CN1795368B - 用于传感器的装置及制造用于传感器的装置的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及具有至少一个壳体及一个与该壳体连接的底部的装置。在此，该壳体具有一个壳体壁，该底部具有至少一个管座。此外还提出，管座具有一个可预给定的边缘。本发明的核心则在于：管座的边缘具有至少两个区域，其中第一区域位于离壳体壁较近处及第二区域位于离壳体壁较远处。

Description

用于传感器的装置及制造用于传感器的装置的方法
技术领域
本发明涉及一种用于传感器的装置及用于制造用于传感器的装置的方法，在该装置中至少一个壳体及一个与该壳体连接的底部被这样构造，使得该壳体具有一个壳壁，且壳体底部具有一个管座。
背景技术
由专利文献DE 199 19 112 A1已公开了一种装置，在该装置中一个带有管座的压力传感器被设置在压力传感器壳体中。
发明内容
本发明涉及一种用于传感器的、具有至少一个壳体及一个与该壳体连接的底部的微型机械装置。在此，该壳体具有一个壳体壁，该底部具有至少一个管座。此外还提出，管座具有一个可预给定地构造的边缘。本发明的核心则在于：管座的靠近壳体壁的边缘被这样地构造，使得管座的边缘具有至少两个区域，其中边缘的第一区域位于离壳体壁较近处，及边缘的第二区域位于离壳体壁较远处。
按照本发明，还提出了一种用于制造一个装置、尤其是根据上述方案的装置的方法，该装置具有至少：一个壳体及一个底部，其中壳体具有一个壳体壁，及底部具有至少一个管座，及管座具有一个边缘，其中：管座的靠近壳体壁的边缘被这样地构造，使得管座的边缘具有至少两个区域，其中边缘的第一区域位于离壳体壁较近处，及边缘的第二区域位于离壳体壁较远处。
特别有利的是，管座的边缘交替地由第一区域及第二区域构成。在此特别提出：在管座上具有各8个第一区域及第二区域。在本发明的另一个构型中还提出：这些区域例如相对管座中心对称地在边缘上分布地布置。
根据本发明，第一区域由管座的边缘上的棱边、角、角区或尖部构成。与此相对地，第二区域是管座的边缘上的相对壳体壁的平的面或被弯曲的面。
在本发明的一个优选构型中提出：在壳体壁与管座之间仅在一个区域中发生接触。这例如可这样来实现，即仅第一区域具有接触部分。此外也可以是：并非管座上的每个第一区域具有对壳体壁的接触。此外可考虑，管座被构造成对中管座，由此可实现壳体在壳体底部上的对中。除了壳体壁与管座之间的电接触外还可考虑热接触。
在壳体底部上管座的构型中可有利地提出：至少在管座与壳体壁之间的第二区域中具有一个空隙。在本发明的一个特殊的构型中，在该空隙中设置有填充材料，该填充材料完全填充该空隙。此外提出，管座的边缘与壳体壁之间的空隙用填充材料至少部分地填充。此外还提出，使用一种钝化材料(Passivierungsstoff)作填充材料。
特别有利的是，管座的边缘的第一区域及第二区域被这样地构造，使得管座的边缘与壳体壁之间的构造成填充区域的空隙的填充达到在填充材料中封入最小限度的空气腔和/或空腔。在此情况下，管座的边缘的第一及第二区域的构型可通过这两个区域的延展来改变。封入最小限度的空气腔和/或空腔的另一个可能性在于，对第一及第二区域的顺序彼此相应地调整。
根据本发明提出，填充材料在管座的边缘与壳体壁之间被施加至少到管座的高度上。此外可考虑，管座的上侧的部分被填充材料覆盖。这例如可有利地用于固定传感器部件的接触部分。
在本发明的一个进一步构型中，底部具有至少一个传感器部件，该传感器部件检测一个工作参量，该工作参量至少代表一个与该传感器部件相邻的介质的工作参数和/或该传感器部件的一个状态参数。这里特别提出，传感器部件位于管座的区域中。如果检测一个介质的工作参数，则可考虑，该传感器部件置于该介质中。因此可检测该介质的压力和/或压力差和/或温度和/或密度和/或流动速度。如果该传感器部件应检测状态参量，则不是绝对需要与包围该传感器部件的介质直接地接触。因此，状态参量如速度和/或加速度和/或转动运动和/或驶偏运动(Gierbewegung)可直接由该传感器部件检测。
由下面的实施例说明可得到其它优点。
附图说明
图1一个用于接收一个微型机械部件的壳体形式的传统的管座的俯视图；
图2根据本发明变型的管座的俯视图；
图3壳体、与壳体连接的底部及管座的一个横截面。
具体实施方式
下面将借助附图来说明一个实施例，在该实施例中体现了一个壳体形式的根据本发明构型的管座的优点。典型地，这种壳体形式用作传感器的壳体。
图1中可看到一个传统的管座4的俯视图，该管座位于一个壳体底部2上。传感器部件3在此支撑在管座4的中心。传感器部件3的电接触通过一些穿过管座4的管脚7来进行。壳体盖1的对中在管座边缘8上环绕地进行。
图3中示出了壳体盖1、壳体底部2及管座4的一个横截面9。这里可看到，壳体盖1与壳体底部2相连接。壳体盖1在壳体底部2上的对中通过在壳体底部2的管座4上引导壳体壁来进行。由于制造壳体盖1及管座4时的公差，壳体壁与管座4之间的距离在管座边缘的整个延伸上可得到不均匀的宽度。但不是如图1所示地绝对必要地使壳体壁在整个管座边缘上具有与管座4的接触。根据本发明，为了实现对中，在管座8与壳体壁之间需要仅少数几个接触点即可，如图2中一个8角管座4的例子所示。
在根据图2的本发明的一个特别的实施形式中，管座4的边缘这样地构造，使得第一区域A位于离壳体壁较近处，而第二区域B位于离壳体壁较远处。在图2中，这些第一区域A被构造成管座4中的角，其中也可考虑第一区域A的其它构型。在此情况下，壳体盖1的对中通过所选择的在第一区域A中的一些接触点来进行。与图1相比，在图2中明显可看出，在第一区域A中的这些接触点之间出现了壳体壁与管座4之间的一些确定的自由容积。这些自由容积使得在边缘与壳体壁之间的空隙中填入填充材料变得容易。
如图3中的横截面9进一步示出的，在壳体盖与壳体底部连接时在壳体壁与管座4或壳体底部2之间形成了一些槽5及6。如果例如为了稳定壳体盖1与壳体底部2的连接而施加一种填充材料，则在根据图1的管座4的构型中在形成这些槽5及6的情况下不可避免地封入空气腔和/或空腔。但如果根据本发明按照图2构造管座4，则例如由上面被施加在壳体壁与管座4或壳体底部2之间的填充材料也可到达这些位置，其方式是这些否则由上面不可接近的槽5从侧面被填充。
适合作为在其中可应用根据本发明构型的管座4的传感器类型的有：压力传感器、热传感器、质量流传感器，并还有加速度传感器、驶偏率传感器(Gierratensensoren)或转速传感器。因为视传感器类型而定，传感器部件3必须直接地接触到包围传感器的介质，所以在壳体盖1中可设置一个相应的孔。

Claims (18)

1.一种用于传感器的装置，具有至少：
-一个壳体(1)及
-一个与该壳体(1)连接的底部(2)，
其中
-壳体(1)具有一个壳体壁，及
-底部(2)具有至少一个管座(4)，及
-管座(4)具有一个边缘，
其特征在于：管座的靠近壳体壁的边缘被这样地构造，使得管座(4)的边缘具有至少两个区域，其中：
-边缘的第一区域(A)位于离壳体壁较近处，及
-边缘的第二区域(B)位于离壳体壁较远处。
2.根据权利要求1所述的用于传感器的装置，其特征在于：管座(4)的边缘交替地由第一区域(A)及第二区域(B)构成。
3.根据权利要求1所述的用于传感器的装置，其特征在于：
-第一区域(A)是：
-棱边，
-角，
-角区，或
-尖部，
和/或
-第二区域(B)是管座(4)的边缘上的相对壳体壁的：
-平的面，或
-被弯曲的面。
4.根据权利要求1所述的用于传感器的装置，其特征在于：在壳体壁与管座(4)之间仅在至少一个第一区域(A)中发生直接接触。
5.根据权利要求1所述的用于传感器的装置，其特征在于：至少在管座与壳体壁之间的第二区域中具有一个填充区域。
6.根据权利要求5所述的用于传感器的装置，其特征在于：
-管座(4)的边缘的第一区域(A)及第二区域(B)被这样地构造，和/或
-第一区域(A)及第二区域(B)的顺序被这样地选择，
使得管座(4)的边缘与壳体壁之间的填充区域的填充物具有最小限度的空气腔和/或空腔的封入。
7.根据权利要求5所述的用于传感器的装置，其特征在于：填充材料至少部分地覆盖管座(4)。
8.根据权利要求1所述的用于传感器的装置，其特征在于：底部(2)具有一个传感器部件(3)，该传感器部件检测一个工作参量，该工作参量至少代表：
-一个与该传感器部件(3)相邻的介质的工作参数，和/或
-传感器部件(3)的一个状态参数。
9.根据权利要求2所述的用于传感器的装置，其特征在于：管座(4)的边缘具有8个第一区域(A)及8个第二区域(B)，和/或
这些区域相对管座中心对称地被设置在管座(4)的边缘上。
10.根据权利要求4所述的用于传感器的装置，其特征在于：管座(4)被构造成对中管座。
11.根据权利要求5所述的用于传感器的装置，其特征在于：至少该填充区域用填充材料填充。
12.根据权利要求11所述的用于传感器的装置，其特征在于：该填充材料是一种钝化材料。
13.根据权利要求7所述的用于传感器的装置，其特征在于：填充材料通过覆盖管座(4)的边缘也覆盖了管座(4)的上侧的部分。
14.根据权利要求8所述的用于传感器的装置，其特征在于：作为工作参数设置有：
-压力，和/或
-压力差，和/或
-温度，和/或
-密度，和/或
-流动速度，
及作为状态参量设置有：
-速度，和/或
-加速度，和/或
-转动运动，和/或
-驶偏运动。
15.用于制造一个用于传感器的装置的方法，该装置具有至少：
-一个壳体(1)及
-一个底部(2)，
其中：
-壳体(1)具有一个壳体壁，及
-底部(2)具有至少一个管座(4)，及
-管座(4)具有一个边缘，
其特征在于：管座的靠近壳体壁的边缘被这样地构造，使得管座(4)的边缘具有至少两个区域，其中
-边缘的第一区域(A)位于离壳体壁较近处，及
-边缘的第二区域(B)位于离壳体壁较远处。
16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于：至少在管座(4)与壳体壁之间的第二区域(B)中具有一个填充区域。
17.根据权利要求15所述的方法，其特征在于：
-管座(4)的边缘的第一区域(A)及第二区域(B)被这样地构造，和/或
-第一区域(A)及第二区域(B)的顺序被这样地选择，
使得管座(4)的边缘与壳体壁之间的填充区域的填充达到空气腔和/或空腔的最小限度的封入。
18.根据权利要求16所述的方法，其特征在于：至少该填充区域用一种填充材料来填充，其中，该填充材料是一种钝化材料。
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