CN1743680A - 双重拖动分子泵 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种结构简单、易于批量生产并可提高泵的有效抽速的双重拖动分子泵。该双重拖动分子泵，包括固设在泵壳上的螺旋状静轮和动密封级，以及固设在转子上的动轮，所述动轮与静轮及动密封级之间交错间隙排列，泵壳上分别对应开设进气口和排气口，电机设在转轴的一侧，转轴的两端分别套装有端盖，其特征在于：若干级并联、串联的静轮共用同一框架，框架由固定环和支柱构成，支柱固定面上设有静轮叶片；所述静轮的叶片内、外侧均无固定环设置。本发明还可与其它分子泵或者旋转式机械真空泵同轴安装，构成性能更好的复合真空泵。本发明适用于各类分子泵、旋转机械真空泵。

Description

双重拖动分子泵
技术领域
本发明涉及一种分子泵，尤其涉及一种双重拖动分子泵。
背景技术
中国专利87101116.6公开了一种“分子泵”。它的目的是提供一种具有二个拖动面且抽速较高、工作压强、排气流量可超过现有拖动分子泵几十倍的径流式分子泵，以及这种泵与其它旋转机械真空泵构成的复合真空泵。其不足之处在于：
1、静轮内、外侧气体通道的流导小，降低了泵的有效抽速。
2、静轮结构复杂，不便装配，难于批量生产。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术中的不足之处而提供一种结构简单、易于批量生产并可提高泵的有效抽速的双重拖动分子泵。
本发明的目的可以通过以下措施来达到：
这种双重拖动分子泵，包括固设在泵壳上的螺旋状静轮和动密封级，以及固设在转子上的动轮，所述动轮与静轮及动密封级之间交错间隙排列，泵壳上分别对应开设进气口和排气口，电机设在转轴的一侧，转轴的两端分别套装有端盖，其特殊之处在于：若干级并联、串联的静轮共用同一框架，框架由固定环和支柱构成，支柱固定面上设有静轮叶片；所述静轮的叶片内、外侧均无固定环设置。
本发明的目的还可以通过以下措施来达到：
所述静轮叶片与支柱一体成型；所述静轮的叶片内、外侧均无固定环设置。
所述静轮的叶片与其外侧固定环一体成型；所述静轮的叶片内侧无固定环设置。
若干并联静轮共用一个框架，每个支柱设有一个固定面，固定倾斜方向相同的整体叶片。
若干串联静轮共用一个框架，每个支柱上设有两个固定面，分别固定不同倾斜方向的叶片。
若干级并联、串联的双重拖动分子泵抽气单元和若干并、串联的其它旋转真空泵抽气单元同轴安装，串联组合，靠近泵的进气口为若干并联的双重拖动分子泵抽气单元，靠近泵的排气口为若干串联的其它旋转真空泵抽气单元，构成卧式复合双重拖动分子泵。
所述同轴安装的若干并、串联的其它旋转真空泵选用Siegbahn分子泵抽气单元、Holweck分子泵抽气单元的一种或组合；靠近泵的排气口若干串联的泵选用Siegbahn分子泵、Holweck分子泵的一种或组合。
转子的支承所采用的双重减震结构由转子轴承外侧与轴承座之间设有的减震圈、轴承座与端盖之间设有的第二层减震圈组成。
所述第二层减震圈是充填在轴承座与端盖之间的整体减震环。
若干级并联或串联的双重拖动分子泵抽气单元和若干级并联或串联的其它真空泵抽气单元同轴安装，靠近泵的进气口的串联的涡轮分子泵抽气单元和并联的双重拖动分子泵抽气单元，靠近泵的排气口串联的其它旋转真空泵抽气单元选用Siegbahn分子泵抽气单元、Holweck分子泵抽气单元的一种或组合，构成立式复合双重拖动分子泵。
本发明相比现有技术具有如下优点：
1、结构简单，便于批量生产。
2、消除了抽气通道内侧的，或者同时消除了内侧和外侧的固定环，增加了抽气通道的进、出口流导，提高了泵的有效抽速；
3、可与其它分子泵，或者旋转式机械真空泵等真空泵同轴安装，并联和串联组合，构成性能优良的复合分子泵。
附图说明
图1是本发明并联双拖泵的结构示意图。
图2是图1的A-A向剖视图。
图3是并联双拖泵静轮框架的结构示意图。
图4是图3的A-A向剖视图。
图5是并联双拖泵静轮叶片的结构示意图。
图6是图5的A-A向剖视图。
图7是并联双拖泵静轮的结构示意图。
图8是并联双拖泵叶片、支柱一体式结构示意图。
图9是图8的A-A向剖视图。
图10是串联双拖泵静轮框架示意图。
图11是图10的A-A向剖视图。
图12是串联双拖泵静轮的结构示意图。
图13是单一静轮整体结构示意图。
图14是图13的侧视图。
图15是卧式复合双拖泵第一个实施例的结构示意图。
图16是卧式复合双拖泵第二个实施例的结构示意图。
图17是双拖动泵的双重减震装置结构示意图。
图18立式复合双拖泵第一个实施例的结构示意图。
图19立式复合双拖泵第二个实施例的结构示意图。
附图中：
1-静轮，11-框架；
2-动轮，21-转轴，22-转子，23-隔环；
3-泵壳，31-进气口，32-排气口，33-端盖，34-固定环，35-支柱，36-叶片；
4-气体通道；5-电机；
6-轴承，61-减震圈，62-第二层减震圈，63-轴承座；
71-双重拖动分子泵抽气单元，72-Siegbahn分子泵抽气单元，
73-、Holweck分子泵抽气单元，74-涡轮分子泵抽气单元；
8-动密封级；9-压缩级。
具体实施方式
本发明下面将结合附图作进一步详述：
图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9示出了本发明的第一个实施例。
请参阅图1和图2所示，该并联双重拖动分子泵包括固设在泵壳3上的静轮1，以及固设在转子22上的动轮3，所述动轮3与静轮1之间交错间隙排列，其若干级并联的静轮1共用同一框架11，框架11由固定环34和支柱35构成，支柱35固定面上设有静轮叶片36。转子22上设有六只平圆盘动轮3，相邻动轮3之间，分别设有五只双拖泵静轮1。静轮叶片36的倾斜方向均相同，组成五组抽气单元71并联的双重拖动分子泵。静轮1的外圆周，以及动轮3的内侧设气体通道4。静轮1采用如图3、图4所示的框架式结构，它由两只固定环34、八个支柱35组成。每个支柱35上设有如图5、图6所示的整体叶片36，采用这种结构，可以增加抽气通道进气口和排气口的流导，从而有效提高抽速。组装完成的静轮1如图7所示。
静轮叶片和支柱也可以采用如图8、图9所示的叶片36、支柱35一体成型结构，直接固定在二只固定环34上。
使用过程：当动轮2如图2箭头所示方向高速旋转时，被抽气体由静轮1外侧抽至静轮1内侧。改变动轮2的旋转方向，或者静轮叶片36的倾斜方向，可以改变抽气方向。
图10、图11、图12示出了本发明的第二个实施例。
请参阅图10和图11所示，该串联双重拖动分子泵包括固设在泵壳3上的静轮1和动密封级，以及固设在转子上的动轮，所述动轮与静轮1及动密封级之间交错间隙排列，其若干级串联的静轮1共用同一框架11，框架11由固定环34和支柱35构成，支柱35固定面上设有螺旋状静轮叶片36。
本实施例由两级双拖泵单元同轴安装，两级单元的静轮1叶片倾斜方向相反，从而使得抽气方向相反，第1级的排气口32与第2级的进气口31相连，构成串联抽气的双重拖动分子泵。本实施例静轮框架11的支柱35上设有两个固定面，分别固定不同倾斜方向的叶片36。组装完成的串联双重拖动分子泵静轮1如图12所示，
使用过程：当动轮顺时针方向高速旋转时，上方静轮中的被抽气体由静轮外侧抽向内侧转轴处，下方静轮中的被抽气体由内侧抽向外测，构成串联抽气。改变动轮的旋转方向，或者静轮叶片36的倾斜方向，可以改变抽气方向。
图13、图14示出了本发明的第三个实施例。
请参阅图13、图14所示，该一体成型静轮双重拖动分子泵包括固设在泵壳3上的静轮1和动密封级，以及固设在转子上的动轮，所述动轮与静轮1及动密封级之间交错间隙排列，与上述实施例一和实施例二的差别在于每只静轮叶片36与外侧固定环34一体成型，构成独立整体。然后，将该静轮1分割成两半，叶片内侧无固定环设置。采用这种结构，加工精度容易保证，安装、调试比较方便。由于静轮1内侧无固定环设置，因此，抽气通道的内侧口的流导比较大。
使用过程如图13所示，当动轮顺时针方向高速旋转时，被抽气体由静轮外侧抽向内侧转轴处。改变动轮的旋转方向，或者静轮叶片36的倾斜方向，可以改变抽气方向。
图15、图17示出了本发明的第四个实施例。
请参阅图15和图17所示，该卧式复合双拖泵包括固设在泵壳3上的静轮1和动密封级8，以及固设在转子22上的动轮2，所述动轮2与静轮1及动密封级8之间交错间隙排列，泵壳3上分别对应开设进气口31和排气口32，电机5设在转轴21的一侧，转轴21的两端分别套装有端盖33。
若干级并联和串联的双重拖动分子泵抽气单元71和若干并联和串联的Siegbahn分子泵抽气单元72同轴安装，并联、串联组合，构成卧式复合双重拖动分子泵。
本实施例中，位于中部的第1抽气级由五组双重拖动分子泵抽气单元71并联组成。第一抽气级两侧分别设置由二组并联的双重拖动分子泵抽气单元71组成第2抽气级，第一、二抽气级之间设有动密封级8，第2抽气级两侧设置由三组Siegbahn分子泵抽气单元72串联组成的压缩级9。
转子的支承采用如图17所示的双重减震结构。包括：在轴承6外侧与轴承座63之间设有一只减震圈32；该减震圈32的截面可采用圆形，或者矩形；该轴承座63与端盖之间设有第二层减震圈33，第二层减震圈33可采用2只截面为圆形，或者矩形的O圈，也可以采用充填在轴承座63与端盖33之间的整体减震环。采用双重减震装置后，泵的振动和噪声可以大幅度降低。
本实施例的双重减震装置还可以用于卧式和立式的涡轮分子泵和复合分子泵，也可以用于其它绕性轴机械。
使用过程：被抽气体从泵的进气口31进入，由第1抽气级抽至内侧转轴处，然后分成左、右两路，依次经过第二抽气级和压缩级9，最后，经气体通道4、从排气口32排出。
图16示出了本发明的第五个实施例。
请参阅图16所示，该卧式复合双重拖动分子泵包括固设在泵壳3上的静轮1和动密封级8，以及固设在转子22上的动轮2，所述动轮2与静轮1及动密封级8之间交错间隙排列，泵壳3上分别对应开设进气口31和排气口32，电机5设在转轴21的一侧，转轴21的两侧分别套装有端盖33。
若干级并联、串联双重拖动分子泵抽气单元71、Siegbahn分子泵抽气单元72、Holweck分子泵抽气单元73，以及旋转机械真空泵同轴安装，并联、串联组合。
本实施例中，位于中部的第1抽气级由五组双重拖动分子泵抽气单元71并联组成。第一抽气级两侧分别设由二组并联的Siegbahn分子泵抽气单元72组成的第二抽气级，第一、二抽气级之间设有动密封级8，第二抽气级两侧设置由四组串联的Holweck分子泵抽气单元73组成的压缩级9。
使用过程：被抽气体从泵的进气口31进入，由第1抽气级抽至内侧转轴处，然后分成左、右两路，依次经过第二抽气级和压缩级9，最后，经气体通道4，从排气口32排出。
图18示出了本发明的第六个实施例。
请参阅图18所示，该立式复合双重拖动分子泵由转轴21、泵壳3、转子22、涡轮分子泵抽气单元74、双重拖动分子泵抽气单元71、动密封级8、Siegbahn分子泵抽气单元72、轴承11、电机5、气体通道4、进气口31、泵的排气口32构成，泵壳3上分别对应开设进气口31和排气口32，电机5设在转轴21的下方，转轴21的下方套装有端盖33。
若干级并联、串联的涡轮分子泵抽气单元74、双重拖动分子泵抽气单元71和Siegbahn分子泵抽气单元72同轴安装，靠近泵的进气口31设置由8组串联的涡轮分子泵抽气单元74组成的第一抽气级，第一抽气级下面设置二组串联的双重拖动分子泵抽气单元71组成的第二抽气级，靠近泵的排气口32设置由三组串联的Siegbahn分子泵抽气单元72组成的压缩级9，以此构成立式复合双重拖动分子泵。
使用过程：被抽气体由进气口31进入，依次经过第一抽气级、第二抽气级、压缩级9和气体通道4，最后由排气口32排出。
图19示出了本发明的第七个实施例。
请参阅图19所示，该立式复合双拖泵由转轴21、泵壳2、转子3、涡轮分子泵动轮4、涡轮分子泵静轮1、拖动分子泵动轮6、双拖泵抽气单元71、动密封级8、Siegbahn分子泵抽气单元72、轴承11、电机5、气体通道4、进气口31、泵的排气口32构成，包括固设在泵壳3上的静轮1和动密封级8，以及固设在转子22上的动轮2，所述动轮2与静轮1及动密封级8之间交错间隙排列，电机5设在转轴21的下方，转轴21的下方套装有端盖33。
若干级并联、串联的涡轮分子泵抽气单元74、双重拖动分子泵抽气单元71、Siegbahn分子泵抽气单元72和若干级串联的Holweck分子泵抽气单元73同轴安装同轴安装，靠近泵的进气口31设置由8组串联的涡轮分子泵抽气单元74组成的第一抽气级，第一抽气级下面设置二组串联的双拖泵抽气单元71组成的第二抽气级，靠近泵的排气口32设置由二组串联的Holweck分子泵抽气单元73组成的压缩级9，以此构成立式复合双重拖动分子泵。
使用过程：被抽气体由进气口31进入，依次经过第一抽气级、第二抽气级、压缩级9和气体通道4，最后由排气口32排出。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明权利要求的涵盖范围。

Claims (10)

1、一种双重拖动分子泵，包括固设在泵壳上的螺旋状静轮和动密封级，以及固设在转子上的动轮，所述动轮与静轮及动密封级之间交错间隙排列，泵壳上分别对应开设进气口和排气口，电机设在转轴的一侧，转轴的两端分别套装有端盖，其特征在于：若干级并联、串联的静轮共用同一框架，框架由固定环和支柱构成，支柱固定面上设有静轮叶片；所述静轮的叶片内、外侧均无固定环设置。
2、根据权利要求1所述的双重拖动分子泵，其特征在于：所述静轮叶片与支柱一体成型；所述静轮的叶片内、外侧均无固定环设置。
3、根据权利要求1所述的双重拖动分子泵，其特征在于：所述静轮的叶片与其外侧固定环一体成型；所述静轮的叶片内侧无固定环设置。
4、根据权利要求1所述的双重拖动分子泵，其特征在于：若干并联静轮共用一个框架，每个支柱设有一个固定面，固定倾斜方向相同的整体叶片。
5、根据权利要求1所述的双重拖动分子泵，其特征在于：若干串联静轮共用一个框架，每个支柱上设有两个固定面，分别固定不同倾斜方向的叶片。
6、根据权利要求1所述的双重拖动分子泵，其特征在于：若干级并联、串联的双重拖动分子泵抽气单元和若干并、串联的其它旋转真空泵抽气单元同轴安装，串联组合，靠近泵的进气口为若干并联的双重拖动分子泵抽气单元，靠近泵的排气口为若干串联的其它旋转真空泵抽气单元，构成卧式复合双重拖动分子泵。
7、根据权利要求6所述的双重拖动分子泵，其特征在于：所述同轴安装的若干并、串联的其它旋转真空泵选用Siegbahn分子泵抽气单元、Holweck分子泵抽气单元的一种或组合；靠近泵的排气口若干串联的泵选用Siegbahn分子泵、Holweck分子泵的一种或组合。
8、根据权利要求6所述的双重拖动分子泵，其特征在于：转子的支承所采用的双重减震结构由转子轴承外侧与轴承座之间设有的减震圈、轴承座与端盖之间设有的第二层减震圈组成。
9、根据权利要求8所述的双重拖动分子泵，其特征在于：所述第二层减震圈是充填在轴承座与端盖之间的整体减震环。
10、根据权利要求1所述的双重拖动分子泵，其特征在于：若干级并联或串联的双重拖动分子泵抽气单元和若干级并联或串联的其它真空泵抽气单元同轴安装，靠近泵的进气口的串联的涡轮分子泵抽气单元和并联的双重拖动分子泵抽气单元，靠近泵的排气口串联的其它旋转真空泵抽气单元选用Siegbahn分子泵抽气单元、Holweck分子泵抽气单元的一种或组合，构成立式复合双重拖动分子泵。
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