CN1770016A

CN1770016A - 光掩模管理方法及其条形码辨识装置

Info

Publication number: CN1770016A
Application number: CNA2004100922087A
Authority: CN
Inventors: 刘国忠; 曾文瑞
Original assignee: Powerchip Semiconductor Corp
Current assignee: Powerchip Semiconductor Corp
Priority date: 2004-11-03
Filing date: 2004-11-03
Publication date: 2006-05-10

Abstract

一种光掩模管理方法及其条形码辨识装置，其中光掩模管理方法包括下述步骤：先准备一条形码辨识装置；并对一光掩模上的一光掩模条形码进行辨识，再将辨识数据传入光掩模管理系统后，产生一工艺光掩模盒条形码；接着在无尘室中，将光掩模从一光掩模保护盒换装入一工艺光掩模盒中，且将工艺光掩模盒条形码设于工艺光掩模盒之上；之后将工艺光掩模盒条形码数据扫描登录在曝光设备；最后，曝光设备利用此光掩模进行曝光。而条形码辨识装置包括：至少一用来夹持光掩模保护盒的夹持件；至少一架设于夹持件上方的读取头，以读取光掩模条形码；以及一第一光源提供第一光线射向光掩模保护盒，以提高读取头辨识度。

Description

光掩模管理方法及其条形码辨识装置

技术领域

本发明涉及一种光掩模管理方法及其条形码辨识装置，特别是涉及一种应用条形码辨识装置以管理光掩模的方法及装置。

背景技术

图1显示现有的光掩模管理流程。首先，从供应厂商新进光掩模及光掩模保护盒(S11)，此时光掩模收纳于光掩模保护盒之中。搭配参照图3a、3b，光掩模100具有光掩模条形码110以及光掩模条形码120，并且光掩模100收纳于光掩模保护盒200之中。光掩模保护盒为透明的盒体，并依据厂牌、材料、色泽、透光度的不同，会呈现红或蓝等颜色或无色。现有光掩模管理由供应厂商提供清单数据，再打印出一工艺光掩模盒条形码(S12)，由于曝光设备台需使用固定规格的工艺光掩模盒(即曝光设备工艺光掩模专用盒)，才可利用曝光设备台自动进行曝光工艺，故需先于无尘室中，将光掩模100由光掩模保护盒200取出，并换装入一工艺光掩模盒中(S13)，此时，再将工艺光掩模盒条形码张贴于工艺光掩模盒上(S14)以标示不同光掩模数据，在进行曝光时，先将工艺光掩模盒置入曝光设备中(S15)，曝光设备会自动扫描工艺光掩模盒条形码并将数据输入其中(S16)，最后，曝光设备便利用此光掩模进行曝光工艺(S17)。

另有现有光掩模管理流程，请参阅图2所示，此种管理流程完全省略将工艺光掩模盒条形码张贴于工艺光掩模盒上的动作，在厂商新进光掩模及光掩模保护盒(S21)后，便直接将光掩模保护盒更换成工艺光掩模盒(S22)，再直接将光掩模及工艺光掩模盒置入曝光设备(S23)，自动扫描光掩模条形码登录光掩模数据(S24)后，最后由曝光设备进行曝光工艺(S25)。

图1中的现有光掩模管理流程，由于工艺光掩模盒条形码根据厂商所提供的清单数据制作，因此，可能会有人为疏失的情形发生，例如一开始厂商提供的清单数据即与光掩模保护盒中的光掩模不相符，或是工艺光掩模盒条形码制作过程的瑕疵、疏失，使工艺光掩模盒条形码与光掩模条形码不相符合，另外，图2的现有光掩模管理流程省略了张贴工艺光掩模盒条形码的步骤，除了在光掩模管理方面不易外，还可能在更换光掩模保护盒时发生光掩模取放错误的情事，上述情形可能在进入曝光工艺时，造成后续工程管理的错误或引发机器停机后果，产生时间与金钱的损失。

又，由于许多曝光设备仅能辨识特定一维编码的光掩模条形码，因此，当光掩模条形码为二维编码时，曝光设备将无法进行辨认、登录光掩模作业，造成生产障碍。然而，若不进行工艺光掩模盒条形码与光掩模条形码的比对，而径以错误的光掩模进行工艺，其造成的庞大损失更是难以弥补。

因此，为节省建立庞大曝光设备辨识系统成本，以及避免曝光设备条形码辨识能力限制，需要一种准确的光掩模辨识管理方法，以确保曝光设备顺利、简单、有效地进行光掩模登录作业，利用正确光掩模执行曝光。

发明内容

本发明即为了欲解决上述现有技术的问题，而提供的一种光掩模管理方法，包括下列步骤：准备一条形码辨识装置，透过条形码辨识装置以直接读取设于光掩模保护盒内的光掩模上的光掩模条形码，再依据条形码辨识装置的读取结果直接产生一工艺光掩模盒条形码，最后将光掩模置入于一工艺光掩模盒中，并将工艺光掩模盒条形码设于工艺光掩模盒上。

另外，应用于光掩模管理方法的条形码辨识装置包括：至少一用来夹持光掩模保护盒的夹持件；至少一架设于夹持件上方的读取头，以读取光掩模条形码；以及一第一光源提供第一光线射向光掩模保护盒，以提高读取头辨识度。

应用本发明的装置及方法于光掩模管理后，则不需依靠厂商提供的光掩模清单数据产生光掩模条形码，而是在直接扫描光掩模保护盒中的光掩模条形码后，直接产生工艺光掩模盒条形码，并设于工艺光掩模盒上，如此可大幅避免由人为疏失所产生工艺光掩模盒条形码与其标示的光掩模不相符的问题，从而降低将错误的光掩模置入曝光设备而进行曝光的机会。且，本发明应用能辨识一维编码以及二维编码的条形码辨识装置，因此可对一维编码以及二维编码的光掩模条形码作充分的辨识。

附图说明

图1、2显示现有的光掩模管理流程图；

图3a显示现有的光掩模上视图；

图3b显示光掩模收容于光掩模保护盒之中的上视图；

图4显示本发明的条形码辨识装置侧视图；

图5显示光掩模保护盒置于条形码辨识装置上的上视图；

图6显示本发明的另一实施例条形码辨识装置侧视图；

图7a显示本发明的条形码辨识装置的前方侧视图；

图7b显示本发明的另一条形码辨识装置的前方侧视图；

图8显示本发明的光掩模管理方法流程图；

图9显示工艺光掩模盒以及曝光设备。

简单符号说明

S11，S12，......S17～现有光掩模管理步骤(一)

S21，S22，......S25～现有光掩模管理步骤(二)

S31，S32，......S38～本发明的光掩模管理步骤

100～光掩模

110、120～光掩模条形码

200～光掩模保护盒

300～工艺光掩模盒

310～工艺光掩模盒条形码

400～曝光设备

500～条形码辨识装置

510～读取头

520～夹持件

531～第一光源

532～第一光线

533～第二光源

534～第二光线

540～反射镜

551～第一杆

552～第二杆

560～接头

570～底座

571～透光部

具体实施方式

请先参照图4，图4绘示本发明所使用的条形码辨识装置500的侧视图，其具有读取头510、夹持件520、第一光源531、反光镜540、第一杆551、第二杆552、接头560以及底座570。其中，第一光源531以及反光镜540设于底座570之中，夹持件520设于底座570之上，接头560连接第一杆551以及第二杆552，使第一杆551固定于第二杆552之上，以辅助照明。读取头510设于第二杆552之上，当光掩模保护盒200置于底座570时，读取头510可读取光掩模保护盒200中的光掩模100上的光掩模条形码110、120(请参阅3b图)。而条形码辨识装置500在读取光掩模条形码110、120时，第一光源531会发射一第一光线532，而第一光线532经由反射镜540反射，通过透光部571，投射于光掩模条形码110、120的位置，故读取头510在第一光线532的辅助下，便可轻易读取光掩模条形码110、120所记载的数据。第一光源531用以由光掩模保护盒200下方往上提供光源，上述利用反射镜540引导光线为本发明的优选实施例，并非用以限定本发明的范围。

续接图5，显示光掩模保护盒200安置于底座570之上的情形。光掩模保护盒200由夹持件520所夹持，本实施例的夹持件520呈L型，搭配光掩模保护盒200四角的形状大小而设，以提供固定功能，便于读取头510读取光掩模保护盒200中光掩模100上的光掩模条形码110、120所记载的数据。

此外，请参照图6，条形码辨识装置500上还可另外设计第二光源533，本实施例将第二光源533设于第一杆551上，并朝光掩模条形码110、120发射一第二光线534，更加强读取头510的辨识能力。

本实施例中的第一光源531以及第二光源533优选为使用发光二极管。举例说明，当光掩模保护盒200为红色时，第一光线532以及第二光线534优选为红光，当光掩模保护盒200为蓝色时，第一光线532以及第二光线534优选为蓝光，当光掩模保护盒200为无色时，第一光线532以及第二光线534优选为白光，但本发明不限于此，可依光掩模保护盒200的材料、透光度及色泽，来选用适宜光源，如此可提高读取头510的辨识能力。

读取头510利用接头560可于第一杆551上滑动，以沿垂直于该光掩模条形码表面的方向调整焦距。读取头510并可于第二杆552上滑动，而沿平行于该光掩模条形码表面的方向调整适当的读取位置。且，读取头510可绕第二杆552转动，以适应不同的读取状况。

上述的读取头510可采用能读取一维编码或二维编码的条形码的元件，优选的可采用TOHKEN公司所生产的读取头。

参照图7a，读取头510可以为单一读取头，利用调整底座570与读取头510之间的相对位置而读取光掩模条形码。或，如图7b所显示的，利用两颗读取头510，直接对不同位置的光掩模条形码进行读取。总言之，本发明利用条形码辨识装置500，对光掩模100上的光掩模条形码110、120进行辨识，以便制作相对应的工艺光掩模盒条形码。

请参照图8，显示本发明的光掩模管理方法流程图。首先从供应厂商新进光掩模及光掩模保护盒(S31)，接着准备一如上所述的条形码辨识装置(500)对光掩模保护盒内光掩模的光掩模条形码进行辨识(S32)，接着，将光掩模条形码数据自动传入光掩模管理系统(S33)，并产生一工艺光掩模盒条形码(S35)，接着，将光掩模100由光掩模保护盒取出并换装至工艺光掩模盒中(S34)后，再张贴前述打印制作的工艺光掩模盒条形码(S36)，接着，可透过操作员手动扫描工艺光掩模盒条形码，或待工艺光掩模盒置入曝光设备后，再由曝光设备自动读取条形码(S37)，以登录光掩模数据，故曝光设备得以利用此光掩模进行曝光工艺(S38)。

上述光掩模条形码110与光掩模条形码120为光掩模制造商现行的一般格式，各有其代表内容，如名称、规格及制造番号等等，但此并不影响本发明，也不用以限定本发明。

搭配参照图8以及图9，在无尘室中，将光掩模从光掩模保护盒200换装入工艺光掩模盒300之中(S34)，并将先前制作完成的工艺光掩模盒条形码310设于工艺光掩模盒300之上(S36)。当欲进行曝光工艺时，手动扫描工艺光掩模盒条形码310登录光掩模数据，或于工艺光掩模盒300置入曝光设备后，由曝光设备自动读取条形码登录光掩模数据(S37)，曝光设备400利用此光掩模进行曝光工艺(S38)。

本发明于取得光掩模100之后，即依据光掩模100上的光掩模条形码110、120产生工艺光掩模盒条形码310，并将工艺光掩模盒条形码310设于工艺光掩模盒300之上。应用本发明，可以避免工艺光掩模盒条形码310与其标示的光掩模100不相符的问题，从而避免将错误的光掩模置入曝光设备进行曝光的机会。此外，由于本发明应用能辨识一维编码以及二维编码的条形码辨识装置，因此可对一维编码以及二维编码的光掩模条形码作充分的辨识，免除曝光设备无法辨识的障碍。

虽然本发明以优选实施例揭露如上，然而其并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围应当以后附的权利要求所界定者为准。

Claims

1.一种条形码辨识装置，用以对置于一光掩模保护盒中的一光掩模上的一光掩模条形码进行辨识，包括：

至少一夹持件，以夹持该光掩模保护盒；

至少一读取头，相对于该光掩模保护盒位置设置，用以读取该光掩模条形码；

一第一光源，对该光掩模保护盒提供一第一光线照射，以提高该读取头的辨识能力。

2.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该第一光源所发射的该第一光线以由下往上的方式对该光掩模保护盒照射。

3.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其还包括一第二光源，该第二光源所发射的一第二光线以由上往下的方式对该光掩模保护盒照射，以提高该读取头的辨识能力。

4.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其还包括用以置放该光掩模保护盒的一底座、与该读取头连接的一第二杆以及用以连接该底座与该第二杆相连接的一第一杆。

5.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该第一光源可以调节该第一光线的种类颜色，以适用不同的该光掩模保护盒的材料、透光度与颜色，提高该读取头的辨识能力。

6.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该第一光源为发光二极管。

7.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该读取头可沿平行于该光掩模条形码表面的方向移动，以调整适当的读取位置。

8.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该读取头可沿垂直于该光掩模条形码表面的方向移动，以调整焦距。

9.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该读取头可沿平行于该光掩模条形码表面的方向转动，以适应不同的读取情况。

10.如权利要求4所述的条形码辨识装置，其还包括装设于该底座内部的一反射镜，该反射镜将该第一光线反射至该光掩模条形码的位置。

11.如权利要求1所述的条形码辨识装置，其中，该读取头能辨识一维编码以及二维编码的条形码。

12.一种光掩模管理方法，包括：

准备一条形码辨识装置；

利用该条形码辨识装置读取置于一光掩模保护盒中的一光掩模上的一光掩模条形码；

依据该条形码辨识装置的读取结果，产生一工艺光掩模盒条形码；

将该光掩模置入于一工艺光掩模盒之中；以及

将该工艺光掩模盒条形码设于该工艺光掩模盒之上。

13.如权利要求12所述的光掩模管理方法，其中，该条形码辨识装置透过一第一光源所射出的一第一光线射向该光掩模保护盒，以提高辨识能力。

14.如权利要求13所述的光掩模管理方法，其中，当该光掩模保护盒为红色时，该第一光线为红光。

15.如权利要求13所述的光掩模管理方法，其中，当该光掩模保护盒为蓝色时，该第一光线为蓝光。

16.如权利要求13所述的光掩模管理方法，其中，当该光掩模保护盒为无色时，该第一光线为白光。

17.如权利要求12所述的光掩模管理方法，其还包括依据该条形码辨识装置的辨识结果，自动登录于光掩模管理系统，并自动打印该工艺光掩模盒条形码。

18.一种光掩模条形码辨识系统，包括：

一底座，用以承载一光掩模保护盒；

一夹持件，位于该底座上，用以固定该光掩模保护盒；

一第一杆，其中该第一杆的一端与该底座连接；

一第二杆，其中该第二杆的一端与该第一杆的另一端相连接；

一读取头，位于该底座上方，并连接于该第二杆的另一端，由上往下读取位于该光掩模保护盒内的该光掩模条形码；

一第一光源，位于该底座中，提供一第一光线由该光掩模保护盒下方往上照射。

19.如权利要求18所述的光掩模条形码辨识系统，其还包括一接头，用以连接该第一杆及该第二杆。

20.如权利要求18所述的光掩模条形码辨识系统，其还包括一第二光源，该第二光源所发射的一第二光线以由上往下的方式对该光掩模保护盒照射，以提高该读取头的辨识能力。

21.如权利要求18所述的光掩模条形码辨识系统，该第一光源位于该底座中的一侧，并利用装设于该底座内部的一反射镜反射光线，该反射镜将该第一光线反射至该光掩模条形码的位置。

22.如权利要求18所述的光掩模条形码辨识系统，其中该夹持件设于该底座上，并搭配该光掩模保护盒的形状及大小设计为L型。