CN1701291B - 高纯度科氏质量流量控制器 - Google Patents

Abstract

一种质量流量测量和控制装置(100)，包括一个其中安置一科氏质量流量计(50，112)的外壳(101)。科氏质量流量计(50，112)有一用高纯度塑料制成的流量管、一联接在该流量管上而用于振动该流量管的驱动器(D)和一联接在该流量管上而用于感知该振动流量管(52)的科氏偏移的传感器。夹紧阀(110，120)包括一根用高纯度塑料制成的而与该流量管成流体连通的弹性体管(126)。带有操作地连接于其上的压杆(124)的驱动器(122)安置在弹性体管(126)的邻近，而参考表面大体上安置在该压杆的对面，使得该弹性体管可在该压杆和参考表面之间受挤压。也可以提供一控制器(114)，该控制器接受从科氏流量计(50，112)来的输出信号，并响应流量计输出信号和设定点信号而向夹紧阀驱动器(112)提供一个控制输出信号。

Description

高纯度科氏质量流量控制器

相关申请的相互参考

本申请书与题为“高纯流体输送系统”、“用于精密测量超纯物料流的流量计”、“制造PFA科氏流量计的方法”、“制造带有一用氟聚合物材料制成的流量管的质量流量计”和“补偿PFA科氏流量计的方法”的美国专利申请书有关，这些专利都与本申请在同一天提出申请。这些参照申请的全部公开内容均参考合并于此。

技术领域

本发明总的涉及流体流量测量和控制，尤其涉及适用于超纯或腐蚀用途或不能与标准的金属科氏流量计兼容的其它用途的科氏质量流量控制器。

背景技术

欧洲专利申请EP0473919A1公开了一种包括一密封金属外壳的流量计，其包含一科氏流量计和一由电子致动器控制的阀。通过法兰与输入管和输出管形成连接，该流量计结合了一机械谐振器以补偿通过输入管和流量计连接的转动振动。

美国专利US3612090公开的是一流量调节器，其沿一流径以基本恒定的预定速率保持流体的流量。该流量调节器包括流体水平面指示装置；和流体水平面指示装置可操作相连的流体水平面感测装置，以产生与所述流径中的流体的流速成比例的电信号；提供参考点或设定点电信号的装置；放大在所述电信号之间的差别并且将所述放大的差别作为输出信号提供的装置；将所述输出信号施加到电化学可操作的、可变流动面积的流量控制器的装置，以控制其流动阻力并相应的控制所述流径中的流体的流速。

欧洲专利申请EP0772027A2公开了一种用于通过计量阀测量和控制在管内具有可变特性的气体的质量流量的系统。其中，安装在所述管中的科氏质量流量计被连接到所述阀的处理器单元，以计算由所述阀计算的流速的校正因子，并且由源自科氏流量计的值和源自所述阀的值之间的比率表示。当该控制状态没有引入错误到科氏流量计时，该因子被周期性更新。在一多个阀系统中，使用一个科氏流量计可以提供不同的流速。

许多工业如半导体、药物和生物技术由于典型的低流动速率、使用磨损的化学流体、使用腐蚀的化学流体与需要无污染、精确、紧凑和实时的流体输送和/或混匀系统而遭遇流体输送的问题。

一个流体输送系统通常包括三个部件：流体推进，流量测量和控制，以及一个用户接口。许多现有的系统使用一个正排量泵如蠕动泵来完成所有三项任务。该泵将流体从储存容器推进到该过程或反应器中。该泵也以依赖于泵速的或多或少恒定的速率移动该流体，虽然该蠕动泵抽动作造成流体输送速率的脉动。该用户接口由调整泵的速度或简单地开关该泵而组成。这种方法不能提供非常精确的流量控制，而且该泵的泵抽动作和内部几何形状能污染或损伤该流体。

蠕动泵不能对流量测量提供封闭的环形反馈.此外，因为它是一种体积输送系统，所以流体的量随变化的过程条件如压力、温度等等而变化.泵的管道也随时间而磨损，在泵速不变的情况下改变输送的流体体积.当该过程需要精确的流体输送时，也常常通过在一段时间后在秤上或刻度容器中手动测量流体的量来检验输送速率.图1示出一种典型的批量混匀系统.多种流体从流体A到流体N流入安置在秤12上的容器11中.一种流体在一段时间内被允许流过一个流量阀13.检验称重总量，当已经添加所需量的流体A时，就关闭阀13.用其余流体来重复同一过程.最后，获得总的混合物.如果已经添加了太多的或太少的任何流体，那么必须继续该过程，直到在某些可以接受的误差范围内已经添加了合适质量的每种流体.

另一种已知的方法使用一个水平传感器来当将每种流体加入该容器时测量混合物中每种流体的体积。这需要非常精确地知道随容器高度的微小增量而得到的容器体积。

化学一机械整平(CMP)是半导体工业中的一个关键工艺，该工艺涉及一个通过在晶片表面和一个抛光垫之间外加一种含悬浮固体粉粒和反应剂的超纯流体来磨平该晶片的表面。在大多数用途中，抛光垫以受控速度旋转而对着该半导体晶片来磨平其表面。在抛光期间，该晶片可能导致改变或除去关键的晶片结构。相反，晶片抛光不足能形成不可接受的晶片。晶片的抛光速率高度依赖于抛光操作期间流体的输送速率和所输送的流体总量。

在半导体工业中所用的需要精确控制流体流量并需要一个无污染环境的另一工艺是光刻工艺。如该技术中已知的，光刻技术是一种在晶片表面上外加一种称为阻抗剂或光阻抗剂的光敏聚合物的工艺。在阻抗剂覆盖的晶片和一光源之间安置一个包含一种有待在晶片表面上刻制的结构图形的光掩模。光通过或是减弱或是增强该阻抗聚合物而与该阻抗剂反应。在该阻抗剂对光曝光后，该晶片利用外加除去减弱的阻抗剂的流体化学品来显影。精确而可以重复的阻抗剂输送对合适地转移图形是关键的。该阻抗剂必须是无污染的，因为该表面上的任何“污物”将在最终图形上产生缺陷。

该工艺的一种改进是在晶片表面上外加大量新的液体来产生将成为最终半导体的一个整体部分的薄膜。这些薄膜的主要功用是在导电丝之间起一种绝缘体的作用。许多“围绕自旋”的材料因各式各样的化学成分和物理性能而得到重视。光刻工艺和围绕自旋式沉积法之间的主要差别是，薄膜中的任何缺陷(如空穴、气泡或粒子)现在永久地理置在半导体的结构中而不会形成不起作用的器件和半导体生产商的经济损失。

这两种工艺都在一种称为“轨道”的工具上进行。轨道的目的是向一个静止的或缓慢自旋的晶片的表面上外加一定精确体积的流体。可以使用补充的化学处理步骤来将该液体转化为适当的结构。在外加该液体后，晶片转动速度迅速增长，而晶片表面上的液体被自旋甩出边缘。以晶片的中心到边缘保持一层非常薄的厚度一致的液体。一些影响液体厚度的变数包括阻抗或介电粘度、在该阻抗剂或电介质中的溶剂浓度、悬浮的阻抗剂/电介质的量、悬浮速度等。

在利用也除去薄膜中任何溶剂的烘烤工艺将该液体变为聚合物的液体外加过程后，该轨道也将提供补充的处理步骤。该轨道也控制晶片周围的环境，以防影响薄膜性能的湿度或温度的变化和化学污染物。除了尽可能减小由空穴、气泡和粒子产生的薄膜中的缺陷外，输送到晶体表面的液体的精确度和可重复性也决定轨道系统的性能。

因此，需要一种对流体输送系统的有效、紧凑而无污染的解决办法来减少与先有技术相伴的缺点。

发明内容

按照本发明的一个方面，一种质量流量测量和控制装置包括一个其中安置一科氏质量流量计的外壳。该质量流量测量和控制装置还可包括流体入口和出口连接件，这些入口和出口连接件可安置在该外壳的一个端部上、或安置在该外壳的对置两端部上。

该科氏质量流量计有一根用高纯度塑料制成的流量管、一个联接在该流量管上而用于振动该流量管的驱动器和一个联接在该流量管上而用于感知该振动流量管的科氏偏移的传感器。一个夹紧阀包括一根用高纯度塑料制成而与该流量管成流体连通的弹性体管。一个具有一操作地连接于其上的压杆的驱动器安置在该弹性体管的邻近处，而一个参考表面大体上安置在该压杆的对面，使得该弹性体管可以在该压杆和参考表面之间受到挤压。

该流量管和夹紧阀弹性体管两者都可以用PFA制成。其次，这些管可以是一根单独的管。在其它实施例中，该夹紧阀管用一种较柔性的材料如硅酮制成。在某些示范的实施例中，一个控制器接受一设定点信号和一个从该科氏流量计来的输出信号并向该夹紧阀驱动器提供一个与其相应的控制输出信号。该控制器可以安置在该外壳内，也可在其外部。相似地，该夹紧阀可以安置在该外壳内，或者连接在其外表面上。

附图说明

在阅读下列详细描述和参照附图后，将能清楚本发明的其它目的和优点。附图中：

图1示意地例示一种现有技术的离线混合系统；

图2是按照本发明的一个示范实施例来例示一种质量流量测量和控制装置的框图；

图3是按照本发明的另一示范实施例来例示一种质量流量测量和控制装置的框图；

图4是按照本发明的又一示范实施例来例示一种质量流量测量和控制装置的框图；

图5是按照本发明的一种高纯度科氏质量流量计的透视图；

图6示意例示一种按照本发明的高纯度夹紧阀；

图7是例示按照本发明的一个示范实施例的一种在其一侧具有流体入口和出口连接件的质量流量测量和控制装置的框图；

图8是按照本发明的一种科氏质量流量计和夹紧管组件的透视图；

图9A示意地例示按照本发明的一种高纯度压力变换器；

图9B例示一种包含一封装的蓝宝石传感器的高纯度压力变换器的替换的实施例；

图10和11分别是按照本发明的一个示范实施例的一种一体化的科氏质量流量控制器后视和前视透视图；

图12是图10和11中示出的该一体化的科氏质量流量控制器的分解图；以及

图13是图10～12中示出的该一体化的科氏质量流量控制器的夹紧阀组件的放大图。

虽然本发明可以有各种修改和替代形式，但这里详细描述附图中的已作为例子示出的其特定的实施例。但是，应当理解，这里关于特定实施例的描述并不将本发明限制在所公开的特定形式，相反，本发明包括落在由所附技术方案所限定的本发明的精神和范围之内的所有修改、等效内容和替代内容。

具体实施方式

下面描述本发明的图示实施例，为清楚起见，本说明书中并不描述实际实施情况的所有特点。当然可以理解，在任何此种实际实施例的发展中，必须做出许多有关实施情况的特殊决定来达到发展者的特定目的，如与系统有关的和商业有关的限制的一致性，后者将随不同的实施情况而变化。此外，将会理解，这样一种发展努力可能复杂而费时，但对于本发明的普通专业人员，拥有本公开的优点是一种常规的任务。

图2示意地例示一种高纯度质量流量测量和控制装置100，用于按照本发明的示范实施例来控制一种工艺过程物料。控制装置101包括一个具有流体入口102和流体出口103的外壳101。外壳101中安置一个科氏质量流量计112。科氏质量流量计112有一用高纯度塑料制成的流量管，以避免由于向工艺过程物料转移不需要的(如金属)离子而造成的过程流体的污染。夹紧阀110。与流量计112流体连通，该阀也有用高纯度塑料制成的部件，以免将离子转移给工艺过程物料。在图2的框图中，阀110示作完全安置在外壳101中。在一些实施例中，阀的一部分或整个阀连接在外壳101的外表面上。

控制器114从流量计112接受一个设定点信号和一个输出信号。控制器114调节和处理从流量计来的信号并向阀110输出一个控制信号，以改变基于该设定点和测得流动速率的比较的工艺过程物料的流动速率。通向控制器114的设定点输入通常是一个电子信号如0～5V、4～20mA信号或一个数字信号。也可以使用一个气动设定点接口。一种合适的设定点发生器是可从美国宾夕法尼亚州约克市的红狮控制器公司买到的P48型过程控制器。

控制器114也可以有一个通常称为阀过载的特点，在该处将一个附加信号送往控制器114。该过载信号导致控制器114忽略设定点而完全打开或关闭阀110。该特点常常用于中断流动或冲洗该系统。在图2中，控制器114被图示为安置在外壳101内，形成一个整体的流量控制系统。但是，在其它实施例中，控制器位于外壳101的外面。

阀110调节通过装置100的流量，它也提供一种缓冲来抵抗管线压力的变化。阀110或者能够如图2中所示地安置在质量流量计112的上游，或者如图3中所示的实施例中地安置在下游。通常，最好使阀110安置在使用期间将见到最大压力变化的一侧。这有助于屏蔽流量计112的压力变化和波动。

流体控制元件和质量流量计的操作特性能够对操作压力有某种依赖。因此可能希望在该质量流量控制器中如图4中所示地设置一个用于补偿目的的压力变换器。压力变换器115、116也可以制成与流量计112整体化，或者是流量计操作所固有的。

许多用途如与半导体、药学和生物技术工业有关的用途，要求流体传递系统的流路(被该过程流体所润湿的所有表面)用高纯度的化学惰性/抗化学材料制成来保护所用化学品的纯度.希望使用塑料，因为如果由于机械和化学过程的变化而从金属流量管浸出或移出金属离子，那么就能够污染半导体晶片制造工艺中所用的超纯化学品.塑料对范围广泛的工艺过程物料都是耐腐蚀的.因此在这些工业中使用高纯级的塑料，因为它们通常能防止不需要的离子转移到工艺过程物料中.此外，塑料流量管的制造中所固有的光滑表面的精加工能减小细菌连接在管上和用有机物料污染流体的可能性.

流量计112的润湿的路径设计成使其没有可能隐藏细菌的裂纹、裂缝等。一种合适的高纯度塑料是PFA(全氟烷氧基共聚物)，这是一种具有优良抗化学和机械性能的先进氟聚合物。各种氟聚合物如PVDF(聚偏二氟乙烯)和PTFE(聚四氟乙烯)也是合适的。

除了使用高纯度塑料外，该高纯度流路应具有恒定的直径而没有阻碍或多个流路，应当避免双管传感器或弯曲流路。这尽可能减小了压力降，将对流体的剪切程度减至最小，这在某些工业和用途中是关键的。它也防止被某些物料如淤浆堵塞。在某些用途中，希望将装置100做得尽可能小。因此元件之间的连接必须尽可能短。为了便于这一点，可以将塑料管道安置在紧密配合的金属管之内，这防止塑料管道当其弯曲到一个小曲率半径时会打绞。

图5中示出一种具有用高纯度塑料制成的流量管的科氏质量流量计。科氏流量计50有一根通过底座51的支脚67、68插入的流量管52。流量管52用高纯度塑料制成，最好用PFA。传感器LPO和RPO与驱动器D联接在流量管52上。流量计50从供给管54接受工艺过程物料并通过连接器58将该物料流延伸到流量管52。流量管52由于驱动器D而在其与物料流的共振频率处振动。形成的科氏运动由传感器LPO和RPO检测，传感器将信号在导线62和64上外加到计量电子线路(未示出)，后者测定科氏运动间的相位差并外加在其基础上的输出信号。在包括的题为“用于精密测量超纯物料流的流量计”的申请书中详细公开了具有高纯度流量管的合适的科氏流量计。

当与科氏质量流量计112一起时，在高纯度用途中夹紧阀110必须用尽可能减小流体污染的材料制成。而且，阀112应当设计成没有停滞流体能聚集的地方并且没有能够在该流体中产生颗粒的滑动部件或摩擦部件。图6中从原理上例示一种按照本发明的示范的夹紧阀120。驱动器122邻近弹性体管126，后者与科氏质量流量计112的流量管成流体连通。活塞或压杆124由驱动器122推动而对着参考表面128选择地挤压或夹紧管126，从而改变让流体129通过其流动的孔的尺寸。管126最好用高纯度弹性体或塑料制成。例如，PFA、包括PFA的混合物和硅酮都是合适的夹紧管材料。

管的柔性允许管壁围绕任何截留的颗粒或壁中的缺陷而符合一致，从而形成一种紧的密封。该管路是笔直的，将压力降和紊流减到最小。流体只接触流量管126，防止了其它阀部件的磨损或腐蚀，并防止在高纯度用途如半导体抛光操作中淤浆的金属污染。在一些实施例中，流量计112的流量管和夹紧阀110的弹性体管是同一根管。

已知夹紧阀的驱动通常是双稳态的-通和断。一些已知的夹紧阀有一带多圈手柄的手动驱动器，但此类阀对闭合的环路流动控制不导通。其它夹紧阀用于批量过程的分配用途中，其中分配的物料量受阀的开通时间的控制。这不允许以连续方式动态地控制流动速率。

一个只有两种状态的阀能够通过向阀驱动器外加变化的电流或电压来控制.在一个实施例中，脉冲宽度调制(PWM)被用来控制该阀.PWM是通过在一高于该阀的机械响应频率的频率处产生一个方波信号而获得的.该信号的工作周期是变化的，用来测定送到该装置的适当的电压或电流.例如，如果PWM信号在0～12伏之间操作，那么0％工作周期＝0伏，50％工作周期＝6伏，而100％工作周期＝12伏.“均化”发生，因为该信号处在一个高于该阀的机械响应频率的频率处.该阀的位置是以供给的平均电流为基础的.由此产生的供给电压正比于信号的脉冲宽度.

如果信号频率太低，该阀将有时间完全响应产生一个脉冲流输出的通知断的信号，它们通常是不希望出现的。一个典型的夹紧阀驱动器是一个电磁线圈，它有一个带有确定关闭该电磁线圈所需电流的预负荷调整的弹簧元件。调整该阀弹簧上的预负荷能改进该阀的控制范围。在其它实施例中，该电磁线圈的插棒元件用弹簧悬挂的插棒替换。该弹簧悬挂的插棒将由于摩擦而产生的非线性阀响应减到最小，这尽可能减小了在可用的电磁线圈驱动的夹紧阀中常有的磁滞现象和不工作区现象。

PWM控制的电磁线圈的另一方法是使用一个步进马达驱动器，该驱动器用一个蜗轮型装置将一种受控的决定性的角转动转化为一种线性压杆驱动。步进控制器能够设计成产生正比于一个模拟信号输入的特定数目的步骤。通过任何数目的将后冲减到最小的合适的蜗轮设计能够将后冲并因而将阀的磁滞现象减到最小。一个步进马达通常对温度和压力的波动不敏感，这种波动可能导致夹紧管的变化。步进马达是一个控制位置的机构，因此该步进器对夹紧管中的变化是不敏感的。对于一个夹紧阀，夹紧管是该系统的一个整体部分-电流外加在阀驱动器上，该驱动器将力加在夹紧管上，该力夹紧该管。如果管的性能由于温度或压力而变化，那么该管关闭的量以及由此利用电磁开关的流量速率都会变化。而且，一个步进驱动器能够保持在最后位置处，从而提供在一个流体输送周期的开始处获得设定点的快速响应。

图2的框图例如表示在外壳101一侧上的流体入口102和外壳对置侧上的出口103。图7表示一个替代的实施例，其入口102和出口103在外壳101的同一端部上。在早先使用蠕动泵的用途中这样一种配置可能特别有用，因为蠕动泵通常在该装置的同一端部上具有入口和出口。

图8中示出一种按照本发明的一个特定实施例的科氏质量流量计和夹紧阀。科氏质量流量计50本质上与图5中例示的相同。阀驱动器70连接在底座51上。夹紧阀弹性体管72包括一个连接在流量管52上的入口端部73。流量管52的对置端部连接在流体入口54上。管72延伸在参考表面74和驱动器70的压杆或活塞(未示出)与管72的出口端部76之间，出口端部76连接在返回管78上。

如上所述，为了获得一种高纯度系统，整个流路必须用高纯度的化学惰性/抗化学材料制成。图9示意地例示一种带有润湿过程连接件的高纯度压力传送器330，该连接件包括用超出单独一件高纯度塑料制成的压力隔膜。任何用在一个高纯度分配系统中的仪表的关键要求是，没有一个装置可能是泄漏源。要避免螺纹连接件，制造过程连接件的最佳方法是利用面对面密封。用超出单独一件的塑料来制造过程连接件360能保证没有螺纹连接，后者可能是一种泄漏源。

压力传送器330包括一个传感器架358，后者可以用聚丙烯制成，因为该架不是流路的一部分.传感器架358内嵌入一个用高纯度材料如PFA制成的压力室360.压力室360形成一个从其伸出的过程流体吸入导向件361.为了提供稳定的压力测量性能，将一个陶瓷压力传感器362粘结在高纯度隔膜364(例如1mm厚的PFA)上，而塑料的任何松弛(也称为蠕变)由位于陶瓷传感器362顶上的弹性体O形环366补偿，该O形环用一个恒定的力保持陶瓷传感器对着塑料隔膜364.以此种方式，压力传送器330的整个润湿部分是PFA或另一种合适的高纯度材料.

图9B中示出一种替代的压力传感器331。压力传感器331使用一个用蓝宝石制成的小电容压力传感器370。该传感器封装在一种高纯度材料如PFA 372中并以这样的方式伸入压力室360，使得流体压力挤压传感器370。图9B中示出的方法的优点是不需要用于压力精确测量的固定的参考如稳定结构。封装的压力传感器370是压力室360的一个整体部分，并用超出单独一件的高纯度塑料制成。

图10～12例示一种高纯度的一体化的科氏质量流量控制器400的各个方面。一体化的控制器400包括一个带有连接在一前端部上的面板402的外壳401。入口和出口连接件404、405与其它用户接口控制器406一起从面板402伸出。科氏质量流量计450和电子PID控制器412安置在外壳401内。夹紧阀组件410连接在外壳401的后端部上。为清楚起见，夹紧阀管没有在图10中示出。图13表示连接在外壳401上的驱动器740，夹紧阀管472从连接件471伸出，大体上形成一个U形。在外壳401的外部提供阀410使得阀组件410容易维修，包括必要时替换管472。控制器400的其它部件包括接口组件480、热屏蔽482和传感器隔板484。

上面公开的特定实施例只是示例性的，因为熟悉拥有本文说明的优点的该技术领域的人士显然可以用不同而等效的方式修改和实施本发明。此外，除了在所附技术方案中描述的以外，不想限制于本文所示出的结构或设计的细节。因而显然上面公开的特定实施例可以改变或修改，而所有这些变更都被认为处在本发明的精神和范围之内。因此，本文寻求的保护范围如所附技术方案中所提出。

Claims (16)

1.一种质量流量测量和控制装置，包括：

一个外壳(101)；

一个安置在该外壳(101)内的科氏质量流量计(112，50)，该科氏质量流量计包括一个用高纯度塑料制成的流量管(52)、一个联接在该流量管上使该流量管(52)振动的第一驱动器(D)，和一个联接在该流量管上用于感知该振动的流量管(52)的科氏偏移的传感器；以及

一个夹紧阀(110)，包括一根与该流量管(52)成流体连通的用高纯度塑料制成的弹性体管(126)；一个第二驱动器(122)，其具有一条按操作关系连接于该第二驱动器(122)上、且位置邻近该弹性体管(126)的压杆(124)，和一个安置在该压杆(124)对面的参考表面(128)，使得该弹性体管(126)可在该压杆(124)和参考表面(128)之间被挤压。

2.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于还包括一个接受从该科氏流量计来的测量输出信号的控制器(114)，该控制器响应一个设定点信号和科氏质量流量计输出信号而向该夹紧阀的第二驱动器(122)提供一个控制输出信号。

3.如权利要求2的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该控制器(114)安置在该外壳(101)内。

4.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该夹紧阀(110，410)安置在该外壳(101)内。

5.如权利要求4的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该夹紧阀弹性体管延伸到该外壳的外面。

6.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该夹紧阀的第二驱动器(122)连接在该外壳的外表面上。

7.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，所述质量流量测量和控制装置还包括流体入口和出口连接件，这些入口和出口连接件安置在该外壳的一个端部上；或

所述质量流量测量和控制装置还包括流体入口和出口连接件，这些入口和出口连接件安置在该外壳的对置两端部上。

8.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该夹紧阀弹性体管安置在该流量管的下游；或

该夹紧阀弹性体管安置在该流量管的上游。

9.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该第二驱动器(122)包括一个步进马达。

10.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该第二驱动器(122)包括一个电磁线圈。

11.如权利要求10的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该电磁线圈通过一个脉冲宽度调制信号而受控制。

12.如权利要求2的质量流量测量和控制装置，其特征在于，该控制器(114)是一个PID控制器。

13.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于还包括一个与该流量管成流体连通的压力变换器(115，116)。

14.如权利要求13的质量流量测量和控制装置，其特征在于，

该压力变换器(115)安置在该流量管的上游；或

该压力变换器安置在该流量管的下游。

15.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于还包括：

一个安置在该流量管上游的与该流量管成流体连通的第一压力变换器(115)；以及

一个安置在该流量管下游的与该流量管成流体连通的第二压力变换器(116)。

16.如权利要求1的质量流量测量和控制装置，其特征在于，所述高纯度塑料是全氟烷氧基共聚物。

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