CN1494185A - 具有隔离阀门的气体激光器 - Google Patents
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Abstract
一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室,其特点是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门,该气体隔离阀门外为气体隔离室,该隔离室有二个出口,出口连接真空泵,出口连接激光混合气体瓶,隔离室另一端为激光腔片,激光放电室还设有气口。本发明具有投资少,更换或清洗腔片方便,运行成本低的优点。
Description
技术领域:
本发明与气体激光器有关,特别是一种具有隔离阀门的气体激光器。
背景技术:
大型高功率二氧化碳激光器及准分子激光器中,为了获得稳定的激光输出,气体要流动循环,但是在放电过程中,电极与气体相互作用会产生一些物质被吸附在激光腔的窗口上,从而影响激光的稳定输出。为此,激光器生产商建议定期清洁腔片。在清洁腔片时整个放电室暴露在大气中,要恢复正常运转,对激光器要经过反复充气换气放电。这样不仅增加了激光器的运转成本,而且浪费了不少时间。
发明内容:
本发明要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺陷,提供一种具有隔离阀门的气体激光器,达到投资少,使用方便,运行成本低的优点。
本发明的技术解决方案是:
一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室,其特征是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门,该气体隔离阀门外为气体隔离室,该隔离室有二个出口,出口连接真空泵,出口连接激光混合气体瓶,隔离室另一端为激光腔片,激光放电室还设有气口。
本发明的优点是明显的。由于在谐振腔腔片及放电室之间放置了一个隔离阀门,在更换或清洗腔片时将该阀门关闭,更换或清洗以后在隔离区内补充少量激光气体,再将隔离区阀门打开。由于整个激光放电室除隔离区外未暴露在大气中,它可以使激光器很快进入稳定状态。具有投资少,使用方便,运行成本低的优点。
附图说明:
图1是本发明结构图。
具体实施方式:
如图1所示。本发明具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室1,其特点是在该放电室1的两端各设有一气体隔离阀门2,该气体隔离阀门2外为气体隔离室3,该隔离室3有二个出口,出口5连接真空泵,出口6连接激光混合气体瓶,隔离室3另一端为激光腔片4或9,激光放电室1还设有气口7。
激光器运转时,气体隔离阀门2处于开启状态,二端激光腔片4和9组成一个激光谐振腔。当需要清洁激光腔片4时,首先将气体隔离阀门2处于关闭。通过出口5将隔离区3内的气体排放出去与环境压力相同,此时可以取下激光腔片4进行清洁处理,清洁以后再将激光腔片4安装到原位。出口5处用真空泵将隔离室3抽成真空,然后经过出口6补充激光气体,使隔离室3内的压力与激光放电室1内气体8的压力一致,此时将气体隔离阀门2打开,激光器即可恢复正常工作。
下面举一具体实施例以作进一步说明。
如图1所示结构,激光放电室1为一个准分子激光放电室,直径为30cm,长为100cm,内充激光气体含有98.9%氖气,1%氩气和0.1%氟气,总气压为0.3MPa.
激光腔片4为193nm全反射腔片,激光腔片9是石英窗口。5、6处的阀门在激光工作时处于关闭状态,插板阀门2处于开启状态。当要更换腔片4时,首先关闭插板阀门2,然后打开连接真空泵的阀门5使隔离室3处于真空状态,然后关闭阀门5,打开阀门6使隔离室3内充入与激光放电室1内气压一致的空气,然后清洁或更换腔片4,接着关闭阀门6,打开阀门5使隔离室3抽真空,达到10-3真空度后关闭阀门5,打开阀门6充入激光混合气体至0.3MPa,然后关闭阀门6,打开插板阀2即完成腔片4的清洁或更换。
按上述步骤,可以更换或清洁腔片9。
经试用证明,本发明具有投资少,使用方便,运行成本低的优点。
Claims (1)
1.一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室(1),其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2),该气体隔离阀门(2)外为气体隔离室(3),该隔离室(3)有二个出口,出口(5)连接真空泵,出口(6)连接激光混合气体瓶,隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9),激光放电室(1)还设有气口(7)。
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CNA031505104A CN1494185A (zh) | 2003-08-22 | 2003-08-22 | 具有隔离阀门的气体激光器 |
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