CN1776007A - 用于汽化材料的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种具有汽化坩锅的用于汽化材料的装置。待汽化的材料放置在汽化坩锅中。在汽化坩锅周围安放汽化器管道。从其纵向角度观察，该汽化器管道包括至少两个上下依次放置的加热回路，并且分别进行电控。每个加热回路均包括至少两个加热支路，分别安放在汽化器管道的两侧。汽化器管道具有带有自己的加热回路的顶部。

Description

用于汽化材料的装置
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的装置。
背景技术
在真空镀层技术中，需要汽化器以将诸如金属等的材料进行汽化，并且提供具有材料镀层的基板。基板包括薄膜、网等(参见DE 195 27 604 A1，DE 43 10 085 A1，DE 42 23 568 C1，DE 42 03 632 C2，DE 102 24 908 A1)。通常，汽化器包括用于容纳待汽化材料的汽化坩锅。在汽化坩锅上面，具有由金属型材制成的并且在纵向开有狭槽的喷嘴挡板。由狭槽构成的喷嘴开口，能够确保从汽化坩锅散发出的汽化材料均匀地沉积在正位于喷嘴开口上方的基板上。在此，加热元件为加热盘管(DE 38 17 513 C2)。作为对汽化器舟皿或者坩锅的材料进行加热的加热元件，也可以使用具有狭槽的石墨箔，这在坩锅周围形成了弯曲带。
在另外一种用于真空汽化设备的蒸镀装置中，将电加热棒用作加热元件(DE 198 43 818 A1)。
还有一种高真空镀膜设备，使用强电流对材料进行汽化，为了产生强电流，提供了至少一个具有铁心、初级绕组和次级绕组的变压器，将次级绕组连接到待汽化的材料或者待加热的坩锅(DE 42 09 334 C2，US 2 664 853)。
最近，还出现了一种用于调整坩锅汽化率的装置，由直流电流进行加热，从而对金属进行汽化(DE 44 04 550 C2)。在该装置中，将坩锅的电阻和放置坩锅中待汽化的金属的电阻之和调整到特定值。
大多数现有的汽化器仅具有一个加热电路，导致汽化器性能的可调性差。另外，在操作过程中，做为耗费件的喷嘴挡板受到变形，使得在每次更换喷嘴挡板时需要进行预变形。
发明内容
本发明的目的在于增加汽化器性能的可调性。
根据权利要求1的特征，实现了此目的。
因此，本发明涉及一种具有汽化坩锅的用于汽化材料的装置。待汽化的材料放置在汽化坩锅中。在汽化坩锅周围安放汽化器管道。从其纵向角度观察，该汽化器管道包括至少两个上下依次放置的加热回路，并且分别进行电控。每个加热回路均包括至少两个加热支路，分别安放在汽化器管道的两侧。汽化器管道具有带有自己的加热回路的顶部。
本发明的优点包括喷嘴挡板不易损坏，并且简化了喷嘴挡板的更换。另外，汽化器管道在径向受热更为均匀。汽化器性能的可调性更好，并且载流加热盘管不会形成所不希望的等离子体。
附图说明
本发明的实施例示例将在附图中示出并且随后将对其进行更加详细的说明，附图中：
图1显示的是用于安装汽化器的网状镀膜设备的一部分；
图2显示的是部分打开的汽化器的透视图；
图3显示的是位于汽化器一侧的三个加热支路；以及
图4显示的是根据图3的汽化器的剖面图。
具体实施方式
图1显示的是网状镀膜设备的一部分。这部分包括由三个平板1、2和3组成的用于安装汽化器的基座。平板1和3平行放置，而平板2形成了底面。在由三个平板1，2和3组成的基座上为部件4。在设备运行时，部分4的上面是用作引导网或者薄膜的圆柱体。因此，部分4的表面为弓形，以与圆柱体(未显示)相适应。
在安装在底面上的平板1和3之间，安装了汽化器5，在图2没有进行进一步的显示。
在图2所示的汽化器5中，打开了折叠式的侧盖6，从而显示出汽化器管道7。显而易见，汽化器管道7的显露面包括两个加热支路8、9。在汽化器管道7上，与这些加热支路相反的一侧还有两个在图2中不可见的加热支路。加热支路8与在汽化器管道7的相反侧的不可见加热支路形成了第一加热回路，而加热支路9与相反侧的不可见加热支路形成了第二加热回路。加热回路的加热支路在电路上是并联的。因此，加热支路可以包括一个或者多个导热导线。图2中显示的加热支路8和9均具有两个导热导线。
第三加热回路10位于汽化器管道7的顶部11。
在图3的简化图中，可以清楚地看到加热导体构造的更多细节。
在图3中可以看到前面的加热支路8和后面的加热支路9。与图2相比，为了清楚起见，加热支路8、9均仅包括一个导热导线。加热导体49始于插头终端12，通过加热导体部分13到17而接到底面18。
不可见的加热导体19位于另外一侧，也始于插头终端12，并且完全隐藏在汽化器管道7的后面。该加热导体然后延伸为再次可见的加热导体部分20，并且接到接地接头21。从而第一加热回路成为闭合电路。
第二加热回路包括后面的加热支路9和位于汽化器管道7另外一侧的不可见的加热支路。加热支路9始于插头终端22，通过加热导体部分23到28而接到接地接头29。不可见的加热导体位于另外一侧，也始于插头终端22，并且通过在汽化器管道7后面的加热导体部分30、31，然后延伸为再次可见的加热导体部分32、33，并且接到接地接头34。
第三加热回路10位于汽化器7的顶部部分11。该加热回路10包括具有加热导体部分35到37，并且连接到插头终端40的第一加热导体，并且提供了与加热导体部分37平行及位于顶部部分11后面的返回加热导体，并且通过加热导体部分38而连接到接地接头39。
第二加热导体也连接到同一个插头终端40。第二加热导体由加热导体部分41到43和返回加热导体部分组成。返回加热导体部分不可见，位于顶部部分11后面，通过加热导体部分44而连接到接地接头39。
构成加热回路10的第三加热导体也连接到插头终端40，并且通过加热导体部分45到48而连接到接地接头39。此处，加热导体部分48为在顶部部分11后面进行延伸的加热导体部分的一部分。将72、73、74称为终端端子板，而将70称为基板，将71称为绝缘板。
将构成加热电路10的所有三个加热导体在电路上进行并联。
如前所述，图2中的加热支路中的加热导体数目为图3中加热支路数目的两倍。
图4显示的是根据图3的换热器管道7的放大部分A-A和顶部部分11。此处可以清楚地看到第一加热回路的加热导体部分15、14、13和17，50到50和20。
加热导体部分37、43、47、53到55形成了第三加热回路。具有喷嘴60的喷嘴挡板59位于加热导体部分53和37之间。通过该喷嘴60，将汽化的材料散发到待镀的网61上，网61在导轮62和63上进行引导。
第二加热回路在图4中是不可见的。
坩锅位于汽化器管道7中，其中放置着待汽化的材料57。
径向狭槽64位于汽化器管道7的上部区域。
可以将层状绝缘板环绕在汽化器管道7和顶部部分7，以进行热绝缘。
当对汽化器7中的坩锅56中的材料57进行加热，从而进行汽化，并且通过狭槽64和喷嘴60到达网61时，实现对网61进行镀膜。
因此，本发明体力三种或者更多的可调加热回路。一个加热回路确保喷嘴挡板的预定温度，这与汽化器管道的温度无关。将至少两个可调性更高的加热回路用于汽化器管道径向温度分布。
所使用的加热导体称为夹套加热导体，由导电性能良好的铁心、环绕铁心的绝缘层和环绕绝缘层的金属外壳构成。每个加热环路包括多个加热导体。

Claims (9)

1、一种具有汽化坩锅(56)的用于汽化材料的装置，待汽化的材料(57)放置在汽化坩锅(56)中，其中，该装置还包括环绕着汽化坩锅(56)的汽化器管道(7)，该管道包括至少两个上下依次放置的加热回路，并且分别进行电控。
2、根据权利要求1所述的装置，其中，每个加热回路均包括至少两个加热支路(8、9)，分别安放在汽化器管道(7)的两侧。
3、根据权利要求1所述的装置，其中，汽化器管道(7)具有带有自己的加热回路(10)的顶部(11)。
4、根据权利要求1所述的装置，其中，汽化器管道(7)在待汽化的材料(57)平面的上方具有开口(64)。
5、根据权利要求3所述的装置，其中，在顶部(11)的上面部分具有带有狭槽(60)的喷嘴挡板(59)。
6、根据权利要求2所述的装置，其中，加热支路(8、9)包括热导体(13到16；24到28)，将其以曲折的方式安放在汽化器管道(7)的外侧。
7、根据权利要求3所述的装置，其中，加热回路(10)的顶部(11)包括几个热导体(37，43，47)。这几个热导体在顶部(11)的一侧进行延伸，然后弯曲回转到顶部(11)的另外一侧，之后在顶部(11)的另外一侧成为热导体(53到55)。
8、根据权利要求1所述的装置，其中，在汽化器管道(7)的上面安装了在导轮(62，63)上滑动的网(61)。
9、根据上述一项或者几项权利要求中所述的装置，其中，喷嘴挡板(59)位于网(61)和汽化器管道(7)的开口(64)之间。
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