CN1569713A - 基于复合电介层的双银低辐射镀膜玻璃 - Google Patents
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Abstract
本发明自玻璃基板向外依次为：玻璃/电介质层(1)/银层(1)/保护层(1)/复合电介质层(1)/银层(2)/保护层(2)/电介质层(2)；其中：电介质层(1)为SnO2，通过交流阴极的锡靶在氧氩氛围中溅射，银层(1)、(2)为Ag，通过直流平靶在氩气氛围中溅射；保护层(1)、(2)为NiCr，通过直流平靶在氩气氛围中溅射镍铬合金，其中Ni∶Cr＝80∶20；复合电介质层(1)为TiOx/SnO2/TiOx结构，通过交流阴极的氧化钛靶和锡靶在氧氩氛围中溅射，电介质层(2)为Si3N4，通过交流阴极的硅铝合金靶在氮氩氛围中溅射得到，Si∶Al＝90∶10，优点是，具有红外线反射能力强，膜层表面辐射率低等优良特性的玻璃。
Description
技术领域
本发明是一种镀有双银层和复合电介质层的低辐射镀膜玻璃。
背景技术
市场上现有多种多层镀膜的低辐射镀膜玻璃，但是尚没有镀有高可见光透过的双层银的镀膜玻璃。
发明内容
在玻璃基板镀制多层结构的膜层，各层膜层结构，自玻璃基板向外依次为：
玻璃/电介质层(1)/银层(1)/保护层(1)/复合电介质层(1)/银层(2)/保护层(2)/电介质层(2)；
其中：电介质层(1)为SnO2；
银层(1)、(2)为Ag；
保护层(1)、(2)为NiCr；
复合电介质层(1)为TiOx/SnO2/TiOx结构；
电介质层(2)为Si3N4；
各膜层的镀制工艺是：
电介质层(1)，通过交流阴极的锡靶在氧氩氛围中溅射；作用是a)在银层和玻璃之间提供黏附层；b)控制膜层颜色；
银层(1)、(2)，通过直流平靶在氩气氛围中溅射，作用是减小辐射率；
保护层(1)、(2)，通过直流平靶在氩气氛围中溅射镍铬合金，其中Ni∶Cr＝80∶20，作用是保护银层，减小氧化；复合电介质层(1)，通过交流阴极的氧化钛靶和锡靶在氧氩氛围中溅射，作用是a)减小遮阳系数；b)增加膜层的可见光透射；c)控制膜层颜色；
电介质层(2)，通过交流阴极的硅铝合金靶在氮氩氛围中溅射，Si∶Al＝90∶10，作用是a)保护整个膜层结构，减小氧化，提高物理和化学性能；b)控制膜层颜色。
本发明优点是，具有红外线反射能力强，膜层表面辐射率低等优良特性的玻璃。
与传统的低辐射玻璃相比，由于中间镀制了有复合电介质层间隔的两层银层，使得辐射率大大降低，并且玻璃的遮阳性能又有更大提高，双银低辐射玻璃的主要用途为建筑幕墙、用窗玻璃，可以达到降低玻璃表面辐射率，提高玻璃隔热性能。在获得高遮阳性能的同时，实现可见光的高透过率，同时颜色中性，外观效果自然柔和。
复合电介质层(1)采用TiOx/SnO2/TiOx结构，是因为TiOx有折射率高(折射率n＝2.35～2.65)，吸收率低的特点，使膜层获得高的透射值；SnO2的折射率较TiOx的折射率低，这样，他们之间由于半波反射的原理，可以使得透射值有很大的提高。TiOx/SnO2/TiOx连续镀制，构成的复合膜层可以极大的提高透射率，使得上层的银层(2)为满足降低辐射率的要求而厚度增加时，整体膜层仍然保持较高的透射率。同时，光在多层膜之间反射时，由于干涉原理，只要合理调节和分配各膜层厚度，就可以较便利得控制膜层颜色，使最终整体膜层的颜色中性。
数据表明，在其他膜层结构和厚度不变的情况下，单层镀制90nm的SnO2后，膜层的总透射值为70％，而用TiOx/SnO2/TiOx结构取代单层SnO2结构，镀制相同厚度的复合电介质层后，膜层总透射值可以达到近80％。
同时，因为SnO2单层膜层在90nm左右变化时，最终膜层颜色透射色坐标b*值和玻璃面反射色坐标b*值相反变化，这样，就很难使得产品的透射和反射颜色达到所需的中性颜色。使用TiOx/SnO2/TiOx结构后，合理分配膜层厚度，可以使镀膜玻璃的玻璃面颜色和透射颜色都呈中性。
附图说明
附图1是本发明各膜层结构示意图。
附图2是本发明镀制各膜层的工艺流程示意图。
具体实施方式
本发明用平板玻璃双端连续式镀膜机，包括11个交流阴极，10个直流阴极，采用下表列出的工艺参数，使用6个交流双靶，4个直流单靶，共10个靶位进行生产，制出本发明双银低辐射玻璃，其工艺参数和靶的位置列表如下：
双银低辐射玻璃靶位分布及工艺参数
| 靶位序号 | 阴极类型 | 靶材料 | 溅射工艺气压(hPa) | 工艺气体成分 | 膜层厚度(nm) |
| 1# | 交流双靶 | 锡 | 3.95×10-3 | 氧∶氩＝45∶55 | 17 |
| 2# | 交流双靶 | 锡 | 3.25×10-3 | 氧∶氩＝45∶55 | 18 |
| 3# | 直流单靶 | 银 | 2.41×10-3 | 纯氩 | 10 |
| 4# | 直流单靶 | 镍铬(80∶20) | 2.79×10-3 | 氧∶氩＝7∶93 | 1 |
| 5# | 交流双靶 | 氧化钛 | 5.30×10-3 | 氧∶氩＝10∶90 | 90 |
| 6# | 交流双靶 | 锡 | 5.12×10-3 | 氧∶氩＝45∶55 | |
| 7# | 交流双靶 | 氧化钛 | 5.80×10-3 | 氧∶氩＝10∶90 | |
| 8# | 直流单靶 | 银 | 2.73×10-3 | 纯氩 | 13 |
| 9# | 直流单靶 | 镍铬(80∶20) | 2.79×10-3 | 氧∶氩＝7∶93 | 1 |
| 10# | 交流双靶 | 硅铝(90∶10) | 3.28×10-3 | 氮∶氩＝40∶60 | 35 |
用上述工艺参数制出的玻璃光学性能如下：
玻璃可见光透过率T＝76.0％
可见光玻璃面反射率＝4.5％
可见光玻璃面色坐标a*值＝0.5
色坐标b*值＝-0.5
可见光膜面反射率＝5.5％
可见光膜面色坐标a*值＝2.5
色坐标b*值＝-0.5
玻璃的辐射率ε＝0.045。
本发明制成中空玻璃间隔为12mm充空气窗结构，按照ISO10292标准测定的数据如下：
可见光透过率T＝68％
可见光玻璃面反射率(Out)＝10％
可见光玻璃面反射率(In)＝12％
G-value＝0.41
遮阳系数SC＝0.47
传热系数U＝1.58W/m2·K
Claims (3)
1、一种基于复合电介层的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：
在玻璃基板镀制多层结构的膜层，各层膜层结构，自玻璃基板向外依次为：
玻璃/电介质层(1)/银层(1)/保护层(1)/复合电介质层(1)/银层(2)/保护层(2)/电介质层(2)；
其中：电介质层(1)为SnO2；
银层(1)、(2)为Ag；
保护层(1)、(2)为NiCr；
复合电介质层(1)为TiOx/SnO2/TiOx结构；
电介质层(2)为Si3N4；
2、如权利要求1所述的基于复合电介层的双银低辐射镀膜玻璃的膜层，其镀制方法采用真空磁控溅射镀膜。
3、按权利要求1所述的基于复合电介层的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：各膜层的镀制工艺是：
电介质层(1)，通过交流阴极的锡靶在氧氩氛围中溅射；
银层(1)、(2)，通过直流平靶在氩气氛围中溅射；
保护层(1)、(2)，通过直流平靶在氩气氛围中溅射镍铬合金，其中Ni∶Cr＝80∶20；
复合电介质层(1)，通过交流阴极的氧化钛靶和锡靶在氧氩氛围中溅射；
电介质层(2)，通过交流阴极的硅铝合金靶在氮氩氛围中溅射，硅铝合金之比为Si∶Al＝90∶10。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SHANGHAI YAOHUA PILKINGTON GLASS CO., LTD. Effective date: 20050114 Owner name: SHANGHAI YAOPI GLASS WORKS CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: SHANGHAI YAOHUA PILKINGTON GLASS CO., LTD. |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20050114 Address after: No. 75 Kang Liu Road, Shanghai Applicant after: Shanghai Yaopi Engineering Glass Co.,Ltd. Co-applicant after: Shanghai Yaohua Pilkington Glass Co.,Ltd. Address before: No. 100, Jiyang Road, Shanghai Applicant before: Shanghai Yaohua Pilkington Glass Co.,Ltd. |
|
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SHANGHAI YAOHUA PILKINGTON GLASS GROUP CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: YAOPI ENGINEERING GLASS CO., LTD., SHANGHAI Effective date: 20130911 Owner name: YAOPI ENGINEERING GLASS CO., LTD., SHANGHAI Free format text: FORMER OWNER: YAOHUA-PIERJINDUN GLASS CO LTD, SHANGHAI Effective date: 20130911 |
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 200315 NANHUI DISTRICT, SHANGHAI CITY TO: 201204 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130911 Address after: 201204 Shanghai city Pudong New Area Lianxi Road No. 1210 Building No. 1 Patentee after: SHANGHAI YAOHUA PILKINGTON GLASS GROUP CO.,LTD. Patentee after: Shanghai Yaopi Engineering Glass Co.,Ltd. Address before: 200315 No. 75 Kang Liu Road, Shanghai Patentee before: Shanghai Yaopi Engineering Glass Co.,Ltd. Patentee before: Shanghai Yaohua Pilkington Glass Co.,Ltd. |
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| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20060913 |
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| CX01 | Expiry of patent term |