CN1720435A - 固体摄像元件的测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供将把测试用光照射于固体摄像元件的光学系统对固体摄像元件定位容易，能够进行高效率的测试的测试装置。具备：使来自光源的光线通过针孔照射于固体摄像元件的受光面上的光学模块(35)、具有与固体摄像元件的垫片接触的触针的探针板(20)、通过触针(21)接触应该检测的固体摄像元件的垫片的状态下的探针板(20)具有的开口(20h)，对应该测试的固体摄像元件而使光学模块(35)移动到规定的位置的电动机(30)以及支持臂(31)。

Description

固体摄像元件的测试装置

技术领域

本发明涉及使用于固体摄像元件测试装置和固体摄像元件的测试中使用的中继装置及光学模块。

背景技术

在CCD(Charge Coupled Device)及CMOS(Complementary Metal OxideSemiconductor)等固体摄像元件的制造工序中，有必要对固体摄像元件的光电变换特性进行测试，在该测试中，具有固体摄像元件在半导体晶片上形成的芯片的状态中进行的前期工程测试，和在将固体摄像元件组装形成插件后进行的后期测试工程。

在前期测试工程中，利用例如探针板，在将检测头与固体摄像元件电气连接的状态下，通过具有针孔的规定的光学系统对固体摄像元件的受光面照射检测用光。

在后期测试工程中，通过将利用机械手(handler)组装的固体摄像元件安装于插座板，使检测头与固体摄像元件电气连接，在该状态下通过具有针孔的规定的光学系统将测试用光照射到固体摄像元件的受光面上。

所述光学系统设定得使F值为规定值(或射出瞳距为规定的距离)。又，F值由针孔的直径与射出瞳距之比来决定。

根据固体摄像元件的规格和种类，为得到规定的F值，有时必须使照射光用的光学系统非常接近固体摄像元件的受光面。

但是，在光学系统和固体摄像元件之间，隔着探针板和插座板，由于其存在而制约了光学系统和固体摄像元件之间的位置关系的调整的自由度。为此，难以提高测试效率。

又，固体摄像元件利用机械手(handler)自动安装于测试装置，但机械手的定位精度也不那么高。如果所述光学系统与固体摄像元件的位置在每次检测时都有不同的偏差，则每次测定时对固体摄像元件的入射光的入射角度都有变化，固体摄像元件的输出也有波动，进行正确测定就困难了。在CCD和COMS等的固体摄像元件的情况下，已知有在各受光元件上配置微型透镜，提高等效开口率，提高灵敏度的技术，但在具备这种微型透镜的固体摄像元件中，输出的波动特别显著。

发明内容

本发明的目的是，提供在通过规定的光学系统将光照射于固体摄像元件进行光电变换特性测试时，使将测试用光照射于固体摄像元件的光学系统相对于固体摄像元件的定位更加容易，从而能够进行高效率的测试的测试装置和使用于该测试装置的中继装置及光学模块。

本发明的另一目的是，提供在将通过针孔的光照射于固体摄像元件测定特性的测试中，不降低测试效率，可以排除由针孔与固体摄像元件间的位置关系的变化所引起的测定误差的测试装置。

本发明的光学模块，是在测试固体摄像元件的光电变换特性时，与固体摄像元件的受光面相向配置，使用于对所述受光面照射测试用光的光学模块，具备：光学透镜、调整通过所述光学透镜的光的强度分布的散射板、使来自所述散射板的光通过的针孔、以及防止光从外部向从所述光学透镜到所述针孔的光路入射的遮光部。

本发明的中继装置，是在测试固体摄像元件的光电变换特性时，利用与应该测定的固体摄像元件的电气连接，传送所述固体摄像元件的光电变换特性的测定中所需要的信号的中继装置，具备：在测试固体摄像元件的光电变换特性时，与固体摄像元件的受光面相向配置，使用于对所述受光面照射测试用光的光学模块。

本发明第1观点的固体摄像元件的测试装置，是将光照射于固体摄像元件，测试该固体摄像元件的光电变换特性的测试装置，具备：使入射的光通过针孔，作为测试用光出射的光学模块、利用与所述固体摄像元件的电气连接，传送该固体摄像元件的光电变换特性的测定中所需要的信号中继单元、在所述中继单元与所述固体摄像元件电气连接的状态下，将所述光学模块移动到能够对所述固体摄像元件射出光线的位置的移动定位单元。

本发明第2观点的固体摄像元件的测试装置，是将光照射于固体摄像元件的受光面以测定特性的固体摄像元件的测试装置，具备：使通过规定的光路引导的来自光源的光通过针孔照射到所述固体光学元件的光学模块、在与所述光学模块的光轴垂直的平面内可以移动地支持所述固体摄像元件的移动台、使所述光学模块移动到所述规定光路外的移动单元、在所述光学模块移动到所述规定光路外的状态下插入到所述规定的光路，使来自所述光源射，射向所述固体摄像元件的光透过，且将照射光的所述固体摄像元件的像加以反射的半透半反镜、对所述半透半反镜所反射的像进行摄像的摄像单元、以及根据所述摄像单元拍摄的所述受光面的图像数据，使所述光学模块的光轴位于所述受光面的规定位置地控制所述移动台的控制单元。

附图说明

图1是本发明的一实施形态的固体摄像元件的测试装置的结构图。

图2是表示光学模块的结构的剖面图。

图3表示将探针板和光学模块定位于晶片的状态。

图4表示本发明第2实施形态的探针板的结构图。

图5是表示作为本发明另一实施形态的中继装置的探针板的结构图。

图6是图5的A-A线方向的剖面图。

图7是拆卸状态的光学模块的板的主体的平面图。

图8是安装于光学模块的板的主体的面一侧的图。

图9表示通过针孔使测试用光对各固体摄像元件进行照射的状态。

图10是表示作为本发明又一实施形态的中继装置的探针板的结构图。

图11是表示作为本发明又一实施形态的中继装置的探针板的结构图。

图12是表示本发明一实施形态的摄像元件的检测装置的结构图。

图13是表示转台结构的平面图。

图14表示固体摄像元件的检测前的检测装置的状态。

图15表示固体摄像元件的摄像图像的一个例子。

具体实施形态

以下参照附图对本发明的实施形态进行详细说明。

第1实施形态

图1是本发明一实施形态的固体摄像元件的测试装置的结构图。

图1中，测试装置1具有光照射部2、晶片台50及测定部70。

光照射部2具有光源3、聚光透镜4、机械狭缝5、ND滤光片转台6、滤色镜转台7、均化器9、反射镜10、均化器11、光学模块35、电动机30、支持臂31。

光学模块35是本发明的光学模块的一实施形态，电动机30与支持臂31构成本发明的模块移动单元的一实施形态。

光源3使用例如卤素灯、氙气、金属卤化物灯等。该光源3将所发出的光反射聚集于规定的方向。

聚光透镜4将发自光源2的光速聚光于机械狭缝5的方向。

机械狭缝5，如图1所示，由2个可动板5A、5B构成，利用可动板5A、5B的移动进行调整，调整形成于其间的开口5C的面积。利用调整开口5C的面积调整在聚光透镜上聚集的光的光量。

ND滤光片转台6以支持轴8为中心可旋转地支持着。该ND滤光片转台6沿圆周方向支持多种ND(中间密度；Neutral Density)滤光片。ND滤光片不改变分光组成地将透过机械狭缝5的来自光源3的光以规定的比例减少。通过使滤光片转台6旋转进行分离，选择所希望的减光量的ND滤光片。又，ND滤光片6仅仅具备开口，在不减光的情况下，使其原封不动地通过该开口。

滤色镜转台7以支持轴8为中心可旋转地支持着。该滤色镜转台7沿圆周方向支持多种滤色镜。来自光源3的光通过滤色镜以生成对应于滤色镜的颜色的波长的光。通过使滤色镜转台7旋转进行分离，选择所希望的滤色镜。又，滤色镜转台7仅仅具备通过光的开口，在不选择波长的情况下，几乎原封不动地使其通过该开口。

均化器9及均化器11由将单透镜纵横排列为矩阵状的蝇眼透镜等构成，是为使来自光源3的光的照度均匀化而设置的。

又，由聚光透镜4、机械狭缝5、ND滤光片转台6、滤色镜转台7、均化器9、反射镜10、均化器11等构成的光学系统具有调整来自光源3的光束的光量、照度、照度分布、波长等的功能。

电动机30可旋转地支持着支持臂31。

支持臂31一端与电动机30的驱动轴连接，另一端上支持着光学模块35。

当支持臂31向箭头A2的方向旋转，定位于规定的位置时，将光学模块35插入于光照射部2的光学系统的光路上，相对于晶片W定位。也就是说，光学模块35可插拔地配置于光照射部2的光学系统的光路上。

光学模块35使从均化器11输出的光线L入射，使将该光线L通过针孔照射于晶片W。又，光学模块35的具体结构将在后面叙述。

晶片台50具备搭要测试的晶片W的安装面50a。该安装面50a垂直于光照射部2的光学系统的光路。

晶片台50将安装于安装面50a的晶片W在垂直于光照射部2的光学系统的光路的晶片平面内定位。

以光照射部2的光学系统的光路的方向为z方向，垂直于z方向的平面内的相互垂直的方向为x、y方向，使晶片台50旋转的方向为θ方向，则安装面50a可以定位于x、y、z和θ方向。

探针板20具备接触形成于晶片W的CCD等固体摄像元件的垫片(pad)的触针21。

又，探针板20通过保护塔架(ポゴタワ)22支持于母板23。

通过使触针21与固体摄像元件的垫片相接触，母板23与形成于晶片W的固体摄像元件电气连接。

测定部70利用将形成于晶片W上的固体摄像元件与母板23的电气连接，对固体摄像元件提供电力，接收固体摄像元件的输出信号进行解析。

图2是表示光学模块35的结构的剖面图。

光学模块35，如图2所示，具备透镜36、散射板37、圆筒构件38、针孔板39及压紧环40。

透镜36将从上述构成的光照射部2的均化器引入的来自光源3的光聚光。该透镜36由例如BK7、石英玻璃等材料构成。该透镜36的口径H，在本实施形态为例如30mm左右。

散射板37控制光的散射、光量、照度及照度分布，使利用透镜36聚光的光的强度分布均匀化。该散射板37由例如玻璃、丙烯等树脂形成。

散射板37具备使照度分布的控制最佳化用的三维曲面。该散射板37利用球头立铣刀进行切削加工，或利用树脂射出成型得到。利用切削加工或射出成型得到规定的形状之后，利用喷砂处理使表面粗化，以此使其作为扩散板起作用。

圆筒构件38由圆筒状构件构成，在内圆上支持着透镜36、扩散板37以及针孔板39。

圆筒构件38用聚碳酸酯等树脂或铝合金等金属形成，起遮光作用。也就是说，圆筒构件38遮住从外部入射的光线。

针孔板39由厚度为30微米～1毫米左右的板构成，在光轴上具备规定直径的针孔39p。针孔板39由磷青铜、铝合金、不锈钢等金属材料形成。针孔39p的直径在本实施形态中为例如0.1mm～10mm左右。

压紧环40利用未图示的小螺钉固定在圆筒构件38上端，限制透镜36与扩散板37在光轴上的移动。

上述结构的光学模块35，设计为满足如下所述的关系式，即

h/H＝L2/L1

其中，h为形成晶片W的固体摄像元件的受光面60的宽度，L2为受光面60与针孔板39的距离，L1为扩散板37的下表面与针孔板39的距离，H为透镜36的口径。

L2、h以及H如果已经决定，就通过决定L1与扩散板37的三维曲面形状，使在扩散板37的下表面上光的分布投影于受光面60的整个面上，光的强度能够均匀分布。

下面参照图3对使用上述结构的测试装置1的固体摄像元件的测试步骤的一个例子进行说明。

首先，使探针板20的触针21与对应的固体摄像元件的垫片Pd接触。为了使探针板20的触针21与固体摄像元件的垫片Pd接触，对晶片台50的位置进行控制。

接着，使配置于光照射部2的光路外的光学模块35移动，插入光照射部2的光路内。

如图3所示，光学模块35定位于能够通过形成于探针板20的开口部20h进行测试的固体摄像元件的受光面60上。

借助于此，光照射部2的来自光源3的光L通过光学模块35照射于受光面60。

在该状态下，探针板20与固体摄像元件的垫片Pd电气连接着，固体摄像元件的光电变换特性利用母板23和测定部70进行测定。

在对下一个固体摄像元件进行测试的情况下，变更晶片W与探针板20的位置，使触针21接触新的固体摄像元件的垫片Pd。如上所述，采用本实施例，能够使生成对形成于晶片W上的固体摄像元件进行照射用的均匀的光线的光学模块35移动，使该光学模块35通过探针板20的开口部20h相对于固体摄像元件定位。因此，能够使光学模块35与探针板20不互相影响地靠近形成于晶片W上的固体摄像元件。其结果是，容易与各种固体摄像元件的测试对应。

第2实施形态

图4是本发明另一实施形态的作为中继装置的探针板的结构图。在图4中，对于与第1实施形态相同的结构部分使用相同的标号表示。

在图4中，本实施形态的探针板20A，在开口部20h上固定与第1实施形态相同结构的光学模块35。

光学模块35利用固定构件70加以固定。

与光学模块35的受光面60相对的位置根据测试的固体摄像元件适当调整。

探针板20A通过上述保护塔架22支持于母板23。

采用本实施形态，为了对形成于晶片W上的固体摄像元件的光电变换特性进行测试，不需要向第1实施形态那样使光学模块35移动。因此能够大幅度提高测试效率。

第3实施形态

图5是本发明另一实施形态的作为中继装置的探针板的结构图，图6是图5的A-A线方向的剖面图。

图5所示的探针板200具有板主体201、以及光学模块300。

探针板200的板主体201与上述实施形态的探针板基本功能相同，但是，在能够同时对多个(4个)固体摄像元件进行试验这点上不同。

探针板200通过上述保护塔架22支持于母板23上。

光学模块300设置于圆盘状的板主体201中央部。

如图6所示，光学模块300具备支持构件301、光学透镜302、散射板303、针孔304、以及盖构件305。

支持构件301上形成用于形成光路的多个孔301h，该孔301h的底部形成针孔304。

在支持构件301的孔301h的内周，支持着光学透镜302和散射板303。光学透镜302支持于孔301h的上端侧，散射板303支持于邻近该光学透镜302之处，与针孔304保持距离。

支持构件301用不透光的材料形成。支持构件301是本发明遮光部的一个实施形态。

又，光学透镜302、散射板303、针孔304等具有与上述实施形态的光学模块35的这些构件相同的功能。

盖构件305设置于光学透镜302上，防止光学透镜302和散射板303从支持构件301上脱落。在盖构件305上，与各光学透镜302对应，形成使光线透过用的开口部305h。

板主体200与多个固体摄像元件对应具备触针205。

图7是取下光学模块300的状态下的板主体的平面图，图8是光学模块300的安装于板主体上的面的一侧的图。

如图7所示，板主体200在安装部202的内侧具有矩形的开口部203。

在安装部202上，形成用于将光学模块300固定于安装部202的螺杆301拧入用的螺丝孔202h。

又，安装部202上，在两处设置圆柱状的定位销202p1、202p2。

另一方面，在光学模块300上形成用于嵌入定位销202p1、202p2的定位孔302p1、302p2。定位孔302p1是圆形孔，定位孔302p2是长孔。

通过将定位销202p1、202p2与定位孔302p1、302p2嵌合，将光学模块300正确地定位于板主体200的规定位置上。

还有，也可以将定位销202p1、202p2设置于光学模块300一侧，将定位孔302p1、302p2形成于安装部202上。

如图9所示，在使如上所述构成的探针板200的触针205与晶片W上的各固体摄像元件60的垫片接触的状态下，对各光学透镜302照射光L，于是，测试用光通过各针孔304照射于各固体摄像元件60。

这时，各散射板303靠近光学透镜302配置，与针孔304保持距离，因此，从各针孔304照射的光线不向侧方扩散，相邻的测试用光不相互干涉。

也就是说，越使散射板303向针孔304一侧靠近，由于散射板303的作用使测试用光扩散，来自相邻的针孔304的测试用光容易相互干涉，但是，将散射板303靠近光学透镜302配置，使其与针孔304保持距离，可以抑制测试用光的扩散。

第4实施形态

图10是本发明又一实施形态的作为中继装置的探针板的结构图。

图10所示的针孔板200A，其基本结构与第3实施形态中说明的探针板200相同，但是，具备遮光板350这点上是不同的。遮光板350是本发明的遮光单元的一实施形态。

遮光板350设置于光学模块300A的支持构件的下表面，是为了防止从相邻的针孔304照射的测试用光相互干涉而设置的。

还有，遮光板350也可以与支持构件301成一整体地形成于其上。

在本实施形态中，即使通过设置遮光板350，使散射板303靠近针孔304一侧，也能够防止相邻的针孔304照射出的测试用光相互干涉，能够扩大设计自由度。

第5实施形态

图11是本发明再一实施形态的作为中继装置的探针板的结构图。

图11所示的探针板200B，其基本结构与第3实施形态说明的探针板200相同，但是，具备共同扩散板360这点上不同。遮光板350是本发明的遮光单元的一实施形态。

共同散射板360在多个光学透镜302上共同配置，是为了使入射到各光学透镜302的光线的入射角均匀化而设置的。

例如，如图11所示，如果将光源400配置于光学模块300B上照射光线，则由于各光学透镜302的位置而使光的入射角度改变。因此，从各针孔304射出的测试用光的强度分布容易发生不均匀，测试用光的条件容易发生波动。

利用设置共同的扩散板360的方法，使射入各光学透镜302的光线的入射角均匀化，使从各针孔304射出的测试用光的条件均匀化。

其结果是，能够同时以相同条件的试验光对多个固体摄像元件进行测试。

第6实施形态

图12是本发明一实施形态的固体摄像元件的测试装置的结构图。在图12中，与第1实施形态相同的结构部分使用相同的标号表示。

在图12中，测试装置140具有光照射部2、X-Y台30、控制装置150以及测定装置160。还有，X-Y台30是本发明的移动台的一实施形态，控制装置150是本发明的控制单元的一实施形态。

光照射部2具有光源3、聚焦透镜4、机械狭缝5、ND滤光片转台6、滤色镜转台7、均化器9、反射镜10、均化器11、光学模块35、转台16、半透半反镜12、以及CCD摄像机15。

光源3、光学模块35、半透半反镜12及CCD摄像机15分别是本发明的光源、光学模块、半透半反镜以及摄像单元的一实施形态。

在这里，图13是表示转台16的结构的平面图。

如图13所示，转台16在同一圆周上等间隔地设置多个光学模块35。又，设置光学模块35的圆周上形成开口16a。

在转台16的设置光学模块35的位置上，分别形成比开口16a直径小的开口16b。

转台16如图12所示，由分出机构18可旋转地加以支持。利用分出机构18将转台16分成所希望的旋转角度，以将任意光学模块35或开口16a配置于上述光学系统的光路上。

又，光学模块35与上述第1实施形态结构相同，但是，多个光学模块35分别具有不同的光学特性。

回到图12，半透半反镜12由移动机构13支持，利用该移动机构13，能够将光照射部2插入光学系统的光路中(均化器11与光学模块35之间)。

该半透半反镜12在上述光路中使来自均化器11一侧的光线透过，同时，使模块35一侧的像反射到与光路垂直的方向上。

CCD摄像机15配置于能够对半透半反镜12反射的像进行摄像的位置。该CCD摄像机15将拍摄的图像数据输出到控制装置150。

控制装置150根据从X-Y台30得到的位置信息Ps对X-Y台30进行驱动控制。位置信息Ps利用设置于X-Y台30的X轴和Y轴方向上的线性测定仪等位置检测器检测。

又，控制装置150如下所述保存配置于上述光学系统的光路上的光学模块35的光轴位置数据，根据该光学模块35的光轴的位置数据，决定应该使X-Y台30移动的目标位置。

X-Y台30具备安装应该测试的固体摄像元件170的安装面30a。该安装面30a垂直于光照射部2的光学系统的光路。

X-Y台30在垂直于光照射部2的光学系统的光路的X-Y平面内对安装面30a上安装的固体摄像元件170进行定位。

又，X-Y台30的安装面30a的规定位置上安装的固体摄像元件170与测定装置160电气连接。

测定装置160通过与固体摄像元件170电气连接，对固体摄像元件170提供电力，接收固体摄像元件170的输出信号进行分析等。

又，下面参照图14对使用具有上述结构的测试装置140的固体摄像元件的测试步骤的一个例子进行说明。

图14表示固体摄像元件的测试前的测试装置140的状态。

首先，利用机械手将应该测试的固体摄像元件170定位于X-Y台30的安装面30a的规定位置(可以从光照射部2照射光线的位置)上。

这时，通常机械手的定位精度没有固体摄像元件170具有的各受光元件之间的间距那么高。

从该状态，如图14所示，驱动移动机构13将半透半反镜12插入光照射部2的光学系统的光路中。

又，又将转台16分出，使转台16的开口16a配置于光照射部2的光学系统的光路中。又从光源3射出光线进行照射。

从光源3来的光线通过该光路的引导，透过半透半反镜12，再通过转台16的开口16a照射于固体摄像元件170。

这时，光在比固体摄像元件170的外形更宽得多的范围照射。因此，固体摄像元件170的整个像被半透半反镜12所反射，由CCD摄像机15拍摄固体摄像元件170的整个像。拍摄的图像数据被输入到控制装置150。

在这里，图15表示由CCD摄像机15拍摄的固体摄像元件170的整体的像的一个例子。

如图15所示，固体摄像元件170具有多个受光元件纵横排列的矩形形状的受光部170a和包围受光部170a的周边部170b。

以对固体摄像元件170整体照射光线的状态，利用CCD摄像机15对固体摄像元件170整体摄像时，受光部170a和周边部170b的图像浓淡不同。例如，受光部170a明亮，周边部170b为比较暗的图像。因此，图像数据中，在受光部170a和周边部170b之间有清晰的边界。

控制装置150从上述图像数据中提取出受光部170a，计算出提取出的受光部170a的重心位置G的X-Y坐标。该重心位置G的X-Y的坐标的计算利用众所周知的图像处理技术进行。

接着，控制装置150将计算出的受光部170a的重心位置G的X-Y坐标与预先存储的上述光学系统的光路上配置的光学模块35的光轴的位置P₀的X-Y坐标进行比较。该位置P₀的X-Y坐标是光学模块35的针孔的中心轴的坐标。计算该重心位置G与位置P₀的位置偏差E。

接着，控制装置150驱动X-Y台30，以取消位置偏差E。以此使固体摄像元件170的重心位置G与预先存储的光学模块17的光轴的位置P₀大致一致。

接着，如图13所示，使半透半反镜向光路外移动，在进行用于测试的光学模块35的分出。

借助于此，来自光源的光线通过光学模块35的针孔照射在固体摄像元件170上。

一旦光线通过光学模块35的针孔照射到固体摄像元件170上，在固体摄像元件170的各受光元件上发生光电变换，电信号被输入到测定装置160。

测定装置160根据来自固体摄像元件170的电信号对固体摄像元件170的光电变换特性进行测定。

如上所述，在本实施形态中，每当通过光学模块35的针孔对固体摄像元件170照射光线测定该固体摄像元件170的光电变换特性时，首先利用光照射部2的光源3的光线，取得固体摄像元件170的受光面170a的图像数据。根据该图像数据计算出受光面170a的作为基准的位置，例如重心位置。

计算出的重心位置与预先存储的针孔的中心轴(光轴)不一致的情况下，驱动X-Y台30，使其一致。

这样，在通过光学模块35的针孔对固体摄像元件170照射光线时，针孔与受光面170a通常保持一定位置关系。

其结果是，向固体摄像元件170射入的光线的入射角度在每一次测定中是一致的，固体摄像元件170的输出没有波动，固体摄像元件170的光电变换特性就能够正确测定。特别是，在各受光元件上配置微型透镜，能够提高等效开口率，灵敏度得到提高的固体摄像元件的测定精度能够大幅度提高。

又，采用本实施形态，利用光照射部2的光源3，在光照射部2的光路中插入半透半反镜，利用预先设定于光照射部2的CCD摄像机15对固体摄像元件170的受光面170a的图像进行摄像。因此，在固体摄像元件170的一连串的测试工作中，能够包含光学模块35的针孔与固体摄像元件170的位置配合操作，将测试效率的降低限制于最低限度。

本发明不限于上述实施形态。

在上述实施形态中，采用将固体摄像元件安装于X-Y台30上，通过对X-Y台30进行驱动，使光照射部2的光轴与固体摄像元件170的受光面200a的重心位置G一致的结构。另一方面，也可以采用使光照射部2一方为可动，将固体摄像元件170安装于固定台上的结构。

又，在第1实施形态中，对本发明的移动位置定位单元使用电动机与保持臂的情况进行了说明，但是，只要是能够与探针板20不相互妨碍地移动、定位的单元，本发明不限于此。通过采用这样的结构，可以进一步提高测试效率。

如上所述的第1～第5实施形态中，对本发明的中继单元和中继装置采用探针板的情况进行了说明，但是本发明不限于此。

例如，也包含检查插座板等检查封装的固体摄像元件时用的部件、探针板和与插座板连接的母板也包含于中继单元和中继装置中，又，将连接探针板和插座板与母板连接的状态下的构件也可以作为中继单元和中继装置。在这些板类构件上形成开口部，同时设置本发明的光学模块即可。光学模块的设置场所也可以是板类构件以外，也可以采用插座等。

工业上的实用性

本发明可以使用于CCD(Charge Coupled Device)及CMOS(ComplementaryMetal Oxide Semiconductor)等固体摄像元件的测试中。

Claims (16)

1.一种光学模块，是在测试固体摄像元件的光电变换特性时，与固体摄像元件的受光面相向配置，使用于对所述受光面照射测试用光的光学模块，其特征在于，具备

光学透镜、

调整通过所述光学透镜的光的强度分布的散射板、

使来自所述散射板的光通过的针孔、以及

防止光从外部射入从所述光学透镜到所述针孔的光路的遮光部。

2.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，

具有多个所述光学透镜、所述散射板、以及所述针孔对。

3.根据权利要求2所述的光学模块，其特征在于，

还具有防止从相邻的所述针孔射出的光相互干涉用的遮光单元。

4.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，

所述散射板具备调整光的强度分布用的三维曲面。

5.根据权利要求2所述的光学模块，其特征在于，

还具有使入射到多个所述光学透镜的光的入射角均匀化用的共同的散射板。

6.根据权利要求2所述的光学模块，其特征在于，

所述散射板与所述针孔保持距离，靠近所述光学透镜配置。

7.一种中继装置，是在测试固体摄像元件的光电变换特性时，通过与应该测定的固体摄像元件电气连接，传送所述固体摄像元件的光电变换特性测定所需要的信号的中继装置，其特征在于，具备

在测试固体摄像元件的光电变换特性时，与固体摄像元件的受光面相向配置，使用于对所述受光面照射测试用光的光学模块。

8.根据权利要求7所述的中继装置，其特征在于，具有

安装所述光学模块的安装部、以及

对所述安装部和所述光学模块进行定位的定位单元。

9.根据权利要求8所述的中继装置，其特征在于，

所述定位单元具有设在所述光学模块一侧的定位销和插入定位销的定位孔。

10.根据权利要求8所述的中继装置，其特征在于，

所述安装部具有通过所述光学模块出射，使射向固体摄像元件的受光面的光通过的开口。

11.根据权利要求7所述的中继装置，其特征在于，

所述光学模块具有

光学透镜、

调整通过所述光学透镜的光的强度分布的散射板、

使来自所述散射板的光通过的针孔、以及

防止光从外部向从所述光学透镜到所述针孔的光路入射的遮光部。

12.一种测试装置，是将光照射于固体摄像元件，测试该固体摄像元件的光电变换特性的测试装置，其特征在于，具有

使入射的光通过针孔作为测试用光出射的光学模块、

通过与所述固体摄像元件电气连接，传送该固体摄像元件的光电变换特性的测定中需要的信号的中继单元、以及

在所述中继单元与所述固体摄像元件电气连接的状态下，将所述光学模块移动到光能够对所述固体摄像元件射出的位置的移动定位单元。

13.根据权利要求12所述的测试装置，其特征在于，

所述中继单元具有使所述光学模块与所述固体摄像元件的受光面相向用的开口部，

所述定位单元将所述光学模块定位于通过所述开口部可以照射到所述固体摄像元件的受光面的位置。

14.根据权利要求12所述的测试装置，其特征在于，

所述光学模块具有

光学透镜、

调整通过所述光学透镜的光的强度分布的散射板、

使来自所述散射板的光通过的针孔、以及

防止光从外部向从所述光学透镜到所述针孔的光路入射的遮光部。

15.一种测试装置，是将光照射于固体摄像元件的受光面以测定特性的固体摄像元件测试装置，其特征在于，具有

使通过规定的光路引导的来自光源的光通过针孔照射到所述固体光学元件的光学模块、

在与所述光学模块的光轴垂直的平面内可移动地支持所述固体摄像元件的移动台、

使所述光学模块移动到所述规定光路外的移动单元、

在所述光学模块移动到所述规定光路外的状态下插入到所述规定的光路，使来自所述光源射向所述固体摄像元件的光透过，并且将照射光的所述固体摄像元件的像加以反射的半透半反镜、

对所述半透半反镜反射的像进行摄像的摄像单元、以及

根据所述摄像单元拍摄的所述受光面的图像数据控制所述移动台，使所述光学模块的光轴位于所述受光面的规定位置的控制单元。

16.根据权利要求15所述的固体摄像元件测试装置，其特征在于，

所述控制单元根据所述图像数据计算所述受光面的重心位置，根据该重心位置和预先存储的所述光学模块的光轴的位置数据，控制所述移动台。

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