CN1790587A - 场发射阴极 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种场发射阴极,涉及平面显示器的场发射阴极的技术领域;它包括自下而上顺序排列的基板玻璃、下电极、绝缘层、电子传输层、上电极,该绝缘层为由一层以上的介质绝缘薄膜组成的复合绝缘层;介质绝缘薄膜采用五氧化二钽、三氧化二铝、二氧化铪、二氧化锆、钛酸锶钡、钛酸铅、氧化钇等非晶态薄膜;介质绝缘薄膜根据各自的特点采用蒸发、溅射、溶胶-凝胶、气相沉积等不同工艺的成膜方式;该上电极可以是单层金属或半导体薄膜结构,也可以是双层薄膜结构;本发明的场发射阴极的发射电流大,适合于在高亮度场发射平板显示器件应用;本发明的场发射阴极中采用复合非晶态薄膜,其击穿场强较高,使用寿命较长。
Description
技术领域
本发明属于真空平面电子发射型显示器件的技术领域,特别涉及一种平面型场发射阴极的技术领域。
背景技术
场发射阴极包括微尖型、金刚石薄膜型、碳纳米管型、金属-绝缘层-金属型和金属-绝缘层-半导体层-金属型等结构。其中与本发明较为接近的是MISM结构。
在现有技术中的各种MISM结构中,金属下电极一般采用铝、镍、钼等,上电极采用金、铂、铝等,绝缘层采用五氧化二钽或三氧化二铝,半导体层一般采用硫化锌;在上述结构中,半导体层的作用是增加电子在其中的动能,以期达到较大的电子发射。这就要求绝缘层必须有较大的介电常数和相当强的击穿场强,才能把足够大的能量施加在电子上,使电子获得相当的能量,在经过散射之后仍能越过表面势垒穿过上电极成为发射电子;而目前的单层绝缘层结构介电常数较小、击穿场强较弱,很难把足够大的能量施加在电子上,使场发射阴极产生足够的发射电流。
发明内容
针对上述现有技术中存在的缺点,本发明所要解决的技术问题是提供一种能克服已有MIM和MISM阴极的缺点,达到满足大屏幕平板显示器件所需要的发射电流,同时具有较低的器件电容,较长的使用寿命,以适应平板显示器件的要求的场发射阴极。
为了解决上述技术问题,根据本发明的一个技术方案,提供的一种场发射阴极,它包括自下而上顺序排列的基板玻璃、下电极、绝缘层、电子传输层、上电极,其特征在于,所述的绝缘层为复合绝缘层,是由一层以上的介质绝缘薄膜复合而成,即由一层以上的介电常数、击穿场强各优的介质绝缘薄膜组成;介质绝缘薄膜采用五氧化二钽、三氧化二铝、二氧化铪、二氧化锆、钛酸锶钡、钛酸铅、氧化钇等薄膜;介质绝缘薄膜根据各自的特点可以采用蒸发、溅射、溶胶-凝胶、气相沉积等不同工艺的成膜方式;所述的复合绝缘层综合了各层薄膜的优势,根据各层薄膜电学性能的优劣复合成既有大的介电常数,又有高的电场击穿强度的复合绝缘层;所述的上电极可以是单层金属或半导体薄膜结构,也可以是双层薄膜结构;其中双层薄膜结构可以是金属-金属结构,其中下层金属的功函数高于上层金属的功函数;双层薄膜结构也可以是金属-半导体结构,其中下层金属的功函数高于上层半导体的功函数;双层薄膜结构还可以是半导体-半导体结构,其中下层半导体的功函数高于上层半导体的功函数;所述的上电极的下层是指上电极与电子传输层连接的薄膜层;所述的玻璃基板为带有二氧化硅、三氧化二铝或氮化硅等薄膜的离子隔离层的平板玻璃。
为了解决上述技术问题,根据本发明的另一个技术方案,提供的一种场发射阴极,它包括自下而上顺序排列的基板玻璃、下电极、绝缘层、电子传输层、上电极,其特征在于,所述的上电极可以是单层金属或半导体薄膜结构,也可以是双层薄膜结构;其中双层薄膜结构可以是金属-金属结构,其中下层金属的功函数高于上层金属的功函数;双层薄膜结构也可以是金属-半导体结构,其中下层金属的功函数高于上层半导体的功函数;双层薄膜结构还可以是半导体-半导体结构,其中下层半导体的功函数高于上层半导体的功函数;所述的上电极的下层是指上电极与电子传输层连接的薄膜层;所述的玻璃基板为带有离子隔离层的平板玻璃;离子隔离层可以是二氧化硅、三氧化二铝、氮化硅等薄膜。
本发明提供的复合介质层的场发射阴极中,当上下电极间加正向电压时,电子从上电极注入到复合绝缘层与电子传输层之间的表面态能级中;当施加反向电压时,存储在界面态能级中的电子会得到加速到达上电极,能量大的电子越过表面势垒穿过上电极成为发射电子。由于绝缘层是几种绝缘材料复合而成,有较高的耐压性能和介电常数,能够向电子提供足够的能量;当电子进入上电极后,其中部分能量超过上电极真空能级势垒的电子可以发射到真空中。如果上电极是由双层薄膜组成,则在两层之间形成接触电场,当上层薄膜的功函数低于下层(即上电极与电子传输层连接的薄膜层)薄膜时,接触电场起到加速电子的作用,能有效的提高电子发射量,所以本发明的场发射阴极的发射电流大,适合于在高亮度场发射平板显示器件应用;另外本发明的场发射阴极中采用复合绝缘薄膜,其击穿场强较高,使用寿命较长。
以下结合附图说明对本发明的实施作进一步详细描述。
附图说明
图1为本发明的场发射阴极的结构示意图;
图2为本发明中的复合绝缘层的一种结构示意图;
图3为本发明中的复合绝缘层的另一种结构示意图;
图4为本发明中的复合绝缘层的又一种结构示意图。
具体实施方式
参见图1至图4所示,在本发明的一些实施例中,复合绝缘层的场发射阴极包括自下而上顺序排列的基板玻璃5、下电极4、复合绝缘层3、电子传输层2和上电极1;其中,复合绝缘层3是由三层介电常数、击穿场强各优的介质绝缘薄膜组成的;介质绝缘薄膜可采用五氧化二钽、三氧化二铝、二氧化铪、二氧化锆、钛酸锶钡、钛酸铅、氧化钇等非晶态薄膜:
如在图2的实施例中,复合绝缘层由自下而上的厚度为150纳米的三氧化二铝6、厚度为250纳米的五氧化二钽7和厚度为150纳米的三氧化二铝6三层介质绝缘薄膜组成;
又如在图3的实施例中,复合绝缘层由自下而上的厚度为150纳米的三氧化二钇10、厚度为250纳米的钛酸锶9和厚度为100纳米的二氧化铪8三层介质绝缘薄膜组成;
再如在图4的实施例中,复合绝缘层由自下而上的厚度为100纳米的三氧化二铝6、厚度为300纳米的二氧化锆11和厚度为100纳米的五氧化二钽7三层介质绝缘薄膜组成;
上述各实施例中的介质绝缘薄膜根据各自的特点可以采用蒸发、溅射、溶胶-凝胶、气相沉积等不同工艺的成膜方式;
综上所述,本发明还能列举出一层以上介质绝缘薄膜的许多种组合,这许多种组合的复合绝缘层能综合各层薄膜的优势,并根据各层薄膜电学性能的优劣复合成既有大的介电常数,又有高的电场击穿强度的复合绝缘层。
在本发明的上述各个实施例中,所述的上电极可以是单层金属或半导体薄膜结构,也可以是双层薄膜结构;其中双层薄膜结构可以是金属-金属结构,其中下层金属的功函数高于上层金属的功函数;双层薄膜结构也可以是金属-半导体结构,其中金属的功函数高于半导体的功函数;双层薄膜结构还可以是半导体-半导体结构,其中下层半导体的功函数高于上层半导体的功函数;在本发明的上述各个实施例中,下电极层结构较为简单,能提供一定的电导,拥有与基板玻璃和薄膜的良好的附着力,同时还应具有引出封接时与玻璃、焊料的匹配封接保证气密性。在本发明的上述各个实施例中,所述的玻璃基板为带有离子隔离层的平板玻璃,离子隔离层是二氧化硅薄膜;而在本发明的其它实施例中,平板玻璃的离子隔离层也可以是三氧化二铝、氮化硅等薄膜。
在本发明的另一个实施例中,场发射阴极包括自下而上顺序排列的基板玻璃、下电极、绝缘层、电子传输层和上电极;其中,所述的上电极可以是单层金属或半导体薄膜结构,也可以是双层薄膜结构;其中双层薄膜结构可以是金属-金属结构,其中下层金属的功函数高于上层金属的功函数;双层薄膜结构也可以是金属-半导体结构,其中金属的功函数高于半导体的功函数;双层薄膜结构还可以是半导体-半导体结构,其中下层半导体的功函数高于上层半导体的功函数;所述的玻璃基板为带有三氧化二铝薄膜的离子隔离层的平板玻璃;而在本发明的其它实施例中,平板玻璃的离子隔离层也可以是二氧化硅、氮化硅等薄膜。
在本发明的场发射阴极结构中,当上下电极间加正向电压时,电子从上电极注入到复合绝缘层与电子传输层之间的表面态能级中;当施加反向电压时,存储在界面态能级上的电子会得到加速到达上电极,能量大的电子越过表面势垒穿过上电极成为发射电子。由于绝缘层是几种非晶态材料复合而成,有较高的耐压性能和介电常数,能够向电子提供足够的能量。当电子进入上电极后,其中部分能量超过上电极真空能级势垒的电子可以发射到真空中。如果上电极是由双层薄膜组成,则在两层之间形成接触电场,当上层薄膜的功函数低于下层(即上电极与电子传输层连接的薄膜层)薄膜时,接触电场起到加速电子的作用,能有效的提高电子发射量。
Claims (10)
1、一种场发射阴极,包括自下而上顺序排列的基板玻璃(5)、下电极(4)、绝缘层(3)、电子传输层(2)、上电极(1),其特征在于,所述的绝缘层(3)为复合绝缘层,是由一层以上的非结晶的介质绝缘薄膜组成。
2、根据权利要求1所述的场发射阴极,其特征是,所述的上电极(1)是单层半导体薄膜结构。
3、根据权利要求1所述的场发射阴极,其特征是,所述的上电极(1)是双层薄膜结构。
4、根据权利要求3所述的场发射阴极,其特征是,所述的双层薄膜结构的上电极是金属-金属结构,其中下层金属的功函数高于上层金属的功函数。
5、根据权利要求3所述的场发射阴极,其特征是,所述的双层薄膜结构的上电极是金属-半导体结构,其中下层金属的功函数高于上层半导体的功函数。
6、根据权利要求3所述的场发射阴极,其特征是,所述的双层薄膜结构的上电极是半导体-半导体结构,其中下层半导体的功函数高于上层半导体的功函数。
7、根据权利要求1至6中任何一项所述的场发射阴极,其特征是,所述的介质绝缘薄膜采用五氧化二钽、三氧化二铝、二氧化铪、二氧化锆、钛酸锶钡、钛酸铅、氧化钇等非晶态薄膜。
8、根据权利要求7所述的场发射阴极,其特征是,所述的介质绝缘薄膜根据各自的特点采用蒸发、溅射、溶胶-凝胶、气相沉积等不同工艺的成膜方式。
9、根据权利要求1至6中任何一项所述的场发射阴极,其特征是,所述的玻璃基板为带有二氧化硅、三氧化二铝或氮化硅等薄膜的离子隔离层的平板玻璃。
10、一种场发射阴极,包括自下而上顺序排列的基板玻璃、下电极、绝缘层、电子传输层、上电极,其特征在于,所述的上电极是单层半导体薄膜结构或双层薄膜结构。
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