CN1659098A - 生产可用高纯精细化学品的设备 - Google Patents

Abstract

本文涉及生产操作助剂的系统和方法。该系统包括箱体，箱体中包括位于第一隔室内的功能性模块单元、位于第二隔室中的控制模块单元，以及至少一条连接管路，其中连接管路位于第三隔室中。至少一个隔室位于箱体的指定位置上。模块单元在各自的隔室中是可以移动的。

Description

生产可用高纯精细化学品的设备

本专利申请要求提交于2002年4月12日的20205819.0号德国专利申请的优先权，20205819.0号申请目前仍在审批过程中，该申请在此通过引证被并入本文。

发明领域

本发明涉及高纯化学品的配料过程，具体涉及某种箱体设备。

发明背景

在许多行中，比如在半导体行业中，化学品配料系统及浆料配料系统通常被用来制备高纯化学品。在生产和制造硅片的过程中，化学品配料系统及浆料配料系统特别有用。

在常规的设备和系统中，所有的部件、连接管路以及控制模块单元都安装在箱体的内壁上。设备通常是单独设计的，这样可满足用户具体的功能要求和设计需求。由于每台设备是单独设计的，所以现有设备的成本很高，制造时间也很长。

发明概述

本发明的实施方案涉及配料系统，在这些实施方案中，在不对用户的具体需求构成限制的情况下，配料系统的建设、制造、安装和/或维护成本降低了，所用的时间也减少了。

在某一实施方案中，本发明提供一种制备操作助剂的系统，该系统含有三个隔室，其中至少一个隔室位于箱体的指定位置上。功能性模块单元位于第一隔室中，控制模块单元位于第二隔室中，至少一条连接管路位于第三隔室中。

在另一实施方案中，本发明提供一种制备操作助剂的系统，该系统含有一个箱体，箱体含有第一隔室；其中第一隔室用来可拆装的容纳以下模块单元中的任何模块单元：维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。

在另一实施方案中，本发明提供一种方法，该方法可提供操作助剂。该方法包括：提供一种箱体以及提供功能性模块单元，其中箱体含有第一隔室，第一隔室中可拆装的容纳功能性模块单元。功能性模块单元选自于以下组：维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。

通过下面对本发明的非限制性实施方案进行详细的说明可以清楚地了解到本发明的其他优势以及新特点和新目标。非限制性实施方案是结合本文所附图形进行说明的，这些图形是示意性图形，并不一定是按比例绘制的。不同图形中相同的部件或近似相同的部件通常用的相同的数字表示。为了清晰起见，并非每张图中的每个部件都加有标签；同样，并非本发明每个实施方案中的每个部件都在图中加以表明，对于不是使本领域的普通技术人员理解本发明所必须的部件和每一个实施例，没有在附图中展示。当本技术说明与通过引证而被并入本文的文献相冲突时，应以本技术说明为准。

图示简介

本发明的非限制性优选实施方案将结合本文所附图形进行说明。

图1是整个机柜模块单元的示意图，机柜中插有不同的模块单元和连接管路。

图2半机柜模块单元的示意图。

图3是半高机柜模块单元的示意图。

图4是半高半机柜模块单元的示意图。

图5是图1所示机柜模块单元的透视图。

图6是由四个整机柜模块单元构成的设备的示意图。

图7是由三个整机柜模块单元构成的设备的示意图。

图8是由两个整机柜模块单元构成的设备的示意图。

图9是由半机柜模块单元构成的设备的示意图。

图10是由半高机柜模块单元构成的设备的示意图。

图11是由半高机柜模块单元构成的其他设备的示意图。

图12是由半高半机柜模块单元构成的设备的示意图。

图13表明的是含有电子设备的另一机柜模块单元。

图14表明的是功能性模块单元的液压连接图。

图15a和15b表明了两个不同功能性模块单元的透视图。

图16a和16b表明的是接口模块单元的液压连接图。

图17a是带有内置功能性模块单元的机柜模块单元的正视图。

图18是双机柜模块单元结构和附加机柜模块单元的透视图，其中双机柜模块单元中含有功能性模块单元；附加机柜模块单元中含有电子控制设备。

本发明的详细说明

本发明的实施方案涉及制造可用高纯化学品的设备，尤其涉及为半导体行业制造高纯化学品的设备。这些设备含有各种各样的部件，这些部件位于箱体内，并以某种方式相连，这样这些部件可以发挥一项或几种所需的具体功能，从而制备出有用的操作助剂。箱体可带有多个隔室来支持各种部件，比如支持功能性模块单元、控制模块单元和/或接口模块单元。箱体还包括其他隔室，这些其他隔室容纳其他部件、部件间连接管路以及用于对部件进行控制的控制模块单元。箱体可具有任意的尺寸及形状，并可由能够支持各个模块单元的任何材料制成，在某一实施方案中，箱体是以机柜的形式出现的。

根据本发明的一个方面，箱体被分成指定的隔室，每个隔室容纳用于特定目的的特定模块单元。隔室可以具有任意的大小和形状，从而容纳特定的模块单元，比如隔室可以是正方形、长方形、环形或类似形状的，在优选情况下，隔室的结构可使特定的模块单元容易被接近。隔室的结构还可使模块单元方便地进行移动。举例而言，隔室可带有滑轨。

一个或多个功能性模块单元可从指定的可用功能性模块单元中选出。控制模块单元可以与功能性模块单元相连，控制模块单元中含有控制元件。

在本发明的某一实施方案中，至少第一隔室至少含有功能性模块单元，至少第二隔室至少含有控制模块单元，至少第三隔室至少含有连接管路。在本发明的另一实施方案中，几个功能性模块单元可置于同一箱体的几个第一隔室，几个控制模块单元可位于同一箱体的几个第二隔室中，多条连接管路可位于同一箱体的多个第三隔室中。在本发明的优选实施方案中，多个第一隔室在大小上可以相似，这些第一隔室可容纳多个不同的功能性模块单元。同样，每个第二隔室在大小上也可以相似，这些第二隔室可容纳多个不同的控制模块单元。每个第三隔室在大小上也可以相似，这些第三隔室容纳多条不同的连接管路。

根据本发明的另一方面，在对设备进行现场安装之前，可以根据用户的具体需求来选用某些指定的功能性模块单元，从而使用户将这些模块单元组合起来并将它们安装到现场。同样，带有指定隔室的箱体也可在现场进行制作，用户在现场安装所需功能性模块单元、控制模块单元以及连接管路。

由于这些模块单元可以进行选择的，并被安装到指定的隔室中，所以这一系统可依据用户具体的需求而方便进行制作。同样，该系统可由用户进行安装，这样可显著降低成本和时耗。此外，该系统还具有很大的安装灵活性，用户可对系统需求进行灵活的修改，并可用某一模块单元替换另一模块单元。当用户的需求发生变化或原有的模块单元不能工作而致导原有的功能性模块单元不能再使用时，这种灵活性就显得尤为有用了。再者，模块单元安装的灵活性还可降低与系统维护相关的时间及成本。

在本发明的另一实施方案中，该系统可包括至少一个与相应功能性模块单元相对应的接口模块单元。其中接口模块单元可放置在箱体的第四隔室中，从而方便接口模块单元的维护或更换。

在本发明的某一实施方案中，隔室中至少有一个隔室的结构和构造可使定位于相应隔室中的模块单元进行移动。在本发明的优选实施方案中，该隔室设有滑轨。

在本发明的另一优选实施方案中，在至少一个箱体中，位于第一隔室中的至少一个功能性模块单元和/或位于第二隔室中的至少一个控制模块单元是可以移动的，其中第一隔室和/或第二隔室设有滑轨。在这种方式下，可以容易地进行功能性模块单元和/或控制模块单元的维护和更换。

在本发明的另一优选实施方案中，系统中含有液压连接管路，箱体可包括第五隔室，这样可使液压供料管路和液压排出管路彼此分离开。在本发明的某一实施方案中，液压供料管路可位于箱体的第三隔室中，而液压排出管路可位于箱体的第五隔室中。因此，供料管路和隔室是彼此分开的，这样可进一步简化连接管路的插入。

连接管路可包括液压辅助管路，系统中可至少有一个箱体含有第六个隔室，该隔室用来容纳这些辅助管路。这样可使辅助管路与主连接管路分离开。这种安排方式还可应用于电气连接管路，其中电气连接管路可放置在第七隔室中。

箱体还可带有通风道，通风道位于第八隔室中，在本发明的优选实施方案中，通风道是与其他模块单元分开的。

应该理解的是，在箱体中可出现第一隔室至第八隔室的任意组合形式。此外，箱体中可含有任何数量的每种隔室。箱体中有可能含有数个第一至第八隔室中的每种隔室；因此，有可能出现数个同类隔室同时存在的情况。

在本发明的另一实施方案中，每个隔室可位于至少一个箱体的指定位置上。指定具体模块单元的位置可以简化箱体的预制过程以及制造过程。再者，由于单个隔室所用的部件可安装在相同的位置上，所以简化了现场安装过程。容纳电气连接管路、控制模块单元和/或通风道的隔室可安装在箱体的上部，这样可以同其他元件明显地分开。

在另一实施方案中，数个箱体可彼此相邻而置，和/或彼此连接起来。当设备比较复杂或整个系统是由数个设备形成时，多箱体结构是十分有用的。一般而言，箱体可设计为机柜模块单元。在优选情况下，在每个箱体中，相同类型的隔室被放置在箱体的相同指定位置上，这样可简化安装过程。如果几个箱体彼此相连，则容纳通风道的隔室在结构上可使一个箱体中通风道的入口和出口与相邻箱体中通风道的入口和出口相连。

在另一实施方案中，电子控制设备可放置在至少与主箱体相隔的箱体中。在优选实施方案中，电子控制设备被放置在一个独立的箱体中，从而保护控制设备不受化学特质的潜在影响。

功能性模块单元可以是任何执行所需功能的模块单元。功能性模块单元可具有任何的大小和形状，在这些大小和形状下，功能性模块单元被安装到指定的隔室中。在优选情况下，可用的指定功能性模块单元包括维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、冲洗数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元，但功能性模块单元并不局限于这些模块单元，其中的维护模块单元和采样模块单元可含有冲洗开关装置；分析模块单元例如可是测量导电率、滴定及颗粒的模块单元；加湿模块单元例如是使工艺氮气达到饱和程度的模块单元，储罐模块单元例如是白班储罐和/或供料罐模块单元；混合模块单元可含有阀门或阀门组；在优选情况下，混合罐模块单元带有测定混合比的传感器；传感器模块单元例如测定(操作助剂的)流量，pH值和/或操作助剂的密度。

图1示意性地表明了全机柜模块单元11。机柜模块单元的上部含有两个彼此相邻且通常为正方形的隔室21，这两个隔室容纳功能性模块单元，机柜模块单元的上部还包括一个通常为正方形的隔室4，隔室4容纳控制模块单元。机柜模块单元的中部包括两个彼此相邻且通常为正方形的隔室3，隔室3容纳接口模块单元，中部还包括通常为长方形的隔室22，隔室22与隔室3彼此相邻，并位于隔室3的下方，隔室22容纳另外的功能性模块单元，机柜的下部包括隔室3和隔室22，其结构与中部的结构相似。

图2是半机柜模块单元12的示意图。半机柜模块单元12的上部有一个通常为正方形的隔室21，该隔室容纳功能性模块单元，上部还包括一个通常为正方形的隔室4，隔室4容纳控制模块单元。在半机柜模块单元12的中部有一个通常为正方形的隔室3和一个通常为长方形的隔室22。隔室3容纳接口模块单元，隔室22位于隔室3的下方，隔室22容纳另外的功能性模块单元。半机柜模块单元12的下部结构与其中部结构相似。在优选情况下，半机柜模块单元12与图11所示的全机柜具有相同的高度，但宽度不同。

图3示意性地表明的半高机柜模块单元13。在该模块单元的上部有两个通常为正方形的隔室21，这两个隔室彼此相邻，其中容纳功能性模块单元。在这两个隔室下方的是一个通常为正方形的隔室4，隔室4容纳控制模块单元，在机柜模块单元13的下部有两个通常为正方形的隔室3，隔室3彼此相邻，其中容纳接口模块单元，在隔室3的下方是两个通常为长方形的隔室22，隔室22容纳其他的功能性模块单元。在优选情况下，半高机柜模块单元13与图1所示的机柜模块单元11具有相同的宽度，但高度不一样。

半高机柜模块单元的其他实施方案在图4中进行了示意性表明。在这一机柜模块单元的上部有一个通常为正方形的隔室21，隔室21容纳功能性模块单元，与隔室21相距一段距离的是通常为正方形的隔室4，隔室4容纳控制模块单元。该机柜的下部由一个通常为正方形的隔室3和一个通常为正方形的隔室22构成，其中隔室3容纳接口模块单元，隔室22位于隔室3的下方，隔室22容纳其他的功能性模块单元。在优选情况下，机柜模块单元14与图2所示的半机柜模块单元12具有同样的宽度，与图3所示的半高机柜模块单元13具有同样的高度。

图1至图4所示的机柜模块单元11～14表明，隔室的排列方式可与卧室橱柜的抽屉相似。根据隔室的功能，隔室可放置在箱体的指定位置上。在优选实施方案中，类型相同的隔室在各个箱体中可放置在相似的位置上，例如放置在机柜模块单元中。此外，隔室可设计成带有滑轨(未在图中表明)，通过滑轨可以进出箱体，这样可以很容易地对模块单元进行更换。在带有滑轨的结构中，可使用诸如螺栓或销钉这样固定元件将模块单元固定在各个隔室的相应位置上。

图5也是机柜模块单元11的透视图。如图5所示，机柜11可用双扇门50封闭起来，这样可避免机柜中的部件受到尘土和水气的影响。对于图2和图4所示的较小机柜而言，单扇门就可以了。

箱体或机柜模块单元还可在不同的指定位置上带有液压连接管路的通道(未在图中表明)。如果液压连接管路包括主管路和辅管路以及输入管路和排放管路，则可使用不同的通道来使这些连接管路通过。上述的液压连接管路通道可位于机柜模块单元的指定位置上。

在箱体或机柜模块单元中还可包括供电电缆所用的通道。为了将供电模块单元与其他模块单元分开，电缆通道可位于一个或多个独立的隔室中。电缆室的大小和形状可以是任意的，电缆室可使电缆置于适当的位置。在某一实施方案中，电缆通道或电缆隔室位于机柜模块单元的上部，最好是在液压元件的上方，这样可使供电元件与其他元件分开。电缆通道可部分地或全部穿过机柜模块单元。如图5中的实施方案所示，电缆通道52的截面是长方形的，电缆通道52位于机柜模块单元正面的上方，并穿过整个机柜。由于电缆通道52穿过整个机柜，而且在机柜的两端是开放的，所以很容易使电缆连贯起来，当几个机柜模块单元组合在一起时，可以形成连贯的电缆通道。

通风道可以位于箱体中的指定位置上。通过指定通风设备的位置可使箱体或机柜模块单元实现标准化。

如图5所示，通道54和通道56定位于机柜模块单元11的相对内壁上。根据图5所示的实施方案，通道54定位于侧壁11a的内表面上，另一通道56位于与侧壁11a相对的侧壁11b的内表面上。通道54和通道56上带有开孔60，如图5中通道54所示，这些开孔直接与箱体的内部相通。此外，通风道54和通风道56延伸到机柜模块单元的上沿，当两个或多个机柜模块单元彼此相邻时，使用一个短接头(未在图中表明)可以简单将一个机柜的通风道与相邻机柜中的通风道连接起来。

如图6～8所示，几个机柜模块单元可相邻而置，从而形成复杂的供料系统。当液压连接管路通道、供电电缆通道、机柜模块单元以及通风道位于指定位置，并延伸到机柜模块单元的每一侧时，一个机柜中的通道可以方便地与相邻机柜模块单元中的相应通道相对齐。

图6是具有典型功能的整个混合及供料系统的连接示意图。在这一实施方案中，有4个如图1和图5所示类型的全机柜模块单元11，这4个机柜模块单元彼此相邻。如图6所示，大多数隔室21和22(见图1)中容纳相应的功能性模块单元200，在图6中左边的两个机柜中，由于不需要更多的功能性模块单元，所以机柜上部有一个隔室21空置。在全机柜模块单元11中，所有的隔室3(见图11)都被接口模块单元300所占据，这些接口模块单元与相应的功能性模块单元相连。此外，每个机柜模块单元中的隔室4(见图1)带有控制模块单元400。

如图6所示，供料管路42和供料管路44处于不同的水平面内，这些不同的水平面内包括本文所述的相应通道，但在图6中没有表明这些通道。机柜模块单元11上部的供料管路是液压管路44，其中包括供料管路和排放管路。辅助管路42位于机柜模块单元11的中部，而排放管路43位于机柜模块单元11的下部，排放管路可以是通道。在机柜模块单元11的上部，供电电缆通道位于机柜顶盖的下部。供电电缆通道在图6中未画出，但在图5中进行了图解说明。正如前面提到的，供料管路的通道(未在图中画出)可终止于机柜模块单元侧壁上的相应指定位置上，这样一个机柜模块单元中的通道可以与相邻机柜模块单元中的相应通道连接起来。

图7表明了另一整个供料系统实施方案的连接图，该供料系统带有两个输送槽，其中使用到了3个图1和图5所示的全机柜模块单元11。在这一实施方案中，由于所需的功能性模块单元200以及接口模块单元300少于图3所示的系统，所以容纳功能性模块单元的隔室21、22以及容纳接口模块单元的隔室3并没有被全部占用。

图8表明的是系统空间得到优化后的示意图，图8所示的是带有两个输送槽的整体供料系统；其中包括两个图1和图5所示的全机柜模块单元。

图9表明的是再装填模块单元，该模块单元只需使用图2所示的半机柜类型模块单元12。在这一实施方案中，上部的隔室21没有被使用。

图10表明的是可独立操作的供料模块单元，该供料模块单元带有两个图3所示类型的半高机柜模块单元13。在这一实施方案中，所有隔室21、23、3和4中都含有相应的功能性模块单元200、接口模块单元300和控制模块单元400。

图11表明的是一个相对简单的供料模块单元，这是一个独立的供料模块单元，该供料模块单元带有一个如图4所示类型的半高半机柜模块单元14。在这一实施方案中，所有的隔室中都含有相应的模块单元。

图12表明的是采样模块单元，这也是一个独立的模块单元，并包括一个如图4所示类型的半高半机柜模块单元14。在这一实施方案中，位于柜模块单元14上部的隔室21未被使用。

将图7～12所示的实施方案与图6所示的实施方案进行比较，供料模块单元42～44可选用相同或相似的构成模式和过程。

如果需要使用电子控制设备，则电子控制设备可位于另一机柜模块单元中，该机柜模块单元与其他机柜模块单元是隔离开的，这样控制设备不会受到化学物质的影响，从而形成必要的保护并满足各项工业标准。图13表明的是另一机柜模块单元16，该机柜模块单元中含有电子控制设备。在这一实施方案中，与图5所示的机柜模块单元11相似，供电电缆通道52位于机柜模块单元上部的前端。如图13所示，控制面板58也可以位于机柜模块单元16的前端。控制面板58是控制模块单元(未在图中画出)的一部分，控制模块单元也位于滑轨(未在图中画出)上。

如图6～12所示，机柜模块单元的隔室21、22可根据需要而含有不同的功能性模块单元200。功能性模块单元可具有任意的大小和形状，功能性模块单元容纳在指定的功能性模块单元隔室中。功能性模块单元可选自于指定的功能性模块单元。图14表明了隔室21、22可用的不同功能性模块单元。在优选情况下，指定的功能性模块单元200包括：维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、冲洗数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元；其中的维护模块单元和采样模块单元可含有冲洗开关装置；分析模块单元例如可是测量导电率、滴定及颗粒的模块单元；加湿模块单元例如是使工艺氮气达到饱和程度的模块单元，储罐模块单元例如是白班储罐和/或供料罐模块单元；混合模块单元可含有阀门或阀门组；在优选情况下，混合罐模块单元带有测定混合比的传感器；传感器模块单元例如测定(操作助剂的)流量，pH值和/或操作助剂的密度。

图15表明的是两个不同的功能性模块单元。在图15所示的实施方案中，功能性模块单元带有基板202和侧板204，基板和侧板都带有液压元件。基板202上的液压元件通过连接管路或管道与位于侧板204上的液压元件相连。图15所示功能性模块单元上的基板202在设计上可使其侧边置于滑轨上，这样可使功能性模块单元保持在滑轨(未在图中画出)上，并通过滑轨进入到机柜模块单元中。侧板204可固定到机柜模块单元的侧壁上。

同样，也可以针对具体的应用需要而选择接口模块单元，并将接口模块单元放置在指定的隔室中。接口模块单元可具有任意的大小和形状，接口模块单元容纳在指定的接口模块单元隔室中。图16A和图16B表明了机柜模块单元的隔室3中所容纳的接口模块单元300的不同实施方案。在优选情况下，可用的接口模块单元300包括冲洗接口模块单元、分析接口模块单元、控制接口模块单元、FAB供料接口模块单元、加湿接口模块单元、滴定接口模块单元、数据输入接口模块单元、双泵接口模块单元、单泵接口模块单元、过滤器接口模块单元、FAB返回接口模块单元。接口模块单元在操作上通常中是与相关的功能性模块单元相连的。

图17表明的是图5所示的机柜模块单元在安装功能性模块单元200后的正视图(a)和透视图(b)。为了便于观察，机柜的门是开着的。图17所示的机柜模块单元11带有双泵模块单元200₁和双过滤器模块单元200₂，在该实施方案中，这两个模块单元位于机柜模块单元11的上部。图17还表明了储罐模块单元200₃，该储罐位于机柜模块单元11的下部。

图18表明的是两个机柜模块单元的结构形式，这两个机柜模块单元彼此相邻，另一个机柜模块单元16中含有控制设备。如图18所示，机柜模块单元11和机柜模块单元13的电缆通道是相互对齐的，从而形成了连贯的电缆通道。此外，图18还表明了两个机柜模块单元中相邻的通风道54、56，这些通风道直接相邻，因此使用接头(未在图中画出)可简单地将这些通风道连接起来。

最后，出于完整性的考虑，还应注意的是，图1～4以及图6～12只是根据它们的尺寸和结构形式对含有相应模块单元的隔室进行了示意性图解说明，在实际情况中，每个隔室可具有更大的空间，也可采用其他的比例。

虽然本文对本发明的几个实施方案进行了描述和图解说明，但本领域普通技术人员会很容易地认识到，各种其他的方法和结构也可实现本文所述的功能和/或得到本文所述的结果和优势，这些变化和修改均被认为在本发明的范围之内。举例而言，应该理解的是，功能性模块单元、接口模块单元以及连接管路可根据具体应用的需要而以众所周知的方式相互连接起来。

更一般而言，本领域的技术人员会很容易理解，本文所述的所有参数、尺寸、材料以及结构形式均是示范性的，实际的参数、尺寸、材料和结构形式将取决于本发明内容所具体应用的场合。本领域的技术人员将认识到，或有能力确定，只使用常规的实施方法就可得到与本文所述具体实施方案相等同的结果。因此，应该理解的是，本文前面所述的实施方案只是示范性的，在本文所附权利要求所限定的范围内，这些等同的结果及本发明可以通过本文所述之外的方法加以实现。本发明与本文所述的每个特点、系统、材料和/或方法相关。此外，如果这些特点、系统、材料和/或方法不发生相互冲突时，这些特点、系统、材料和/或方法中任何两个或多个的组合形式均在本发明的范围之内，

如美国专利局专利审查程序手册第2111.03章节所规定的，在权利要求中(以及以上的技术说明中)，所有诸如“含有”、“包括”、“载有”、“带有”、“包含”、“涉及”等的语次转变短词应被理解为是非限制性的，即这些短意味着“包括但不局限于”。只有“由......组成”、“基本上由......组成”这些语次转变短语才是封闭的或半封闭的。

Claims (28)

1.一种提供操作助剂的系统，该系统包括：

第一箱体；该箱体包括第一隔室、第二隔室和第三隔室；

功能性模块单元，该功能性模块单元位于第一隔室中；

控制模块单元，该控制模块单元位于第二隔室中；

至少一条连接管路，该连接管路位于第三隔室中；

第一、第二、第三隔室中至少有一个隔室位于箱体的指定部位。

2.如权利要求1中的系统，其中第一隔室被用来单独容纳以下：

维护模块单元、样品、绘图模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元中的每一个。

3.权利要求1中的系统还包括接口模块单元，接口模块单元位于箱体的第四隔室中。

4.如权利要求3中的系统，其中接口模块单元在第四隔室中是可以移动的。

5.如权利要求5中的系统，其中第四隔室带有滑轨。

6.如权利要求1中的系统，其中至少一个功能性模块单元和控制模块单元是可移动的。

7.如权利要求6中的系统，其中第一隔室和第二隔室中至少有一个隔室带有滑轨。

8.如权利要求3中的系统，其中至少一条连接管路是供料管路。

9.如权利要求8中的系统，还包括至少一条排放管路，排放管路位于箱体的第五隔室中。

10.如权利要求9中的系统，还包括至少一条液压辅助管路，该液压辅助管路位于箱体的第六隔室中。

11.如权利要求10中的系统，还包括至少一条电气连接线，电气连接线位于箱体的第七隔室中。

12.如权利要求1中的系统，其中箱体还包括通风和换气通道。

13.权利要求1中的系统还包括第二箱体，第二箱体与第一箱体相邻，其中第二箱体包括：

第一隔室，第一隔室与第一箱体的第一隔室相连；

第二隔室，第二隔室与第一箱体的第二隔室相连；

第三隔室，第三隔室与第一箱体的第三隔室相连。

14.权利要求13中的系统还包括：

功能性模块单元，该功能性模块单元位于第二箱体的第一隔室中；

控制模块单元，该控制模块单元位于第二箱体的第二隔室中；

至少一条连接管路，该连接管路位于第二箱体的第三隔室中；

其中第一箱体的第一隔室中有一个指定的位置，该指定位置与第二箱体中第一隔室所带有的指定位置是相互对应的。

15.如权利要求14中的系统，其中第一箱体中第二隔室以及第三隔室的指定位置与第二箱体中第二隔室以及第三隔室的指定位置是相互对应的。

16.权利要求1中的系统还包括容纳电气控制设备的箱体。

17.如权利要求4中的系统，其中箱体包括：

两个或多个第一隔室，这些隔室彼此间是相同的；

两个或多个第四隔室，这些隔室彼此间是相同的。

18.一种提供操作助剂的系统，该系统包括：

含有第一隔室的箱体；

其中第一隔室用来可拆装的容纳以下：维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。这些模块单元在第一隔室内是可移动的中的每一个。

19.如权利要求18中的系统，其中箱体还包括第二隔室，第二隔室可拆装的容纳控制模块单元。

20.如权利要求19中的系统，其中箱体还包括第三隔室，第三隔室可拆装的容纳至少一条连接管路。

21.如权利要求20中的系统，其中箱体还包括第四隔室，第四隔室可拆装的单独容纳下列：冲洗接口模块单元、分析接口模块单元、控制接口模块单元、FAB供料接口模块单元、加湿接口模块单元、滴定接口模块单元、数据输入模块单元、采样接口模块单元、双泵接口模块单元、单泵接口模块单元、过滤器接口模块单元以及FAB返回接口模块单元中的每一个。

22.权利要求21中的系统还包括：

两个或多个第一箱体，这些箱体彼此间是相同的；

两个或多个第四箱体，这些箱体彼此间是相同的。

23.权利要求21中的系统还包括第二箱体，第二箱体包括：

第一隔室，第一隔室与第一箱体的第一隔室相连；

第二隔室，第二隔室与第一箱体的第二隔室相连；

第三隔室，第三隔室与第一箱体的第三隔室相连；

第四隔室，第四隔室与第一箱体的第四隔室相连。

24.如权利要求23中的系统，其中第一箱体与第二箱体是相同的。

25.一种提供操作助剂的方法，该方法包括：

提供一种箱体，该箱体包括第一隔室，其中第一隔室用来可拆装的容纳功能性模块单元；

提供功能性模块单元，其中功能性模块单元选自以下的组：维护模块单元、样品、绘图模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。

25.如权利要求24中的方法，其中箱体还包括第二隔室、第三隔室和第四隔室，其中第一、二、三、四隔室都位于箱体内指定的位置上。

26.权利要求24中的方法还包括：

提供第二功能性模块单元，其中第二功能性模块单元选自于以下的组：维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。

将第二功能性模块单元放于箱体的另一第一隔室内。

27.如权利要求1中的系统，其中控制模块单元在操作上是与功能性模块单元相连的，从而对功能性模块单元的操作进行控制。

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