CN1712903A - 线性编码器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种线性编码器，其具备光源、施加了具有固定间距的测长图案的主尺、安装了具有固定间距的测长图案的标准尺、光接受元件，利用上述光接受元件检测由于上述主尺和上述标准尺的相对移动造成的上述测长图案的重叠的明暗，由此，测量移动量，该线性编码器，具备检测施加在了主尺上的测长图案的终端部的终端部检测单元，并将检测出的终端部的位置作为原点。

Description

线性编码器
技术领域
本发明涉及线性编码器，尤其涉及线性编码器的原点检测。
背景技术
一般，线性编码器是以求出直线运动的移动体的移动量和位置为目的的装置。这种线性编码器通过输出与安装在移动体的移动部的主尺和安装在移动体的固定部位上的标准尺的相对位置变化对应的位置检测信号，从而求出移动体的移动量和位置。在线性编码器中，有求取相对位置的增量型的线性编码器和求取绝对位置的绝对型的线性编码器。
因为增量型的线性编码器求出的位置仅是简单地计数检测输出而没有基准点，所以只能表示移动体的相对位置。与此相对，因为在绝对型的线性编码器中要求出绝对的位置，所以必须检测原点位置。
普通的绝对型线性编码器，通过光电扫描主尺和标准尺上的相对位置检测用的周期性图案来求出相对位置，进而通过光电扫描主尺和标准尺上的原点检测用的图案，来求出绝对位置(参考特开2002-286505号公报)。
图8是说明现有线性编码器结构的一个例子的图。线性编码器，是由主尺3、可以相对该主尺移动的标准尺6、夹住该主尺3和标准尺6的、配置在一侧的光源以及配置在另一侧的光接受元件构成。
在主尺3和标准尺6上，分别设有由使来自光源的光周期性地透射或者遮光或者反射的周期性的图案组成的相对位置检测用的图案5和7。相对位置检测用的光源1的光，通过主尺3上的相对位置检测用的图案5和标准尺6上的相对位置检测用的图案7，并由相对位置检测用的光接受元件9进行检测出来。
另外，在主尺3和标准尺6上，分别设置有由使来自光源的光周期地透射或者遮光或者反射的周期性的图案组成的绝对位置检测用的图案4和8。绝对位置检测用的光源2的光，通过主尺3上的绝对位置检测用的图案4和标准尺6上的绝对位置检测用的图案8，并由绝对位置检测用的光接受元件10检测出来。
利用上述结构的相对位置检测用的光接受元件9的检测输出来求出相对位置，并利用绝对位置检测用的光接受元件10的检测输出来求出原点位置。
在现有的绝对位置线性编码器中，如上所述，为了求出原点，在主尺和标准尺上形成原点检测用的图案，为了检测该原点形成用的图案必需原点检测用的光源和光接受元件。
另外，在没有尺上的原点检测用的图案的线性编码器中为了检测绝对位置，就必须在移动体上安装另外的原点检测用的装置。
发明内容
本发明通过将主尺上的相对位置检测用的周期性的图案的终端部视为原点，无须在尺上设置原点检测用的图案，无须另外设置另外的原点检测用的装置，就可以检测出移动体的绝对位置。
本发明的线性编码器，具备：光源、施加了固定间距的测长图案的主尺、安装了具有固定间距的测长图案的标准尺、和光接受元件。利用上述光接受元件来检测由于上述主尺和上述标准尺的相对移动造成的上述测长图案的重叠的明暗变化，由此测量移动量。该线性编码器，具备检测出在上述主尺上施加的测长图案的终端部的终端部检测单元，并以利用上述终端部检测单元检测出的终端部的位置为原点。
在上述主尺上，也可以在设计了上述测长图案的部分的外侧形成光透射面、光遮断面、光反射面、光散射面、光吸收面中的任何一种，上述终端部检测单元，根据上述光接受元件检测出的上述光透射面的光透射、光遮断面的遮光、光反射面的光反射、光散射面的光散射或者光吸收面的光吸收来检测上述光透射面、光遮断面、光反射面、光散射面或者光吸收面，从而检测上述测长图案的终端部。
进而，上述光接受元件，具备在相同位置接受使相位相互不同的光的A相光接受部和B相光接受部，上述终端部检测单元，也可以将上述A相光接受部的光强度和上述B光接受部的光强度都在规定值之上或者之下的位置作为上述测长图案的终端部来进行检测。
另外，上述光接受元件，具备在相同位置接受使相位相互不同的光的A相光接受部和B相光接受部，还分别具备对于上述A相光接受部和上述B相光接受部具有π的奇数倍的相位差的XA相光接受部和XB相光接受部，上述终端部检测单元，在将上述A相光接受部的光强度设为A，将XA相光接受部的光强度设为XA，将B光接受部的光强度设为B，将XB相光接受部的光强度设为XB的时候，还可以将(A-XA)2+(B-XB)2的值小于或等于规定值的位置作为上述测长图案的终端部来进行检测。其中，XA相叫做A相的反相，XB相叫做B相的反相。
根据本发明，不仅无需在尺上设置原点检测用的图案，而且也无需另外的原点检测用的装置，就可以检测出移动体的绝对位置。
附图说明
图1是本发明的线性编码器的概略图；
图2是用于说明主尺的相对位置检测用的图案和终端部的感光输出的状态的图示；
图3是通过A相输出和B相输出求取原点输出的电路的例子；
图4是通过A相输出和B相输出求取原点输出的信号图；
图5是用于说明主尺的相对位置检测用的图案和终端部的感光输出的状态的图示；
图6是通过各相输出求取原点输出的电路的例子的图；
图7是通过各相输出求取原点输出的信号图；
图8是用于说明现有线性编码器的构成例子的图示。
符号说明
3                   主尺
6                   标准尺
5、7                相对位置检测用的图案
7A、7XA、7B、7XB    相对位置检测用的图案
9                   相对位置检测用的光接受元件
9A                  A相光接受部
9B                  B相光接受部
9XA               XA相光接受部
9XB               XB相光接受部
11                图案的终端部
12                光阻挡面
23、25            减法器
24、26            运算器
27                加法器
28                比较器
具体实施方式
在图1中，线性编码器由主尺3、可以相对上述主尺移动的标准尺6、夹住上述主尺3和上述标准尺6的、配置在一侧的光源以及配置在另一侧的光接受元件构成。在主尺3和标准尺6上，设置使来自相对位置检测用的光源1的光周期性地透射或者遮光或者反射的周期性的图案组成的相对位置检测用的图案5和7。相对位置检测用的光源1的光，通过主尺3上的相对位置检测用的图案5和标准尺6上的相对位置检测用的图案7，并由相对位置检测用的光接受元件9进行检测。
另外，上述周期性的图案，也可以做成使光透射或者遮光的图案、使光反射或者透射的图案、使光反射或者散射或者吸收的图案等。
在主尺3上形成的相对位置检测用的图案5的两端侧或者一端侧，将图案的终端部11作为分界并使其外侧作为光遮断面。上述光遮断面在图案终端部11的更外侧，与主尺的位置无关总是将来自相对位置检测用的光源1的光遮断，并使光不通过相对位置检测用的光接受元件9。这样，因为相对位置检测用的光接受元件9的感光强度不超过规定强度，所以可以从上述感光强度的变化中检测出位于主尺的终端部。
上述图案终端部11的图案外侧的形式不限于上述的光遮断面，也可以是光反射面、光散射面、光吸收面。
在将图案终端部11的图案外侧作为光透射面的方式下，将图案终端部11作为分界并使其外侧作为光透射面。上述光透射面在图案终端部11的更外侧，与主尺的位置无关总是透射来自相对位置检测用的光源1的光，并使光通过相对位置检测用的光接受元件。这样，因为相对位置检测用的光接受元件的感光强度超过了规定强度，所以可以根据该感光强度变化检测出位于主尺的终端部。
另外，在将图案终端部11的图案外侧作为光散射面的方式下，将图案终端部11作为分界并使其外侧作为光散射面。该光散射面在图案终端部11的更外侧，与主尺的位置无关总是散射来自相对位置检测用的光源1发出的光，并使光不通过相对位置检测用的光接受元件。这样，因为相对位置检测用的光接受元件的感光强度没有超过规定强度，所以可以根据上述感光强度变化检测出位于主尺的终端部。
另外，在将图案终端部11的图案外侧作为光吸收面的方式下，将图案终端部11作为分界并使其外侧作为光吸收面。该光吸收面在图案终端部11的更外侧，与主尺的位置无关总是吸收来自相对位置检测用的光源1的光，使光不通过相对位置检测用的光接受元件。这样，因为相对位置检测用的光接受元件的感光强度没有超过规定强度，所以可以根据该感光强度变化检测出位于主尺的终端部。
在标准尺6上，形成了相对位置检测用的图案7A、与其有π/2的整数倍的相位差的相对位置检测用的图案7B。该相对位置检测用的图案7A、7B，在与主尺3上形成的相对位置检测用的图案5对向的同时，可以沿着相对位置检测用的图案5相对主尺3进行相对移动。相对位置检测用的图案7A和相对位置检测用的图案7B，例如，通过错开图案的光透射部和光遮断部的间距的1/4的整数倍来形成π/2的整数倍的相位差。
相对位置检测用的光接受元件9，具备：与标准尺6的相对位置检测用的图案7A相对应的A相光接受部9A、与标准尺6的相对位置检测用的图案7B相对应的B相光接受部9B。
在检测主尺3的相对位置检测用的图案5的时候，在A相光接受部9A检测出的检测输出和B相光接受部9B检测出的检测输出中有π/2的整数倍的相位差，根据该相位差是领先相位还是滞后相位来检测主尺3和标准尺6的相对移动方向。
还具备：输出与A相光接受部9A仅错开了π的奇数倍相位的感光信号的反相A相光接受部7XA、输出与B相光接受部9B仅错开了π的奇数倍相位的感光信号的反相B相光接受部7XB。
原点位置，如以下所述，除了可以通过上述的A相光接受部9A的感光输出和B相光接受部9B的感光输出求取之外，还可以通过上述A相光接受部9A的感光输出和B相光接受部9B的感光输出、以及反相A相光接受部9XA的感光输出和反相B相光接受部9XB的感光输出来求取。
下面利用将图案终端部11的图案外侧的形态作为光遮断面的例子进行说明。
图2A～2D是用于说明主尺3的相对位置检测用的图案和终端部的感光输出的状态的图，图2A表示主尺3，图2B表示标准尺6，图2C表示A相光接受部9A的感光输出，图2D表示B相光接受部9B的感光输出。
在图2A中，主尺3以相对位置检测用图案5的终端部11作为分界，并在其外侧端设置遮断相对位置检测用的光源1发出的光的光遮断面12。本发明，将该图案的终端部11作为尺的原点来对待，无需原点检测用的图案和装置，就可以通过检测图案终端部11来检测原点。
标准尺的相对位置检测用的图案7A和7B与相对位置检测用的图案5相对的时候，A相光接受部9A和B相光接受部9B的感光输出如图2C和图2D所示，伴随着相对移动而变化。
与此相对，若脱开相对位置检测用的图案7A和7B与相对位置检测用的图案5的终端部11并使其与光遮断面12相对，则会因为光没有到达A相光接受部9A和B相光接受部9B，而如图2C、图2D的虚线的右方所示，感光输出降低。另外，终端部右方的感光输出的强度是偏移。
该光遮断面12的感光输出强度，因为没有显示相对位置检测用的图案5下的周期性的变化，所以可以通过检测该强度变化来检测图案终端部11。因此，可以通过使该图案终端部11作为原点来检测线性编码器的原点。
图3是根据求出A相输出和B相输出求出原点输出的电路的例子，图4A～图4E是信号图。另外，在这些图中，“A相”表示A相光接受部7A的感光输出，“B相”表示B相光接受部7B的感光输出。
图3表示的电路的例子，可以由使A相输出与规定强度的比较用的信号Vref进行比较的比较器20、使B相输出与规定强度的比较用的信号Vref进行比较的比较器21、取比较器20、21的比较输出的逻辑积(AND)的AND电路22构成。
图4A表示A相输出，图4B表示B相输出，在图4A和图4B中，虚线表示比较用信号Vref的电平。另外，图中的P表示图案终端部11。在图案终端部11的外侧形成了光遮断面并由此来遮断光的透射，所以A相输出和B相输出的输出强度同时降低。
图4C和图4D表示将比较用信号Vref作为阈值来进行比较的A相和B相的各个比较结果。图4E表示A相和B相的比较结果的逻辑和，在终端部P的相对位置检测用的图案5的一侧为“0”，在光遮断面的一侧为“1”。
因为在主尺3中，终端部P无论与标准尺6的相对位置无关总是不变的，所以，可以将该终端部P做为原点。
在上述的例子中，利用A相输出和与其相位不同的B相输出检测终端部，并求出原点位置。接下来，代之以，对利用A相输出和与其相位不同的B相位输出、以及与A相反相(XA相)的输出和与B相反相(XB相)的输出来检测终端部并求出原点位置的例子进行说明。通过利用这四个感光输出，就可以降低由于包含在感光输出中的偏移量造成的检测误差。
图5A～图5F是用于说明主尺的相对位置检测用的图案和终端部的感光输出的状态的图。
图5A表示主尺3，图5B表示标准尺6，图5C和图5D表示A相光接受部9A和XA相光接受部9XA的感光输出，图5E和图5D表示B相光接受部9B和XB相光接受部9XB的感光输出。
在图5A中，与图2A相同，主尺3以相对位置检测用的图案5的终端部11作为分界，在其外侧设置有遮断相对位置检测用的光源1发出的光的光遮断面12。在该例子中也与上述例子相同，将该图案终端部11作为刻度表的原点对待，无需原点检测用的图案和装置，就可以通过检测图案终端部11来检测原点。
在标准尺的相对位置检测用的图案7A、7XA、7B、7XB在朝向相对位置检测用的图案5的期间，A相光接受部9A、XA相光接受部9XA、B相光接受部9B、XB相光接受部9XB的感光输出，分别如图5C、图5D、图5E、图5F所示，伴随相对移动而变化。
与此相对，如果相对位置检测用的图案7A、7XA、7B、7XB错开相对位置检测用的图案5的终端部11并与其外侧的光遮断面12相对，则因为光没有到达A相光接受部9A、XA相光接受部9XA、B相光接受部9B，所以如图5C～图5F的虚线的右方所示，感光输入有所下降。另外，图示的终端部的右方的感光输出的强度是偏移部分。
该光遮断面12上的感光输出强度，因为不表示相对位置检测用的图案的周期性的变化，所以可以通过检测该强度变化来检测图案终端部11。通过将该图案终端部11做为原点，可以检测出线性编码器的原点。
图6是根据A相输出和XA相输出、B相输出和XB相输出来求出原点输出的电路的例子，图7A～图7G是信号图。另外，此处，A相输出是A相光接受部7A的感光输出，XA相输出是XA相光接受部7XA的感光输出，B相输出是B相光接受部7B的感光输出，XB相输出是XB相光接受部7XB的感光输出。
图6表示的电路的例子，可以由下述部分构成：计算A相输出和XA相输出的差分的减法器23、计算B相输出和XB相输出的差分的减法器25、将减法器23、25的输出分别乘方的运算器24、26、将乘方以后的值相加的加法器27、和将加法器27的相加输出与规定强度的比较用的信号Vref进行比较的比较器28。另外，比较用信号Vref可以是与上述图3中利用的比较用信号Vref不同的值。
其中，若在将α设为振幅，β设为偏移量的时候，可以将A相输出表示为(αsinθ+β)、将XA相输出表示为(-αsinθ+β)、将B相输出表示为(αcosθ+β)、将XA相输出表示为(-αcosθ+β)。
上述的电路结构，与进行(A相输出-XA相输出)2+(B相输出-XB相输出)2的运算相对应。
整理上述运算，则得到：
(A相输出-XA相输出)2+(B相输出-XB相输出)2
＝((αsinθ+β)-(-αsinθ+β))2+((αcosθ+β)-(-αcosθ+β))2
＝(2αsinθ)2+(2αcosθ)2
＝4α2
在上述运算中，输出值是A相和B相的振幅α的平方的四倍，在处于相对位置检测用的图案内的时候，总为定值。另外，在标准尺的相对位置检测用的图案脱离了主尺的相对位置检测用的图案的情况下，即，在终端部(A相输出-XA相输出)和(B相输出-XB相输出)都为“0”，运算输出为“0”。
由此，可以通过监视(A相输出-XA相输出)2+(B相输出-XB相输出)2来检测绝对位置。
图7A表示A相输出，图7B表示XA相输出，另外图7D表示B相输出，图7E表示XB相输出。另外，图中的P表示终端部。因为在终端部的光遮断面侧，由光遮断面遮断了光的透射，所以，A相输出、XA相输出、以及B相输出、XB相输出的输出强度都降低。另外，图7C表示(A相-XA相)，图7F表示(B相-XB相)。
将7C和7F的差分输出值的平方相加，可以得到图7G的4α2。将比较用信号Vref作为阈值与该输出值进行比较，由此，就可以检测出终端部。
因为在主尺3中，终端部P，与标准尺6的相对位置无关总是不变的，所以可以将上述终端部P做为原点。
另外，比较用信号Vref，如果是在由尺进行位置检测时发生错误而不能检测的原点的值，亦即若是比上述4α2足够小的值，则可以设定为任意的值。另外，在上述说明中，虽然将主尺的终端部的外侧部分作为光遮断面，但是，对于取代光遮断面做成为光透射面、光散射面、光反射面的情况，也可以做成同样。
通过将本发明的主尺和标准尺上的相对位置检测用的周期性的图案的终端部视作为原点，而无须在刻度表上设置原点检测用的图案和另外设置的原点检测用的装置，来检测移动体的绝对位置的结构，并不仅限于线性编码器，也适用于圆弧状移动的编码器和旋转角度在360度以内的旋转编码器。
另外，本发明，也并不限于光学编码器，例如，作为与光透射面和光遮断面对应的部分也可以通过使用N极或者S极的磁场区域或者使用不同的磁阻，来适用于磁编码器。

Claims (8)

1.一种线性编码器，其具备光源、施加了具有固定间距的测长图案的主尺、施加了具有固定间距的测长图案的标准尺、和光接受元件，并利用上述光接受元件来检测由于上述主尺和上述标准尺的相对移动造成的上述测长图案的重叠的明暗变化，由此来测量移动量，其特征在于，
该线性编码器，
具备检测出施加在上述主尺上的测长图案的终端部的终端部检测单元，
以利用上述终端部检测单元检测出的终端部的位置作为原点。
2.根据权利要求1所述的线性编码器，其特征在于，在上述主尺上安装在施加了上述测长图案的部分的外侧形成光透射面，
上述终端部检测单元，根据上述光接受元件检测出的上述光透射面的光透射来检测该光透射面，由此，检测上述测长图案的终端部。
3.根据权利要求1所述的线性编码器，其特征在于，在上述主尺上，在施加安装了上述测长图案的部分的外侧形成光遮断面，
上述终端部检测单元根据上述光接受元件检测出的上述光遮断面的遮光来检测该光遮断面，由此，检测上述测长图案的终端部。
4.根据权利要求1所述的线性编码器，其特征在于，在上述主尺上，在施加安装了上述测长图案的部分的外侧形成光反射面，
上述终端部检测单元根据上述光接受元件检测出的上述光反射面的反射来检测该光反射面，由此，检测上述测长图案的终端部。
5.根据权利要求1所述的线性编码器，其特征在于，在上述主尺上，在施加安装了上述测长图案的部分的外侧形成光散射面或光吸收面，
上述终端部检测单元根据上述光接受元件检测出的上述光散射面或光吸收面的光散射或光吸收来检测光散射面或光吸收面，由此，检测上述测长图案的终端部。
6.根据权利要求2～5中任何一项所述的线性编码器，其特征在于，上述光接受元件具备在相同位置接受使相位相互不同的光的A相光接受部和B相光接受部，
上述终端部检测单元，将上述A相光接受部的光强度和上述B光接受部的光强度都在规定值之上或者之下的位置作为上述测长图案的终端部来进行检测。
7.根据权利要求2～5中任何一项所述的线性编码器，其特征在于，上述光接受元件具备在相同位置接受仅相位相互相差π/2的整数倍的光的A相光接受部和B相光接受部，
上述终端部检测单元，将上述A相光接受部的光强度和上述B光接受部的光强度都在规定值之上或者之下的位置作为该测长图案的终端部来进行检测。
8.根据权利要求1所述的线性编码器，其特征在于，上述光接受元件，具备在相同位置接受使相位相互不同的光的A相光接受部和B相光接受部，还分别具备对于上述A相光接受部和上述B相光接受部具有π的奇数倍的相位差的与A相反相的(XA相的)光接受部和与B相反相的(XB相的)光接受部，
上述终端部检测单元，在将该A相光接受部的光强度设为A，将XA相光接受部的光强度设为XA，将B光接受部的光强度设为B，且将XB相光接受部的光强度设为XB的时候，
将(A-XA)2+(B-XB)2的值小于或等于规定值的位置作为该测长图案的终端部来进行检测。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105203138A (zh) * 2014-06-17 2015-12-30 株式会社三丰 光学编码器和用于光学编码器的参考信号生成方法
CN106500606A (zh) * 2016-12-26 2017-03-15 清华大学深圳研究生院 一种多码道光栅尺

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5932285B2 (ja) * 2011-10-14 2016-06-08 キヤノン株式会社 エンコーダおよびこれを備えた装置
US20150160041A1 (en) * 2011-12-28 2015-06-11 Nikon Corporation Encoder, manufacturing method of encore scale manufacturing method of encoder, and driving apparatus
US10303270B2 (en) * 2016-09-12 2019-05-28 Microsoft Technology Licensing, Llc Linear encoder force transducer
FR3089288B1 (fr) 2018-11-29 2020-10-30 Safran Electronics & Defense Mesure d’une position relative d’elements mobiles

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3708681A (en) * 1971-04-01 1973-01-02 Dynamics Res Corp Position and velocity sensor
US4078173A (en) * 1976-06-24 1978-03-07 Pertec Computer Corporation Light amplitude control system for position and motion transducers
US5066130A (en) * 1988-05-10 1991-11-19 Canon Kabushiki Kaisha Displacement measuring apparatus
JP3530573B2 (ja) * 1994-04-27 2004-05-24 キヤノン株式会社 光学式変位センサ
US5929789A (en) * 1997-04-09 1999-07-27 Hewlett-Packrd Company Single channel incremental position encorder with incorporated reference mark
EP0896206B1 (de) * 1997-08-07 2002-12-11 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung
WO2000052426A1 (fr) * 1999-02-26 2000-09-08 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Codeur de valeur absolue
US6828548B1 (en) * 1999-10-26 2004-12-07 Citizen Watch Co., Ltd. Optical displacement measuring device
US6713756B2 (en) * 2000-05-09 2004-03-30 Olympus Corporation Optical encoder and optical rotary encoder
JP2002286506A (ja) 2001-03-23 2002-10-03 Citizen Watch Co Ltd 光学スケールを用いた寸法測定装置
US7312437B2 (en) * 2002-07-02 2007-12-25 Olympus Corporation Displacement sensor, method for detecting the optimal reference position, and method for judging stability of detecting the reference position of displacement sensor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105203138A (zh) * 2014-06-17 2015-12-30 株式会社三丰 光学编码器和用于光学编码器的参考信号生成方法
CN105203138B (zh) * 2014-06-17 2019-01-25 株式会社三丰 光学编码器和用于光学编码器的参考信号生成方法
CN106500606A (zh) * 2016-12-26 2017-03-15 清华大学深圳研究生院 一种多码道光栅尺
CN106500606B (zh) * 2016-12-26 2022-02-25 清华大学深圳研究生院 一种多码道光栅尺

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Publication number Publication date
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US20050285026A1 (en) 2005-12-29

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