CN1531646A - 表面粒子检测器 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 130
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 11
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 5
- 238000011002 quantification Methods 0.000 claims description 4
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 claims description 3
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 claims description 3
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000010606 normalization Methods 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- 241000283216 Phocidae Species 0.000 claims 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 38
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000306 recurrent effect Effects 0.000 description 4
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005243 fluidization Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- PLXMOAALOJOTIY-FPTXNFDTSA-N Aesculin Natural products OC[C@@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H]1Oc2cc3C=CC(=O)Oc3cc2O PLXMOAALOJOTIY-FPTXNFDTSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000003556 assay Methods 0.000 description 1
- 239000004566 building material Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 1
Images
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
- G01N35/00584—Control arrangements for automatic analysers
- G01N35/00722—Communications; Identification
- G01N35/00732—Identification of carriers, materials or components in automatic analysers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N1/2205—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling with filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/24—Suction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N2001/028—Sampling from a surface, swabbing, vaporising
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
- G01N2001/222—Other features
- G01N2001/2223—Other features aerosol sampling devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N2015/1486—Counting the particles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
一种表面粒子检测器，包括：可在表面上滑动的扫描器探头(92)，用于对通过的粒子计数的粒子计数器(82)，和包括连接在扫描器探头和粒子计数器之间的一对管(38、40)的导管。粒子计数器包括泵(80)，该泵用于产生将来自表面的粒子通过扫描器和导管吸引到计数器然后再回到扫描器的气流。传感器(78)测量气流流率，控制器基于感测的气流流率控制泵的速度。导管通过第一连接器与粒子计数器相连，该第一连接器包含电子标记，以识别连接到导管另一端的扫描器的类型。控制器响应检测的电子标记控制粒子计数器。粒子计数器还包括可拆卸的滤芯，其具有捕捉用于实验室分析的计数的粒子的过滤元件。
Description
技术领域
本发明总的涉及用于净室应用中的粒子计数，更具体的说，本发明涉及一种改进的装置，其用于使粒子脱离表面并进入粒子计数器和过滤器，以确定污染程度。
背景技术
随着高科技工业的快速发展，污染物检测和量化要求现已变得很重要。例如，半导体工业现已发展了用于精确制造微电子器件的技术。为了可靠地制造上述产品，就必须要对生产设备保持很严格的污染标准。
为了控制控制生产过程中重要阶段的污染程度并将其最小化，经常采用“净室”。净室是这样一种房间，其中，规定并控制了其中的空气过滤、空气分布、公用设施、建筑材料、设备和操作过程，用以控制空气中粒子的浓度，使其满足适当空气中粒子清洁度等级。
对于净室内清洁度/污染水平的监测特别是对净室表面的粒子的检测是十分重要的。现已将紫外线或倾斜的白光用于目测检查技术。采用紫外光利用了特定有机粒子发出荧光的现象。有选择的，将白光以某个角度照射到测试表面上，以产生可见的反射。虽然白光技术比紫外光技术稍微敏感一些，但是它们都受到相同的限制。这些目测检查技术只能粗测表面状况。它们不能提供量化数据。并且，目测检查技术最多也只能检测大于20微米的粒子。因此，需要一种可以检测小于一微米的粒子的技术。
另一种检测技术涉及通过将胶带片施加到测试表面上而将粒子由测试表面上移走。然后，通过将该胶带放置在显微镜下目测粒子数量而对胶带上的粒子人工计数。该技术可以检测大约5微米或更大的粒子。该技术的主要缺点在于十分费时，并且其灵敏度随操作者的不同而改变。
第三种测量技术披露于美国专利5253538中，其在这里通过引用包括进来。上述5253538专利披露了这样一种装置，其包括具有至少一个用于接收来自采样表面的粒子的开口。扫描器连接到具有第一和第二端的管。管的第一端连接到扫描器，管的第二端连接到使用激光技术的粒子计数器。粒子计数器包括真空发生器，其使空气由采样表面经过扫描器、管，进入粒子计数器，在这里，包含在气流中的粒子被计数。上述5253538专利披露了一种检查方法，其涉及粒子计数装置的使用。首先通过保持扫描器在净室附近供气并取重复的读数，或通过将任意零计数过滤器安装在粒子计数器中建立为零的背景粒子等级。然后，在预定测试周期内，将手持扫描器以恒定速率在采样表面上移动。测试周期由按下运转开关开始，该开关位于扫描器上。粒子计数器计数并读取相应于每单位面积的平均数的数量。该过程通常沿邻接表面区域重复几次，每次都产生“测试读数”。
发明内容
本发明是一种用于计量采样表面上的粒子的数量的装置。该装置包括：扫描器，其具有至少一个用于接收从采样表面得到的粒子的开口；粒子计数器，用于计算由其通过的粒子的数量；导管，具有连接到扫描器的第一端和连接到粒子计数器的第二端，其中导管包括第一和第二管；传感器和控制器。粒子计数器包括用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器来确定数量。传感器测量气流的流率。控制器响应测量的气流的流率控制泵的速度，以在粒子计数器确定气流中的粒子的数量时保持气流处于恒定流率。
在本发明的另一方面，该装置包括：扫描器，其具有至少一个用于接收从采样表面得到的粒子的开口；导管，其具有连接到扫描器的第一端和端接于第一连接器的第二端，其中导管包括第一和第二管；粒子计数器、电子标记和控制器。粒子计数器计算由其通过的粒子的数量，并包括：用于接收第一连接器的端口，和用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器来确定数量。电子标记位于第一连接器、导管和扫描器中的至少一个上，用于识别扫描器的至少一个特征。控制器通过端口和第一连接器检测电子标记，并响应检测的电子标记控制粒子计数器。
在本发明的再一方面中，该装置包括：扫描器，其具有至少一个用于接收从采样表面得到的粒子的开口；粒子计数器，其用于分析经过那里的粒子；和导管，其具有连接到扫描器的第一端和连接到粒子计数器的第二端。导管包括第一和第二管。粒子计数器包括用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器。粒子计数器还包括粒子检测器，用于计算来自扫描器的气流中的粒子数量；滤芯端口，气流在经过粒子检测器之后流过该端口；和滤芯，其可拆卸地与滤芯端口相连，用于从气流中捕捉由粒子检测器计数之后的粒子。
通过查看说明书、权利要求书和附图，本发明的其他目的和特征将更加明显。
附图说明
图1A是本发明的粒子检测器的透视图。
图1B是本发明的粒子检测器的部分解图。
图2A和2B是本发明的扫描器的顶视图和底视图。
图3是本发明的粒子计数器组件的方框图。
图4是本发明的粒子检测器中的气流通道示意图。
图5是本发明的粒子捕捉滤芯和托盘的部分解图。
图6是本发明的导管和粒子计数器装置之间的速卸结合部分的部分分解图。
图7A和7B分别是本发明的用于扫描器头和净化过滤头的气动管道和导管电导线的关系的示意图。
图8A到8F是本发明的控制面板和显示器的正视图，示出了由显示器产生的各种屏幕。
具体实施方式
本发明是一种与美国专利5253538所公开的粒子检测器相比改进的表面粒子检测器，美国专利5253538作为参考结合在本发明中。本发明优点在于可操作地组合三个基本元件，以便于灵活采样各种表面上的粒子，同时可以高精度和高可重复性地提供相关数量数据。广义上说，本发明涉及通过柔性导管实现的现有技术的粒子计数器与多个特别设计和具有特定尺寸的采样扫描器之一相连的组合。在优选实施方式中，导管具有用于将空气提供到采样表面和从该采样表面返回空气并且用于驱动扫描器的两条空气管和电线。轻型可移动扫描器和柔性导管设计使得可以在很多不同类型的可到达的表面上采样粒子。采样表面可以基本是平面，也可以不是平面，可以是光滑的，也可以不光滑。
图1A和1B示出了用于分析采样表面上粒子的粒子检测器10的主要元件。主要检测器元件包括粒子计数器组件12、环绕粒子计数器组件12的外壳14、扫描器探头16和连接在粒子计数器组件12与探头16之间的导管18。
外壳14包括底座20、成形的顶盖22、具有用于查看显示器的孔26的前板24和手柄28。这些外壳元件被成形为将粒子计数器组件12封闭为一个小型的、轻型的便携式封装件。外壳可以包括散热器，以发散设备内部产生的热。更佳的，外壳14包括小型循环风扇，以将设备内部的气温正常化，从而使设备不会过热。
图2A和2B示出了扫描器探头16，其包括基本平的底座30。扫描器底座30具有与采样表面相接的底面32。扫描器底座30垂直连接到扫描器手柄34上，该手柄包括具有用于启动粒子检测器的运转开关36的控制部分35和指示正在进行粒子计数的发光二极管(LED)灯。导管18包括一对管38和40(提供和返回软管)，它们每个都具有第一和第二端。管38/40的第一端连接到扫描器手柄34，第二端连接到粒子计数器组件12中的端口92。导管18还包括电线44，其将扫描器探头16与粒子计数器12进行电连接。扫描器探头16装到外壳16中的接收器15中，以易于存放。
扫描器探头16的底座部分30具有硬币形状的部分46和48，其由螺钉50固定在一起。图2A和2B中所示的扫描器的实施例被设计成主要用于拾取基本平的表面上的粒子。然而，也可以使用特别设计以符合非平面的采样表面的其他形状的扫描器。扫描器底座30的硬币形状的部分46也被称为面板，其优选地由浸有摩擦限定非粒化物质的材料构成，如浸有特氟纶的硬黑阳极氧化铝，3型(type3)，2类(class2)，军用规格标准(mil spec)-A8625D。扫描器手柄34具有两个孔56和58，用于接收提供和返回管38/40。另一个孔60设置在手柄34内，用于接收来自导管18的电线44。
扫描器底座底面32设计为与采样表面相接。在本实施例中，底面32具有孔62，其大约定位于底座底面32的中心。孔62与扫描器手柄34中的孔56相连，该孔与导管18中的返回管40相连。为了在粒子计数器组件12中计算粒子的数量，由采样表面得到的粒子经过面板孔62被吸入。底座底面32还具有多个小孔64，其集中于扫描器手柄孔58，该孔与导管18中的供气管38相连。空气由粒子计数器组件12提供并经过面板孔64输送到采样表面，以移动并流化粒子，从而经过面板孔62吸入粒子，进行计数。面板底面32还具有交叉凹槽66，用于引导移动的粒子进入面板孔62。
图3示出了粒子计数器组件12，其包括90-260 VAC-DC转换器70、电池充电控制器72、电池组74、差动压力传感器78、真空泵80、激光粒子检测器82、用于控制彩色显示器86并接收来自控制面板上的开关88的输入的显示控制器84，它们都由系统控制器90控制。控制器90还连接有一系列端口，包括智能探头端口92、校准信号输出端口94、用户打印机端口96和主机数据端口98。在优选实施例中，控制器90还包括用于将检测的粒子的数量转换为与采样表面相关的每单位面积的粒子数量的软件。
可充电电池组74使设备可以连续运行2个小时，或正常间歇使用8个小时。对于固定系统来说，系统还可以在AC电源下运行。系统的目标是重量轻于16磅。电池供电、轻型设备和方便的携带手柄构成了真正的便携式设备，其使用户可以到达先前难以接近的区域，并减少了准备时间。
图4示出了粒子检测器装置10的气流通道。气流管道基本上是一个闭环系统，其中洁净空气提供到扫描器探头16，粒子在气流中返回，该气流馈送到粒子检测器82。真空泵80的入口管接粒子检测器82的排出侧，可以通过一个可选择的粒子捕捉过滤器104管接于真空泵80和粒子检测器82之间。管接于真空泵的排出侧的是滤出流动空气中的粒子的(HEPA)过滤器100和测量经过系统的气流速度(使用气流通道中的受控通气口)的气流测量装置(如差动压力传感器)78。过滤器100的排出侧管接于供气管38，以将过滤的空气提供到扫描器探头16的排气口64。
真空泵80通过粒子检测器82、导管18的返回管40到扫描器开口62形成部分真空，并部分真空将采样表面的空气吸引到粒子检测器82，粒子检测器82最好是现有技术已知的用于确定粒子数量和大小的激光二极管光散射计数器。在分析粒子之后，粒子经过捕捉过滤器104或HEPA过滤器100由气流中过滤出来，随后气流经过智能探头92返回到采样表面。
差动压力传感器78测量经过系统的气流速率。控制器90调节真空泵80的速度，以保持流率处于理想水平。由于以下几个原因，流率控制是十分重要的。首先，为了精确测量，在采用给定扫描器探头进行每次测量时，流率应当是相同的。第二，不同的探头92需要不同流率，以获得最大测量精确度。第三，当探头92沿表面扫描时，附加压力(反压力)作用在系统上，其在探头放置在表面上和扫描过程中表面的结构和形状改变时产生。因此在整个扫描过程中保持适当和恒定的流率是很重要的，以便有效地将表面上的粒子去除掉，并保持系统的高灵敏度。
粒子捕捉过滤器104是插入到气流通道中以捕获气流中的粒子的可更换的过滤器元件，粒子刚通过激光粒子检测器82并由激光粒子检测器82计数。这使得用户不仅可以测量表面清洁度，而且还可以捕捉计数的粒子，用于实验室分析和鉴别。在优选实施例中，捕捉过滤器104是薄膜过滤器元件，其设置在可密封的、可更换的的滤芯108中，该滤芯插入到与系统气流相连的接收器110中，如图5所示。该接收器110和滤芯108具有气动的快速分离连接器112，其匹配成将过滤器元件104连接到系统气流中。从系统中拆卸下来之后，滤芯108上的连接器112可以手动遮蔽，以避免过滤器元件104的污染，直到能进行实验室分析。滤芯108可以通过托盘114安装和拆卸，该抽盘与CD ROM相同。当按下释放按钮时，托盘114从接收器110部分弹出。然后手动将托盘114全部拉开，就可以安装或拆卸可更换的滤芯108。如果不需要捕捉过滤器104，可以将与滤芯108相似但其中没有过滤元件104的空滤芯插入到接收器110中。传感器，最好是光学传感器，自动识别滤芯的存在和不存在，以及滤芯是包括过滤器104还是仅是空滤芯。该数据与采样记录同时记录。如果没有检测到滤芯，则停用真空泵80。当由系统中拆卸下来时，将滤芯108密封，以将其运送到分析实验室，对由过滤介质104收集的污染物进行分析。
导管18和粒子计数器组件之间的连接如图6所示。一个快速分离连接器116和智能探头端口92用于电气连接和气动连接。导管18端接于快速分离多路连接器116，该连接器可释放地与智能探头端口92接合，其每一个都具有气动快速拆卸连接器118，该连接器118用于将供气管和返回管38/40连接到粒子计数器组件12的导管。最好当脱离时这些快速拆卸连接器118可以自动密封，以防止系统气流导管的污染。连接器116和端口92还包括电气连接器120，用于经过管路电线44向探头16供电和由探头收集数据和信号(即操作LED54和运转开关36)。连接器116包括释放按钮122，用于从端口92上快速拆卸连接器。
不同尺寸和类型的探头16可以用于检测不同大小或形状的表面区域。每个探头类型/尺寸可能需要不同流率和/或不同的用于数据分析的计算组。例如，现已使用了1/2英寸、2英寸和3英寸直径的扫描器探头16，其中某些需要不同的流动速率，以正确进行操作。1/2英寸探头需要大约每分钟1/2立方英尺(CFM)的流率，而2和3英寸的探头需要1CFM。探头92可以被称为“智能”探头，这是因为它们包括电子标记，可以使系统控制器90自动识别探头的一个或多个特征，如其尺寸和/或类型。电子标记可以是探头16、导管18或多路连接器116中的IC芯片、电路或电插头连接的简单预定组合，由此可以唯一识别探头的尺寸/大小。控制器自动在控制屏幕上显示探头的尺寸/大小，操作真空泵80产生适当的流率，并采用适当的公式计算在给定可由系统控制器90识别的电子标志时的粒子检测结果。
图7A示出了在多路连接器116和探头16之间工作的管38/40和电线44。图7B示出了净化过滤器，其可以连接到系统中，以从系统的空气管线中清除累积的粒子。虽然不需要将电线44与净化过滤器自身一直相连，但是，净化过滤器也可以以与探头16相同的方式接入系统中。净化过滤器124完全闭合在系统的气流环路中，其可以使用净化过滤器124、HEPA过滤器100和粒子捕捉过滤器104(如果相连的话)滤出系统中的任何粒子。净化过滤器124最好过滤出小到0.3微米的粒子。控制器90会自动识别连接在系统中的探头的不存在或类型，包括净化过滤器，因而运行系统。例如，如果没有检测到探头或净化过滤器，则停用真空泵80。
粒子计数器组件12包括前部显示面板86，其由前盖24中的窗孔26露出。该前部显示面板如图8A到8F中，包括多色屏幕126和一系列用于操作系统的触屏按钮128。优选实施例包括五个屏幕导航按钮，以从五个不同屏幕中进行选择(主屏幕：示出系统全貌(图8A)；采集数据屏幕：示出当前或最后粒子计数数据(图8B)；数据模式屏幕：使用户选择标准的全屏幕(图8D)或放大数据模式(图8C)，以更好地观看临界数据；浏览数据屏幕：示出先前记录的数据(图8E)；和警告设定屏幕：允许用户设定每个粒子尺寸的警报界限(图8F)。还有泵开/关按钮(用于启动/停用真空泵80)、清除按钮(用于清除高亮区域)、和导航按钮(用于移动光标的箭头按钮和程序按钮以保存屏幕上的选择)。大的彩色屏幕使操作者可以舒适地浏览大量数据，或转换到“图象放大”屏幕而从一定距离仅观看临界数据。按钮128可以是硬接线键或显示在触摸感应型显示屏幕126上的软键。
校准端口94使用校准技术以执行对激光粒子检测器82的正常校准，而不用打开设备。然后将采集的数据存储在粒子检测器10中。该系统具有经过数据端口98的RS-232串行和以太网通信能力，从而采集的数据可以使输入到客户网络或主机。数据端口98还允许设备经过网络或直接与因特网通信，这使得可以远程访问设备和存储其中的数据，以及在计算机屏幕上显示数据或指令。优选实施例还包括多级口令保护访问(如：制造厂、所有者、用户等)，每个口令等级具有不同的修改系统或访问特定数据的权限。
扫描器底座30最好垂直连接(但是也可以平行连接)到扫描器手柄34，该手柄包括具有运转开关36的控制部分52和指明装置是否在对粒子计数的LED灯54。在控制面板上启动泵开/关按钮启动真空泵80，其应当在采集数据之前运行一分钟或两分钟。在本发明的优选实施例中，当系统处于待机模式下时(真空电机运转而没有启动粒子计数)，启动运转开关36使系统记入其“计数”模式，在该模式下，在预定时间周期(如3秒)内执行粒子测量，并启动LED灯54。在预定时间周期终止时，粒子测量停止，LED灯54停用。还产生可听见的信号，以表明该仪器何时在其“计数”和其“待机”模式之间进行转换。
上述装置用于通过确定由表面释放的粒子的数量获得相对清洁度水平。可能的试验表面的例子包括桌面、架子、墙壁、天花板、长凳、产品容器或现实中的其他任何种类的表面。不同扫描器的几何形状可用于定制适于特定的感兴趣的采样表面的装置。本技术可以用于在进行某种净室工作之前检验清洁度。本技术还可以用于评估或对比各种清洁技术和产品的效果。
在本发明的优选实施例中，过滤的空气用于扰动表面粒子，真空系统采集由空气流化的粒子。使用光学/激光技术，粒子水平被以每平方厘米粒子数或每平方英寸粒子数测量和记录。本发明的装置可以检测小至0.3微米的粒子。空气被过滤到0.2微米，并被提供到扫描器探头，这里，相同量的空气被经过扫描器探头吸引到传感系统，用于计数和尺寸测量。
在对粒子计数之前，系统应当首先通过将扫描器探头保持朝向净室供气并重复计数直到每平方英寸低于5个粒子来检验零计数。然后将该扫描器头在三或六秒内以10LFPM(2LIPM)的速率在采样表面上通过。测试周期从位于扫描器探头16内的运转开关36开启时开始。扫描器探头16在流化空气的帮助下轻轻的在表面上移动。
由于上述方法很快提供了相对清洁度水平，因此，建议可以通过对净室内的各种表面和位置的历史数据进行记录，从而进行常规检测。还建议对具有平均水平的任意给定区域进行至少六次读取，为各种表面和区域建立最大可允许一次读数水平。
应当理解，本发明并不仅限于上述实施例和这里所说明的内容，而是包含了所附权利要求所限定的范围内的任意和所有改变。
Claims (22)
1.一种用于计算采样表面上的粒子的数量的装置，包括：
扫描器，具有至少一个用于接收来自采样表面的粒子的开口；
粒子计数器，用于计算通过它的粒子的数量；
导管，具有连接到扫描器的第一端和连接到粒子计数器的第二端，其中导管包括第一和第二管；
粒子计数器，包括用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器以确定数量；
传感器，用于测量气流的流率；和
控制器，用于响应测量的气流的流率控制泵的速度，以在粒子计数器确定气流中的粒子的数量时保持气流处于恒定流率。
2.根据权利要求1所述的装置，还包括：
过滤器，用于在气流回流到扫描器之前过滤气流。
3.根据权利要求2所述的装置，其中，粒子计数器还包括：
粒子检测器，用于计算来自扫描器的气流中的粒子的数量；
滤芯端口，气流在经过粒子检测器之后流过该端口；和
滤芯，其可拆卸地与滤芯端口相连，用于从气流中捕捉由粒子检测器计数之后的粒子。
4.根据权利要求1所述的装置，其中，粒子计数器还包括给泵、传感器和控制器供电的可充电的电池。
5.根据权利要求1所述的装置，其中，粒子计数器还包括：
散热器，用于发散泵产生的热；和
循环风扇，用于使粒子计数器内部的气温正常化。
6.根据权利要求1所述的装置，其中，粒子计数器还包括用于显示数据的触摸感应显示器屏幕和用于操作粒子计数器的软键。
7.根据权利要求6所述的装置，其中，显示屏幕包括图象放大模式，在该模式下，所选择的显示数据被放大。
8.根据权利要求1所述的装置，其中，控制器对不同的数据组提供不同等级的口令保护访问。
9.根据权利要求1所述的装置，其中，粒子计数器还包括数据端口，用于至少通过外部计算机和外部网络之一远程访问由粒子计数器存储的数据。
10.一种用于计算采样表面上的粒子的数量的装置，包括：
扫描器，具有至少一个用于接收来自采样表面的粒子的开口；
导管，具有连接到扫描器的第一端和端接于第一连接器的第二端，其中导管包括第一和第二管；
粒子计数器，用于计算由其通过的粒子的数量，粒子计数器包括：
用于接收第一连接器的端口，和
用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器以确定数量；
电子标记，其位于第一连接器、导管和扫描器中的至少一个上，用于识别扫描器的至少一个特征；和
控制器，用于通过端口和第一连接器检测电子标记，并响应检测的电子标记控制粒子计数器。
11.根据权利要求10所述的装置，其中至少一个特征包括扫描器的尺寸。
12.根据权利要求10所述的装置，其中，控制器响应检测的电子标记调节泵的速度。
13.根据权利要求10所述的装置，其中，控制器所使用的用于被计数粒子计算数据分析的公式根据检测的电子标记而改变。
14.根据权利要求10所述的装置，其中，当第一连接器和端口彼此分开时，它们自密封。
15.根据权利要求10所述的装置，还包括释放按钮，其将第一连接器从所述端口脱开。
16.根据权利要求10所述的装置，还包括：
净化过滤器，用于过滤通过它的气流；
第二导管，具有与净化过滤器相连的第一端和与第二连接器端接的第二端，其中，导管包括第一和第二管，第二连接器与所述端口可相连，从而当启动泵时，净化过滤器过滤粒子计数器中的污染物。
17.一种用于计算采样表面上的粒子的数量的装置，包括：
扫描器，具有至少一个用于接收来自采样表面的粒子的开口；
粒子计数器，用于分析经过它的粒子；
导管，具有连接到扫描器的第一端和连接到粒子计数器的第二端，其中导管包括第一和第二管；
粒子计数器包括：
用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器，
粒子检测器，用于计算来自扫描器的气流中的粒子，
滤芯端口，气流在经过粒子检测器之后流过该端口，和
滤芯，可拆卸地与滤芯端口相连，用于从气流中捕捉由粒子检测器计数之后的粒子。
18.根据权利要求17所述的装置，其中，粒子计数器还包括：过滤器，用于在气流流回到扫描器之前过滤气流。
19.根据权利要求17所述的装置，其中，粒子计数器还包括：
传感器，用于检测滤芯端口中的滤芯的存在；和
控制器，用于响应传感器来控制泵。
20.根据权利要求19所述的装置，其中，粒子计数器还包括：
空滤芯，其可拆卸地与滤芯端口相连，用于通过没有过滤的气流，其中，传感器检测滤芯端口中空滤芯的存在。
21.根据权利要求17所述的装置，其中，滤芯端口包括滑动托盘，其中滤芯插入该托盘。
22.根据权利要求21所述的装置，其中，托盘包括锁杆，用于将托盘固定在适当位置。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US23226700P | 2000-09-13 | 2000-09-13 | |
| US60/232,267 | 2000-09-13 | ||
| US09/952,900 US7010991B2 (en) | 2000-09-13 | 2001-09-11 | Surface particle detector |
| US09/952,900 | 2001-09-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1531646A true CN1531646A (zh) | 2004-09-22 |
| CN100439898C CN100439898C (zh) | 2008-12-03 |
Family
ID=26925822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB018187056A Expired - Lifetime CN100439898C (zh) | 2000-09-13 | 2001-09-12 | 表面粒子检测器 |
Country Status (8)
| Country | Link |
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| US (1) | US7010991B2 (zh) |
| EP (1) | EP1325303B1 (zh) |
| JP (1) | JP3920216B2 (zh) |
| KR (1) | KR100633724B1 (zh) |
| CN (1) | CN100439898C (zh) |
| AT (1) | ATE541201T1 (zh) |
| AU (1) | AU2001292756A1 (zh) |
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- 2001-09-11 US US09/952,900 patent/US7010991B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-12 EP EP01973148A patent/EP1325303B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-12 KR KR1020037003620A patent/KR100633724B1/ko active IP Right Grant
- 2001-09-12 CN CNB018187056A patent/CN100439898C/zh not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7010991B2 (en) | 2006-03-14 |
| EP1325303B1 (en) | 2012-01-11 |
| CN100439898C (zh) | 2008-12-03 |
| KR20030034179A (ko) | 2003-05-01 |
| US20020083780A1 (en) | 2002-07-04 |
| ATE541201T1 (de) | 2012-01-15 |
| JP2004512503A (ja) | 2004-04-22 |
| AU2001292756A1 (en) | 2002-03-26 |
| KR100633724B1 (ko) | 2006-10-13 |
| JP3920216B2 (ja) | 2007-05-30 |
| WO2002023155A3 (en) | 2002-06-13 |
| EP1325303A2 (en) | 2003-07-09 |
| EP1325303A4 (en) | 2007-07-25 |
| WO2002023155A2 (en) | 2002-03-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20081203 |