CN1651132A

CN1651132A - 化学供应系统

Info

Publication number: CN1651132A
Application number: CN 200410003594
Authority: CN
Inventors: 郑振华
Original assignee: XITONG SEMICONDUCTOR CO Ltd
Current assignee: XITONG SEMICONDUCTOR CO Ltd
Priority date: 2004-02-03
Filing date: 2004-02-03
Publication date: 2005-08-10

Abstract

一种化学供应系统，具有一第一系统与一第二系统。第一系统具有一第一储存部与一第一过滤元件；第一储存部是用以储存一化学液体，第一过滤元件则以一第一管状物与一第二管状物与第一储存部连接。且本发明的化学供应系统还具有一第三管状物，以连接第一系统与第二系统。第二系统则具有一第二储存部与一第二过滤元件，第二过滤元件以一第四管状物与一第五管状物与第二储存部连接。另外，还具有一第一排出管状物连接于第一系统，以及一第二排出管状物连接于第二系统。

Description

化学供应系统

技术领域

本发明有关一种化学供应系统，特别是有关一种用以制造半导体元件的化学供应系统。

背景技术

当在制造半导体元件时，会有多种化学液体被用于制造过程中。而为了防止半导体元件会受到颗粒或杂质的污染，在使用化学液体之前，都会先进行过滤的动作，以减少化学液体中颗粒的存在。所以若化学液体不够纯净，制造半导体元件的良率可能因而下降。

所以为制造半导体元件，会有可过滤化学液体的化学供应系统。通常化学供应系统可具有过滤元件、管路与储存桶。而当化学供应系统中有元件损坏时，过滤化学液体的步骤将会停止，而使得制造半导体元件的时间增长。

而为了通过管路传输化学液体，会将某些气体传输至储存桶中；若是气体被传输至过滤元件中，就必须将气体排出，以防过滤元件损坏。然而，在将被传输至过滤元件中的气体排出时，有些化学液体可能也会被排出而被浪费掉。若是被排出的气体与被浪费的化学液体的份量增加，用以处理这些被排出的气体与化学液体的成本将会提高。又因某些化学液体的成本很贵，所以亦会因浪费掉很多化学液体而增加制造半导体元件的成本。

故如上所述，便需发展出一化学供应系统，以维持制造半导体元件的良率与时间，并减少因处理被排出的气体与化学液体而增加的成本，以及减少化学液体与气体的使用量。

发明内容

鉴于以上所述已有技术的缺点，本发明的目的是提供一化学供应系统以制造半导体元件，用以减少因处理由气体与部份化学液体组成的废液而增加的成本、减少气体与化学液体的使用量、通过较多次的过滤步骤提供更为纯净的化学液体而维持制造半导体元件的良率利用数个可独立运作的系统而减少提供较纯净化学液体的时间并在某个独立运作系统的元件损坏时，仍可持续操作其他未有损坏元件的独立运作系统。

本发明提供一种化学供应系统，其具有一第一系统与一第二系统。第一系统具有一第一储存部与一第一过滤元件；第一储存部是用以储存一化学液体，第一过滤元件则以一第一管状物与一第二管状物与第一储存部连接。且本发明的化学供应系统还具有一第三管状物，以连接第一系统与第二系统。第二系统则具有一第二储存部与一第二过滤元件，第二过滤元件以一第四管状物与一第五管状物与第二储存部连接。另外，还具有一第一排出管状物连接于第一系统，以及一第二排出管状物连接于第二系统。

为进一步说明本发明的上述目的、结构特点和效果，以下将结合附图对本发明进行详细的描述。

附图说明

图1是本发明的化学供应系统的示意图。

具体实施方式

本发明的化学供应系统的较佳实施例，将于以下详述，但本发明所具的专利范围，并不以下述的图形与实施例的描述为限，而应以所申请的专利范围与精神为准。

本发明一实施例的化学供应系统如图1所示，其具有一第一系统202(firstsystem)与一第二系统204(second system)。第一系统202具有一第一储存部206(first tank)与一第一过滤元件208(first filter)；第一储存部206是用以储存一化学液体，而第一过滤元件208则以一第一管状物210(first tube)与一第二管状物212(second tube)连接于第一储存部206。第二系统204具有一第二储存部216(second tank)与一第二过滤元件218(second filter)。第二过滤元件218藉由一第四管状物220(fourth tube)与一第五管状物222(fifth tube)与第二储存部216相连接。且有一第三管状物214(third tube)连接于第一系统202与第二系统204之间，以自第一系统202传输化学液体至第二系统204。另外，有一第一排出管状物224(first vent tube)连接至第一系统202的第一储存部206；而一第二排出管状物226(second vent tube)连接至第二系统204的第二过滤元件218。

当化学液体通过第三管状物214，而由第一系统202被传输至第二系统204时，第一排出管状物224会传输一气体进入至第一系统202中，以防止第一储存部206因压力的因素而被压扁。当通过第三管状物214传输化学液体至第二储存部216后，化学液体会通过第四管状物220而被传输至第二过滤元件218，以滤除化学液体中的颗粒。直到化学液体中绝大多数的颗粒已被去除干净前，化学液体会持续地通过第四管状物220与第五管状物222的输送，而在第二储存部216与第二过滤元件218之间来回过滤。当化学液体中绝大多数的颗粒被第二过滤元件218过滤掉后，化学液体会被从第二过滤元件218输出，亦即，由第二系统204将化学液体应用至制造半导体元件的制作工序中。而第二系统204可具有一第三排出管状物228(third vent tube)，以在第二排出管状物226自第二过滤元件218中输出化学液体，而用以制造半导体元件时，输入一气体至第二储存部216中。

当大多数储存于第二储存部216的化学液体被第二排出管状物226输出，而用以制造半导体元件后，储存于第一储存部206的化学液体将会被第三管状物214输入至第二系统204中。然而，当第一储存部206所储存的化学液体快用完时，就需要以一装满化学液体的新的第一储存部206替换掉空的第一储存部206。而被输入到空的第一储存部206中的部份气体，可能会在换上新的第一储存部206前，被输入到第一管状物210中。所以在新的第一储存部206与第一管状物210以及第二管状物212连接好之后，这些气体会被送至新的第一储存部206。因为在化学供应系统中的气体以及部份化学液体可藉由第二管状物212的传输而再被利用，无需以处理废气或废液的方式处理，所以可省下处理这些存在于化学供应系统中气体与化学液体的费用。而且，气体与化学液体的用量亦会随之减少。

储存在新的第一储存部206中的化学液体会先经过第一过滤元件208的作用，而滤除掉其中大多数的颗粒。因此在将化学液体由第二排出管状物226输出以供制造半导体元件前，其至少可先后被两个过滤元件过滤(一个是第一过滤元件208，另一个则是第二过滤元件218)。由于第一系统202与第二系统204都可过滤化学液体，所以化学液体将会变得更纯净。而且，因为化学液体只会被储存于第一储存部206的中、被第一过滤元件208过滤以及传输至第二储存部216中，所以储存于第一储存部206中的化学液体并不会被浪费掉。

而为了加以控制整体的化学供应系统，第一系统202与第二系统204还具有数个阀部(valve)设置于各管状物之上。举例而言，当更换一新的第一储存部206以替换空了的第一储存部206时，阀部224’、210’与212’都会被关闭。而在将储存于第一管状物210中的气体传输回第一储存部206，以及以第一过滤元件208过滤储存于第一储存部206中的化学液体时，阀部224’以及214’会被关闭，而阀部210’与212’则会被打开。当化学液体中大多数的颗粒已被第一过滤元件208过滤之后，阀部212’会被关闭，而阀部210’、214’与224’则被打开，以传输储存于第一系统202中的化学液体至第二系统204。当第二过滤元件218在过滤化学液体时，阀部214’、226’与228’会被关闭，阀部222’则被打开以自第二储存部216将化学液体通过第四管状物220传输至第二过滤元件218；然后再通过第五管状物222将化学液体由第二过滤元件218传输回第二储存部216。而在第二排出管状物226自第二系统204排出以制造半导体元件时，阀部214’与222’会被关闭，而阀部226’与228’则被打开。

所以，当阀部214’被关闭时，第一系统202与第二系统204成为本发明化学供应系统中两个可独立操作的系统。当以第二系统204过滤化学液体，或通过第二排出管状物226传输化学液体以供制造半导体元件时，第一系统202可以进行更换第一储存部206或是以第一过滤元件208过滤化学液体的动作。所以用以提供一精纯的化学液体的时间将会缩短。再者，若是化学供应系统中，有属于第一系统202或第二系统204的元件损坏时，另一系统仍可继续执行过滤化学液体、更换第一储存部206或传输化学液体的步骤。而可在操作化学供应系统中一独立运作系统的同时，更换另一独立运作系统中的损坏元件。

为了检测化学液体的品质，化学供应系统还具有数个传感器(未显示于图1中)。当传感器检测到化学液体中绝大多数颗粒已被第一过滤元件208与第二过滤元件218过滤掉时，化学供应系统将会停止过滤的动作，而开始传输化学液体。但当传感器检测到化学液体的纯度还不够时，化学供应系统则会以第一过滤元件208或第二过滤元件218持续地过滤化学液体。另外，第一排出管状物224与第三排出管状物228所传输的气体可为氮气。

本发明所揭示的化学供应系统可节省用以处理由气体与部份化学液体所组成的废液的费用，且气体与化学液体的用量亦会有所减少。因为本发明的化学供应系统可使化学液体既被第一系统过滤也被第二系统过滤，所以可以提供更为纯净的化学液体。而本发明的化学供应系统可有效维持制造半导体元件的良率。通过可分别独立运作的第一系统与第二系统，供给更纯的化学液体的时间亦会缩短。再者，若化学系统中的第一系统或第二系统有元件损坏，则没有损坏元件储存的另一系统则可继续操作。

虽然本发明已参照当前的具体实施例来描述，但是本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，在没有脱离本发明精神的情况下还可作出各种等效的变化和修改，因此，只要在本发明的实质精神范围内对上述实施例的变化、变型都将落在本发明权利要求书的范围内。

Claims

1.一种化学供应系统，包含：

一第一系统，具有一第一储存部与一第一过滤元件，该第一储存部是用以储存一化学液体，该第一过滤元件以一第一管状物与一第二管状物与该第一储存部连接；

一第三管状物；

一第二系统，具有一第二储存部与一第二过滤元件，该第二过滤元件以一第四管状物与一第五管状物与该第二储存部连接，其中，该第三管状物连接该第一系统与该第二系统；

一第一排出管状物连接于该第一系统；以及

一第二排出管状物连接于该第二系统。

2、如权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于所述的第二管状物自该第一过滤元件传输该化学液体至该第一储存部。

3、如权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于所述的第二管状物自该第一过滤元件传输一气体至该第一储存部。

4、如权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于所述的第三管状物自该第一系统传输该化学液体至该第二系统。

5、如权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于还包含数个阀部设置于该管状物上。