网络服务(WebServices)或其他类似架构。储存装置13可为一硬盘装置、磁性装置、光盘装置、可携式储存装置或非易失存储器装置(nonvolatile memory drive)。这些装置以及其相关的计算机可读取介质(computer-readable medium)提供计算机可读取指令、数据结构、程序模块、数据简介及归档数据的非易失储存空间(nonvolatile storage)。处理单元11从存储器12或经由一操作人员透过输入装置14接收程序模块,用以执行数据归档管理功能。储存装置13可包括数据库管理系统、对象库管理系统、文件管理系统等等,用以储存各式的数据。
客户端计算机21可装备浏览器(browser)以便于存取归档系统22。网络浏览器为一客户端应用程序,或者于较佳的情况下,为一个整合性作业系统公用程序,用以与归档系统22进行通讯。网络浏览器接收从归档系统22所传出的数据,该数据由归档系统22利用因特网(Internet)来传递,并且该数据通常以超文本标记语言(Hyper Text Markup Language,HTML)、可扩展标记语言(Extensible Markup Language,XML)等等封装于网页中。网络浏览器通常亦支援诸如Java Applets、ActiveX Controls以及Plug-Ins的元件致能提供其它功能。
一或多个晶圆通常被合并成一个“批次”,用以通过一连串制造机台的制程,最后制作成为集成电路。制造机台23通常会在一个指定批次的晶圆上,执行单一一道晶圆制造作业。例如,一个特定的制造机台可于晶圆上执行薄膜(layering)作业、图案化(patterning)作业、掺杂(doping)作业或热处理(heattreatment)作业。每一制造机台根据已定义的程序(例如,已先行决定的一系列步骤或制程配方)执行晶圆制造作业。制造机台23通常储存包含不同批次的大量制程配方的组态文件。该组态文件可传递至归档系统22用以归档。
制造执行系统24可为一个整合计算机系统,代表用以完成制造的方法以及机台。例如,制造执行系统24的最主要功能包括即时收集制造数据、组织及储存制造数据至集中处理的数据库、工作排程管理、制造机台管理以及制程管理。由客户提供的栅极描述区域(The Grid Description Section,GDS)文件亦可储存至集中处理的数据库。范例的制造执行系统包括Promis(美国麻州的Brooks Automation公司所制造)、Workstream(美国加州的应用材料公司所制造)、Poseidon(美国纽约州的国际商业机器公司所制造)以及Mirl-MES(中国台湾的机械产业研究室所制造)。每一个制造执行系统可应用于不同领域,例如,Mirl-MES的应用领域牵涉到封装、液晶显示(liquid crystal displays,LCDs)与印刷电路板(printed circuit boards,PCBs),而Promis、Workstream与Poseidon则使用在集成电路制造与薄膜电晶体液晶显示(thin film transistor LCD,TFT-LCD)等应用领域。诸如此类的制造数据可传递至归档系统22用以归档。
管理信息系统25提供各式的后勤管理功能,诸如半导体制造的订单管理、报价单管理、生产数据管理、生产计划与排程等等。管理信息系统25组织及储存该后勤数据至中央处理的数据库,而后勤数据可为订单、报价单、半导体产品规格等等。产品数据应可包括产品类别(例如产品编号及相关的信息),亦可包括关联于产品类别的一系列生产步骤。诸如此类的后勤数据可传递至归档系统22用以进行归档。
测试机台26可为晶圆接受度测试(Wafer Acceptance Test,WAT)的测试设备或电性针测(circuit probing,CP)测试设备,用以执行各式各样测试作业。在集成电路制造期间,许多测试结构会被制造于晶圆上,有利于取得制程以及设备效能的信息并进行错误分析。在整个制造程序完成后,会进行这些测试结构的电性量测,用以产生晶圆接受度测试数据。在每一个晶圆上,这些测试结构会设置在固定位置上,而超过100个WAT参数会被测试机台26所量测。依据终点的WAT数据的统计分析与流程诊断方法,可提供整体制程效能以及产品良率的评估。诸如此类的WAT数据及统计分析数据可传递至归档系统22用以进行归档。在半导体制造过程中亦会使用电性针测测试方法来取得良率数据。针对特定的半导体产品,使用者或操作人员会提供一个CP测试程序。测试程序中描述一个测试流程,此测试流程中可包括多个测试项目,而这些测试项目通常会以最佳化的方式排列,用以降低CP测试时间。测试机台26会依循事先定义的测试流程循序地探索一个晶圆上的所有晶粒(dies),决定每一个晶粒的良莠。在完成了一整个CP测试后,可得到晶圆、晶圆批次或半导体产品的良率。CP测试结果可载入到多个闸道法则中,用以产生建议报告。每一闸道法则定义当CP测试属性诸如良率、好晶粒数量、可修复晶粒数量等等满足一个特定条件,或CP测试属性的数学运算结果满足一个特定条件时,决定出半导体元件、晶粒、晶圆、晶圆批次或半导体产品的一个最终建议,例如接受(accept)、报废(scrap)、扣留以待分析(hold for analysis)等等。诸如此类的WAT数据、CP测试结果或建议报告可传递至归档系统22用以进行归档。
本发明实施例的归档系统22从制造机台23、制造执行系统24、管理信息系统25或测试机台26中接收数据项目,诸如GDS文件、组态文件、制造数据、后勤数据、WAT数据、CP测试结果等等。于一些情况下,接收到的数据项目更可使用各样的压缩演算法进行压缩用以减少数据大小,并且将压缩后的数据项目储存为归档数据并储存在储存装置13中。于一些情况下,接收到的数据项目可透过打包应用程序将多个数据项目打包在一起,并且将打包后的结果储存为归档数据并储存在储存装置13中。于一些情况下,归档系统22可根据接收到的数据项目产生汇总报告,诸如周报告、月报告、产品良率报告等,并且该汇总报告可储存为归档数据并储存在储存装置13中。数据简介则包括归档日期、产品完成日期、数据型态、简要描述、文件大小及其它信息,每一项的数据简介都关联于一个数据项目并且储存在储存装置13中。这些数据简介可储存在数据库管理系统(database management system,DBMS)中之一或多个相关联的数据表、相容于统一建模语言(Unified Modeling Language,UML)的对象库管理系统中之一或多个数据对象、或一或多个文字文件。归档系统22可提供一图形化使用者界面(graphical user interface,GUI)用以促进数据简介的产生,诸如新增一个新数据简介、删除一个数据简介、修改数据简介的内容。
本发明实施例的归档系统于较佳的情况下包括一个由处理单元11所执行的网站服务器。网站服务器包括各式各样网页,用以回应由客户端计算机21所传出的归档数据的取得请求。一般而言,网站服务器所提供的信息是以网页呈现,其格式一般来说可为超文本标记语言(HyperText mark-up language,HTML)格式,此为一种以文字为基础的格式,用以指示计算机如何显示个别网页,网页中通常提供ASCII格式的文字内容与压缩后的图形信息,诸如“GIF”或“JPEG”图形等。该超文本标记语言中可包括多个脚本指令(例如JavaScript,Visual Basic Scripts,ActiveServer Page Scripts等等)以执行数据归档管理功能。
数据归档管理方法的实施例由一个网站服务器所执行,于较佳的情况下实施于一或多个网页、商业对象(business object)或数据对象(data object)。图3是为依据本发明实施例的数据归档管理方法的方法流程图。如步骤S311,接收一个包括使用者账号及密码的登入请求,该登入请求于较佳的情况下使用HTTP请求来实施。如步骤S312,透过侦测使用者账号是否存在以及相应于使用者账号的密码是否正确,决定登入请求是否拥有权限,若是,则流程进行至步骤S321,若否,则流程进行至步骤S311。如步骤S321,接收包括相关参数的数据取得请求,该数据取得请求于较佳的情况下使用HTTP请求来实施。如步骤S322,决定数据取得的请求型态。若请求型态为数据查询请求(data query request),则流程进行至步骤S331,若请求型态为数据预览请求(datapreview request),则流程进行至步骤S341,另外,若请求型态为数据下载请求(data download request),则流程进行至步骤S351。
如步骤S331,取得相应于数据查询请求的至少一个数据简介。数据查询请求中可提供查询信息,查询信息一般而言可存在于HTTP查询字符串(HTTP query string)中、HTML页面对象(HTML form object)中或其他数据格式中,查询信息包含特定查询条件。例如,特定查询条件可包括半导体产品编码、晶圆批次编码、一段期间、订单编码、报价单编码或以上的组合。相应于查询信息的数据简介取得可透过执行至少一个ANSI SQL查询、对象方法、文件操作指令或以上方法的组合。此步骤可更检验使用者存取相应于取得数据简介的数据项目权限,并且当使用者账号无法存取相应的数据项目时,此数据简介将被移除。如步骤S332,包括数据简介的网页,一般而言为HTML格式,传递至客户端计算机21。致使客户端计算机21可透过浏览器显示此网页。如步骤S333,产生相应于数据查询请求的新历程记录(log)并且储存至一个历程记录文件、历程记录数据库或历程记录对象中。该新历程记录亦可包括其他信息,诸如使用者账号、查询日期、查询时间等等。如步骤S334,透过电子邮件、短信等等,传递一个通知至操作人员,例如联络窗口作业人员(contact window)或数据管理人员,此通知的内容包括一使用者账号已取得特定数据简介的信息。
图4为描述本发明实施例的包括数据简介的网页的屏幕画面示意图。如客户端计算机21的浏览器所示的网页40,包括五笔数据简介以及一个按钮B1,并且每一笔数据简介包括数据型态、数据识别码以及建立日期。网页画面中提供关连于数据识别码的超链接对象H1到H5。网页画面中的数据识别码亦提供勾选盒对象C1到C5。当点击一个超链接时,带有相应的数据识别码的数据预览请求(一般而言为HTTP格式)将传递至归档系统22中的网站服务器。当选择至少一个勾选盒并且点击按钮B1,带有被选择的数据识别码的数据下载请求(一般而言为HTTP格式)将传递至归档系统22中的网站服务器。
参考图3,如步骤S341,取得相应于数据预览请求的数据。数据预览请求中可提供预览信息,预览信息中包含欲预览的数据项目,一般而言此信息可存在于HTTP查询字符串或HTML页面对象中。例如,预览信息描述相应于特定订单、报价单、WAT数据报告、CP测试报告、组态文件等等的数据识别码。于传递预览数据前,若预览数据已打包或压缩于归档数据中,可进行解压缩或解封装(unpack)。相应于预览信息的数据取得可透过执行至少一个相关的ANSI SQL查询、对象方法、文件操作指令或以上的组合。如步骤S342,包含预览数据的网页(一般而言为HTML格式)传递至客户端计算机21,并且透过内建的浏览器显示于客户端计算机21。如步骤S343,产生相应于数据预览请求的新历程记录并且储存至一个历程记录文件、历程记录数据库或历程记录对象中。该新历程记录亦可包括其他信息,诸如使用者账号、预览日期、时间等等。如步骤S344,透过电子邮件、短信等等,传递一个通知至操作人员,例如联络窗口作业人员(contact window)或数据管理人员,此通知的内容包含一使用者账号已取得特定预览数据的信息。
如步骤S351,取得相应于数据下载请求的数据。数据下载请求中可提供下载信息,下载数据中包含欲下载的数据项目,一般而言此信息可存在于HTTP查询字符串或HTML页面对象中。例如,下载信息描述相应于订单、报价单、WAT数据报告、CP测试报告、组态文件等等的数据识别码。于传递下载数据前,若下载数据已封装或压缩于归档数据中,可进行解压缩或解封装。相应于下载信息的数据取得可透过执行至少一个相关的ANSI SQL查询、对象方法、文件操作指令或以上的组合。原始的下载数据更可输出为各种型态的文件以便于下载,诸如“.gif”、“.jpg”、“.rpt”、“.txt”、“.exp”、“.gds”等等。如步骤S352,传递相应于数据下载请求的至少一个文件至客户端计算机21。如步骤S353,产生相应于数据下载请求的新历程记录并且储存至一个历程记录文件、历程记录数据库或历程记录对象中。该新历程记录亦可包括其他信息,诸如使用者账号、下载日期、时间等等。如步骤S354,透过电子邮件、短信等等,传递一个通知至操作人员,例如联络窗口作业人员(contact window)或数据管理人员,此通知内容包含一使用者账号已下载特定数据的信息。
本发明实施例另揭露一用以储存计算机程序520的储存介质。图5是表示依据本发明实施例的数据归档管理的计算机可读取储存介质示意图。此计算机程序520可被载入并执行数据归档管理方法。此计算机程序产品包括一个可使用于计算机系统中并含有计算机可读取程序逻辑的储存介质50。计算机可读取程序逻辑包含接收登入请求或数据取得请求逻辑521、决定登入请求是否拥有权限逻辑522、决定数据取得型态逻辑523、取得欲预览或下载的数据简介或数据项目逻辑524、传递数据简介或数据项目逻辑525、新增历程记录逻辑526以及传递通知至操作人员逻辑527。
虽然本发明已通过较佳实施例说明如上,但该较佳实施例并非用以限定本发明。本领域的技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,应有能力对该较佳实施例做出各种更改和补充,因此本发明的保护范围以权利要求书的范围为准。
附图中符号的简单说明如下:
11:处理单元
12:存储器
13:储存装置
14:输入装置
15:显示装置
16:通讯装置
17:总线
20:半导体数据归档管理系统
21:客户端计算机
22:归档系统
23:制造机台
24:制造执行系统
25:管理信息系统
26:测试机台
S311、S312、...、S353、S354:方法流程步骤
40:网页
B1:按钮
C1、...、C5:勾选盒对象
H1、...、H5:超链接对象
50:储存介质
520:数据归档管理计算机程序
521:接收登入请求或数据取得请求逻辑
522:决定登入请求是否拥有权限逻辑
523:决定数据取得型态逻辑
524:取得欲预览或下载的数据简介或数据项目逻辑
525:传递数据简介或数据项目逻辑
526:新增历程记录逻辑
527:传递通知至操作人员逻辑
Claims (13)
1.一种数据归档管理系统,所述数据归档管理系统包括:
一个储存装置,用以储存归档数据以及至少一个数据简介,上述归档数据包括至少一个数据项目,并且上述数据简介相应于上述数据项目,其中,于完成一个相关的半导体产品、晶圆或晶圆批次后,将上述数据项目归档以产生上述归档数据;以及
一个处理单元,传递包括上述数据简介的一个第一网页至一个客户端计算机,上述数据简介包括上述数据项目的一个数据识别码,从上述归档数据中取得上述数据项目以回应带有上述数据识别码的一个数据预览请求,传递包括上述数据项目的一个第二网页至上述客户端计算机,以及传递上述数据项目至上述客户端计算机以回应带有上述数据识别码的一个数据下载请求。
2.根据权利要求1所述的数据归档管理系统,其特征在于,上述数据项目于半导体制造过程中产生。
3.根据权利要求2所述的数据归档管理系统,其特征在于,上述数据项目为一个半导体制造机台的一个组态文件、栅极描述区域文件、报价单、订单、出货单、晶圆接受度测试数据报告或电性针测测试报告。
4.根据权利要求1所述的数据归档管理系统,其特征在于,于取得数据项目时,将上述归档数据解压缩或解封装。
5.根据权利要求1所述的数据归档管理系统,其特征在于,上述处理单元更决定一个使用者账号是否拥有存取上述数据项目的权限,以及当侦测到上述使用者账户拥有存取上述数据项目的权限时,传递相应于上述数据项目的上述数据简介。
6.根据权利要求1所述的数据归档管理系统,其特征在于,上述处理单元接收上述数据项目,压缩或封装上述数据项目至上述归档数据,其中上述数据项目从一个制造机台、一个制造执行系统、一个管理信息系统或一个测试设备接收而来。
7.根据权利要求1所述的数据归档管理系统,其特征在于,上述数据预览请求以及上述数据下载请求与超文本传输通讯协定相容。
8.根据权利要求1所述的数据归档管理系统,其特征在于,上述第一网页及上述第二网页与超文本标记语言相容。
9.一种数据归档管理方法,上述方法包括使用一部计算机,其步骤包括:
传递包括一个数据简介的一个第一网页至一个客户端计算机,上述数据简介包括一个数据项目的一个数据识别码,并且上述数据简介相应于上述数据项目;
从上述归档数据中取得上述数据项目以回应带有上述数据识别码的一个数据预览请求,上述归档数据包括至少上述数据项目,并于完成一个相关的半导体产品、晶圆或晶圆批次后,将上述数据项目归档以产生上述归档数据;
传递包括上述数据项目的一个第二网页至上述客户端计算机;以及
传递上述数据项目至上述客户端计算机以回应带有上述数据识别码的一个数据下载请求。
10.根据权利要求9所述的数据归档管理方法,其特征在于,更包括下列步骤:
产生一个新历程记录,上述新历程记录包括上述数据项目是否已由一个使用者账号所预览或下载的信息;以及
储存上述新历程记录至一个储存装置。
11.根据权利要求9所述的数据归档管理方法,其特征在于,更包括一个步骤为传递一个通知至一个作业人员,上述通知包括上述数据项目已由一个使用者账号所预览或下载的信息。
12.根据权利要求9所述的数据归档管理方法,其特征在于,上述通知透过电子邮件或短信传递至上述作业人员。
13.根据权利要求9所述的数据归档管理方法,其特征在于,更包括下列步骤:
决定一个使用者账号是否拥有存取上述数据项目的权限;以及
当上述使用者账户拥有存取上述数据项目的权限时,传递相应于上述数据项目的上述数据简介。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102638481A (zh) * | 2011-02-15 | 2012-08-15 | 英大传媒投资集团有限公司 | 影音资料远程归档系统及其方法 |
CN106293995A (zh) * | 2015-05-15 | 2017-01-04 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 制造执行系统的数据备份系统及方法 |
CN110059837A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-26 | 安徽德宾信息科技有限公司 | 一种设备点检管理系统 |
TWI699638B (zh) * | 2018-12-25 | 2020-07-21 | 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 | 資料收集再現系統 |
CN113220635A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-08-06 | 深圳市星火数控技术有限公司 | 文件归档方法、装置、设备与计算机可读存储介质 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7237160B2 (en) * | 2004-10-13 | 2007-06-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor test management system and method |
US7580924B1 (en) * | 2005-07-28 | 2009-08-25 | Xilinx, Inc. | Method and system for collection, analysis, and display of semiconductor manufacturing information |
US7739305B1 (en) * | 2005-07-28 | 2010-06-15 | Xilinx, Inc. | Network appliance for data collection and processing from multiple locations and data schema therefor |
US7895207B2 (en) * | 2007-04-09 | 2011-02-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing system and data retrieval method |
US20090005888A1 (en) * | 2007-06-29 | 2009-01-01 | Patel Nital S | Configurable advanced process control |
US8341277B2 (en) * | 2007-07-03 | 2012-12-25 | International Business Machines Corporation | System and method for connecting closed, secure production network |
US7930414B2 (en) * | 2008-01-08 | 2011-04-19 | International Business Machines Corporation | System and method for communicating with tools in a closed, secure production network |
US7523433B1 (en) | 2008-03-31 | 2009-04-21 | International Business Machines Corporation | System and method for automated analysis and hierarchical graphical presentation of application results |
US8260813B2 (en) * | 2009-12-04 | 2012-09-04 | International Business Machines Corporation | Flexible data archival using a model-driven approach |
CN108430092A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-08-21 | 上海连尚网络科技有限公司 | 获取、提供无线接入点接入信息的方法、设备以及介质 |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5625816A (en) * | 1994-04-05 | 1997-04-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system for generating product performance history |
US20060287783A1 (en) * | 1998-01-15 | 2006-12-21 | Kline & Walker Llc | Automated accounting system that values, controls, records and bills the uses of equipment/vehicles for society |
US6240427B1 (en) * | 1999-01-05 | 2001-05-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for archiving and deleting large data sets |
US6078933A (en) * | 1999-01-05 | 2000-06-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for parallel processing for archiving and retrieval of data |
US6427149B1 (en) * | 1999-09-09 | 2002-07-30 | Herman Rodriguez | Remote access of archived compressed data files |
US6266679B1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-07-24 | Amd. Inc. | Method and apparatus for hierarchical storage of data for efficient archiving and retrieval of data |
WO2001093655A2 (en) * | 2000-06-05 | 2001-12-13 | Shiman Associates, Inc. | Method and apparatus for managing documents in a centralized document repository system |
US20020002560A1 (en) * | 2000-06-30 | 2002-01-03 | Snehanshu Shah | Method and system for collecting diverse data types within a manufacturing environment and accessing the diverse data types through a network portal |
US6526545B1 (en) * | 2000-08-07 | 2003-02-25 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Method for generating wafer testing program |
US7250950B2 (en) * | 2001-01-29 | 2007-07-31 | Symyx Technologies, Inc. | Systems, methods and computer program products for determining parameters for chemical synthesis |
US20020143725A1 (en) * | 2001-01-29 | 2002-10-03 | Smith Robin Young | Systems, methods and computer program products for determining parameters for chemical synthesis and for supplying the reagents, equipment and/or chemicals synthesized thereby |
US7136882B2 (en) * | 2001-07-31 | 2006-11-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Storage device manager |
EP1283477A1 (en) * | 2001-08-07 | 2003-02-12 | Sap Ag | Method and computer system for identifying objects for archiving |
CA2480202A1 (en) * | 2002-04-10 | 2003-10-23 | Transtech Pharma, Inc. | System and method for data analysis, manipulation, and visualization |
CA2391717A1 (en) * | 2002-06-26 | 2003-12-26 | Ibm Canada Limited-Ibm Canada Limitee | Transferring data and storing metadata across a network |
DE60335268D1 (de) * | 2002-08-20 | 2011-01-20 | Tokyo Electron Ltd | Verfahren zum verarbeiten von daten auf der basis des datenkontexts |
US7117057B1 (en) * | 2002-09-10 | 2006-10-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. | Yield patrolling system |
EP1546827A1 (en) * | 2002-09-30 | 2005-06-29 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for the monitoring and control of a semiconductor manufacturing process |
US20040267644A1 (en) * | 2003-06-27 | 2004-12-30 | Richard Feco | Computer-implemented method and system for accessing, processing, and outputting data |
US7474933B2 (en) * | 2003-07-14 | 2009-01-06 | Esilicon Corporation | System and method for automating integration of semiconductor work in process updates |
US7028276B2 (en) * | 2003-09-10 | 2006-04-11 | Lsi Logic Corporation | First time silicon and proto test cell notification |
JP2005107878A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Toshiba Corp | 半導体プロセス技術情報の提供システム、提供方法、及び購入方法 |
US20050216506A1 (en) * | 2004-03-25 | 2005-09-29 | Wolfgang Theilmann | Versioning electronic learning objects using project objects |
US7647132B2 (en) * | 2004-05-05 | 2010-01-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method and system for problem case packaging |
US7089072B2 (en) * | 2004-05-26 | 2006-08-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor manufacturing fault detection and management system and method |
US20050283498A1 (en) * | 2004-06-22 | 2005-12-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method to build, retrieve and track information in a knowledge database for trouble shooting purposes |
US7346883B2 (en) * | 2004-07-09 | 2008-03-18 | Kla-Tencor Technologies Corporation | System and method for integrated data transfer, archiving and purging of semiconductor wafer data |
US7237160B2 (en) * | 2004-10-13 | 2007-06-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor test management system and method |
US7242995B1 (en) * | 2004-10-25 | 2007-07-10 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | E-manufacturing in semiconductor and microelectronics processes |
US20060100844A1 (en) * | 2004-11-08 | 2006-05-11 | Keng-Chia Yang | Test time forecast system and method thereof |
US20070135956A1 (en) * | 2005-12-13 | 2007-06-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Data location systems and methods |
-
2004
- 2004-12-28 US US11/023,900 patent/US20060143244A1/en not_active Abandoned
-
2005
- 2005-12-20 TW TW094145284A patent/TW200622732A/zh unknown
- 2005-12-28 CN CNA2005101354108A patent/CN1797451A/zh active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102638481A (zh) * | 2011-02-15 | 2012-08-15 | 英大传媒投资集团有限公司 | 影音资料远程归档系统及其方法 |
CN102638481B (zh) * | 2011-02-15 | 2017-04-05 | 英大传媒投资集团有限公司 | 影音资料远程归档系统及其方法 |
CN106293995A (zh) * | 2015-05-15 | 2017-01-04 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 制造执行系统的数据备份系统及方法 |
CN106293995B (zh) * | 2015-05-15 | 2019-07-02 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 制造执行系统的数据备份系统及方法 |
TWI699638B (zh) * | 2018-12-25 | 2020-07-21 | 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 | 資料收集再現系統 |
CN110059837A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-26 | 安徽德宾信息科技有限公司 | 一种设备点检管理系统 |
CN113220635A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-08-06 | 深圳市星火数控技术有限公司 | 文件归档方法、装置、设备与计算机可读存储介质 |
CN113220635B (zh) * | 2021-05-11 | 2022-02-15 | 深圳市星火数控技术有限公司 | 文件归档方法、装置、设备与计算机可读存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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