CN102118006B - 一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺 - Google Patents

Abstract

一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺，步骤如下：1.固定望远镜并调节，使其镜内的十字刻度线和与其对应的箱体两侧安装口同轴；2.初调光腔：调节角度调整模块，使经各光学镜片反射前后的望远镜十字刻度线重合，通过光轴监控系统监控各光学镜片角度变化量；3.真空修正光腔：激光器箱体在真空时，调整各监控系统产生的相应变化量，根据望远镜十字刻度线前后重合情况，调整重合度，激光器箱体在标准气压下，调整前窗口镜模块的角度调整模块，使反射前后的望远镜十字刻度线影像重合；4.在线修正光腔：在出光过程中，根据各监控系统在接收屏上角度变化量调节各角度调整模块，使其调回光轴监控系统出光前光点的位置。本发明可实现实时监控并修正。

Description

一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺

技术领域

本发明属于气体激光器的光腔调整技术领域，特别是涉及一种大功率气体激光器的光腔真空调试工艺。

背景技术

在工业大功率气体激光器制造过程中，初始光腔的调整精度不仅影响激光器输出功率的大小，而且影响激光束方向的稳定性，因此在出光前要求实现激光器光腔的高精度调整。

目前，国内的大功率气体激光器的光腔调整技术存在以下问题：第一，光腔调整是以小功率半导体激光器的红光作为调整指示光，但其光斑直径较大，无法实现高精度的调整；第二，光腔调整大都在标准大气压下进行，而大功率气体激光器是在真空状态下工作，由于压力变化，箱体会发生变形，引起光腔基准的变化，降低了光腔的位置精度；第三，在激光器工作过程中，光腔还会因外力而发生变形，从而引起位置精度的降低。因此，如果光腔没有调整的基准，在激光器出光过程中将无法恢复原位，不但大大降低输出激光束的质量和能量，而且很难进行后续的光腔调整。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明提供一种大功率气体激光器的光腔真空调试工艺。是通过对激光器光腔调整工艺的设计，来实现激光器光腔在真空工作状态下的调整，保证光腔位置精度，解决因真空状态而引起的光腔位置失真的一种高精度和高可靠性的光腔调整工艺。

本发明所采用的技术方案是：

一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺，包括如下步骤：

(1)固定内调焦望远镜：

首先安装光腔系统各组件，不安装光学镜片，然后将望远镜放置在安装前窗口镜模块的安装口前1.5～3米的位置，调节望远镜的高度、左右位置和上下左右的角度，使望远镜内的十字刻度线、和与其对应的箱体两侧安装口同轴，同轴精度保证小于0.004mrad；

(2)初调光腔：通过调节角度调整模块，使内调焦望远镜十字刻度线的影像经过各光学镜片，再从各光学镜片反射回来，最后使其与内调焦望远镜原有的十字刻度线重合，重合精度小于0.004mrad，并通过光轴监控系统监控每块光学镜片的角度变化量；

(3)真空修正光腔：在安装前窗口镜模块的安装口处安装一个透明玻璃片，激光器箱体抽真空至工作气压13000～14000Pa，通过调节角度调整模块调整各监控系统产生的相应变化量，并保证精度在0.005～0.008mrad，再根据内调焦望远镜十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合情况，精确调整重合度，保证精度在0.003～0.004mrad范围内；激光器箱体放压到标准大气压下，取下透明玻璃片，安装前窗口镜模块，调整前窗口镜模块的角度调整模块，使反射回来的十字刻度线影像与内调焦望远镜中原有十字刻度线重合，出光前调腔完毕；

(4)在线修正光腔：在出光过程中，因外力作用导致光学镜片角度发生变化，根据各监控系统在接收屏上角度变化量调节各角度调整模块，使其调回光轴监控系统出光前光点的位置。

当所述光腔系统为U型折叠腔时，上述初调光腔步骤具体如下：

第一步，安装上部转折镜并调节角度调整模块，通过上部转折镜反射，使内调焦望远镜内的十字刻度线与下部转折镜的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第二步，安装下部转折镜并调节角度调整模块，通过上下两个转折镜反射，使内调焦望远镜内的十字刻度线与后镜模块的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第三步，安装后镜模块并调节角度调整模块，打开内调焦望远镜的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜内的十字刻度线，十字刻度线的影像经过两个转折镜、后镜模块，再从后镜模块反射回来到两个转折镜，最后回到内调焦望远镜内，调节后镜模块，使回到内调焦望远镜内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第四步，在上下两个转折镜与后镜模块分别装上光轴监控系统，监控每块反射镜的角度变化量。

当所述光腔系统为V型腔时，初调光腔步骤具体如下：

第一步，安装转折镜并调节角度调整模块，通过转折镜反射使内调焦望远镜内的十字刻度线与后镜模块的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第二步，安装后镜模块并调节角度调整模块，打开内调焦望远镜的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜内的十字刻度线，十字刻度线的影像经过转折镜、后镜模块，再从后镜模块反射回来到转折镜，最后回到内调焦望远镜内，调节后镜模块，使回到内调焦望远镜内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第三步，在转折镜与后镜模块的角度调整模块上分别安装光轴监控系统，监控每块反射镜的角度变化量。

当所述光腔系统为单腔时，初调光腔步骤具体如下：

安装后镜模块并调节角度调整模块，打开内调焦望远镜的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜内的十字刻度线，十字刻度线的影像照射后镜模块，再从后镜模块反射回到内调焦望远镜内，调节后镜模块，使回到内调焦望远镜内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad，后镜模块装上光轴监控系统，监控后镜模块的角度变化量。

本发明的有益效果：

1.本发明通过激光器光腔调整工艺的设计，实现激光器光腔在真空工作状态下的调整，即对激光器箱体变形进行调整，避免了不同状态下引起的调整基准的变化，使光腔调节更加精确，激光输出功率更加稳定，同时可以实现激光器工作过程中对光腔进行实时监控并修正。

2.采用内调焦望远镜，调节精度可以小于0.004mrad，比传统的激光器调节精度高出10倍以上。由标准气压到真空状态激光器光腔会有所变形，真空修正光腔可以把这个变形量精确地修正过来。

3.采用光轴监控系统，能够把激光器工作中光腔变形及时有效地修正过来。

4.本发明调试精度：小于0.004mrad；激光器箱体变形量：0.01～0.03mrad；监控系统监控精度：小于0.008mrad。

5.本发明不仅可以实现单一光腔的调整，也可以实现多折光腔的高精度调整，并可实现工作气压下二次高精度修正光腔，保证了激光器光腔的高精度性和激光器长时间连续工作的稳定性。

附图说明

图1为实施例1中折叠式光腔系统的整体结构示意图。

图2为本发明中角度调整单元的结构示意图。

图3为本发明中前窗口镜模块的结构示意图。

图4为本发明中后镜模块的结构示意图。

图5为本发明中光轴监控系统的结构示意图。

图6为实施例2中单腔系统的整体结构示意图。

图7为实施例3中V型腔系统的整体结构示意图。

图中1为望远镜；2.前窗口镜模块；31、32、33、34均为角度调整模块；4为激光器箱体；51、52、53均为光轴监控系统；61、62为转折镜镜座，71、72均为转折镜；8为接收屏；9为后镜模块；10为长波纹管组件；11为第一调节螺母，12为调整法兰，13为固定法兰，14为短波纹管组件，15为调整螺杆，16为定心球螺母，17为定心固定套，18为碟簧，19为第二调节螺母，20为密封体，21为密封环，22为后冷体，23为后压盖，24为标准定位法兰，25为标准冷光阑，26为窗口镜，27为全反凹镜，28为铜镜安装法兰，29为镜定位法兰，30为镜冷光阑，31为折转镜镜座，32为平面铜反镜，35为压环，36为尼龙环，37为半导体激光器，38为前压盖，39为前冷体，40为监控套，41为固定螺母。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作详细描述：

实施例1：本例采用的光学系统为U型折叠式光腔结构，参照图1，包括激光器箱体4、前窗口镜模块2、后镜模块9、转折镜镜座61、62，转折镜71、72、光轴监控系统51、52、53、望远镜1及接收屏8，前窗口镜模块2通过角度调整模块34设置在激光器箱体4的一侧，后镜模块9与前窗口镜模块2同侧，通过带有光轴监控系统53的角度调整模块33设置在激光器箱体4上，转折镜镜座61、62为两个，分别通过带有光轴监控系统51、52的角度调整模块31、32设置在激光器箱体4的另一侧，转折镜71、72分别设置在转折镜镜座61、62上，调试时，望远镜1位于安装前窗口镜模块2的安装口侧，与安装口距离为1.5～3米，接收屏8位于激光器箱体4另一侧。所述的望远镜1为内调焦望远镜。

本发明采用内调焦望远镜1进行光腔系统中各光学镜座的位置调整，使每个镜座组件同轴，具体调试工艺步骤如下：

1.固定内调焦望远镜

首先安装折叠式光腔系统各组件，不安装前窗口镜模块2、转折镜71、72和后镜模块9；然后将内调焦望远镜1放置在安装前窗口镜模块2的安装口前1.5～3米的位置，调节内调焦望远镜1的高度、左右位置和上下左右的角度，使内调焦望远镜1内的十字刻度线、安装前窗口镜模块2的安装口与转折镜镜座61、62同轴，同轴精度保证小于0.004mrad。

2.初调光腔

第一步，安装上部转折镜71并调节角度调整模块31，通过上部转折镜71反射，使内调焦望远镜1内的十字刻度线与下部转折镜72的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第二步，安装下部转折镜72并调节角度调整模块32，通过上下两个转折镜71、72反射，使内调焦望远镜1内的十字刻度线与后镜模块9的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第三步，安装后镜模块9并调节角度调整模块33，打开内调焦望远镜1的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜1内的十字刻度线，十字刻度线的影像经过两个转折镜71、72、后镜模块9，再从后镜模块9反射回来到两个转折镜71、72，最后回到内调焦望远镜1内，调节后镜模块9，使回到内调焦望远镜1内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜1中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第四步，在上下两个转折镜71、72与后镜模块9分别装上光轴监控系统51、52、53，监控每块反射镜的角度变化量。

其中角度调整模块31、32、33结构，参见图2：包括调整法兰12、同定法兰13、短波纹管组件14和三个均布的调整锁紧机构，调整法兰12和固定法兰13通过调整锁紧机构连接，短波纹管组件14是在波纹管两端设有带密封槽的连接法兰，位于调整法兰12和固定法兰13之间并与调整法兰12和固定法兰13分别密封连接。其中调整锁紧机构包括变径调整螺杆15、定心球螺母16、定心固定套17和碟簧18，定心球螺母16通过定心固定套17安装于调整法兰12上，变径调整螺杆15一端通过第一调节螺母11连接在固定法兰13上，另一端依次穿过定心球螺母16、定心固定套17、调整法兰12、碟簧18，通过第二调节螺母19连接。调整时，通过调节一个调整锁紧机构中的第二调节螺母19和定心球螺母16，使调整法兰12角度发生变化，以满足上述调整要求。

3.真空修正光腔

第一步，在安装前窗口镜模块2的安装口处安装一个透明玻璃片，起到透像和密封作用，即在内调焦望远镜1内可以看到从后镜模块9反射回来的十字刻度线的影像；

第二步，激光器箱体4抽真空，抽到激光器工作气压13000～14000Pa时，由于压力变化，激光器箱体4有微量变形，导致激光器的两个转折镜71、72及后镜模块9有0.02～0.04mrad的角度变化，同时各监控系统51、52、53产生相应的变化量，通过调节角度调整模块31、32、33，将各监控系统51、52、53产生的相应变化量调整回来，并保证精度在0.005～0.008mrad，再根据内调焦望远镜1十字刻度线的影像与内调焦望远镜1中原有的十字刻度线重合情况，并精确调整重合度，可以保证精度在0.003～0.004mrad范围内；

第三步，激光器箱体4放压到标准大气压下，取下透明玻璃片，安装前窗口镜模块2，调整前窗口镜模块2的角度调整模块34，使反射回来的十字刻度线影像与内调焦望远镜1中原有十字刻度线重合，出光前调腔完毕。

4.在线修正光腔：在出光过程中，因外力作用导致转折镜71、72与后镜模块9角度发生变化，参照各监控系统51、52、53在接收屏8上角度变化量调节各角度调整模块31、32、33、34，使其调回光轴监控系统51、52、53出光前光点的位置。

本例中所述的前窗口镜模块2，如图3所示，包括窗口镜26、前冷体39、后冷体22、前压盖38、后压盖23、密封体20、标准定位法兰24及标准冷光阑25，在窗口镜26两端分别通过前、后冷体39、22安装前、后压盖38、23，在前、后压盖38、23和前、后冷体39、22间安装有带冷却水槽密封体20，使窗口镜26密封在前、后压盖38、23内的前、后冷体39、22间，前冷体39、后冷体22和密封体20间形成密闭水循环通道，实现窗口镜26的冷却，标准定位法兰24一端与后压盖23连接，一端与标准冷光阑25密封连接，标准定位法兰24和标准冷光阑25上分别设有水槽，形成密闭水循环通道。

所述标准冷光阑25为带凸台的筒状结构，筒壁上开有环形槽，凸台端为与其连接的标准定位法兰24相配合的结构，另一端带有锥形孔。其锥形孔端用于限制光束，使光束直径尺寸射入范围小于镜冷光阑的内径尺寸。

如图4所示，后镜模块9包括全反凹镜27、铜镜安装法兰28、镜定位法兰29和镜冷光阑30，全反凹镜27置于镜定位法兰29的内槽中，铜镜安装法兰28置于全反凹镜27的一侧，与全反凹镜27和镜定位法兰29分别密封连接，镜冷光阑30置于全反凹镜27的另一侧，与镜定位法兰29配合密封连接，铜镜安装法兰28上设有通至全反凹镜27的冷却水槽，镜定位法兰29和镜冷光阑30上分别设有相连通的水槽。所述镜冷光阑30结构与标准冷光阑25结构相同，其锥形孔端用于限制光束，使光束直径尺寸射入范围小于镜冷光阑的内径尺寸。

如图5所示，光轴监控系统51包括监控套40、半导体激光器37、固定螺母41、压环35和尼龙环36，半导体激光器37通过压环35安装于监控套40内，在压环35和半导体激光器37间设有尼龙环36，压环35带有内孔，半导体激光器37的电源线通过尼龙环36和压环35引出。其中的监控套40为筒形结构，筒底中心开通孔，筒壁外径与调整法兰12上的U型槽相配合。

实施例2：本例光学系统为单腔结构，参照图6，包括激光器箱体4、前窗口镜模块2、后镜模块9、光轴监控系统5、内调焦望远镜1及接收屏8，前窗口镜模块2通过角度调整模块34设置在激光器箱体4的一侧，后镜模块9通过带有光轴监控系统53的角度调整模块33设置在激光器箱体4的另一侧，调试时，望远镜1位于安装前窗口镜模块2的安装口侧，与安装前窗口镜模块2的安装口距离为1.5～3米，接收屏8位于激光器箱体4另一侧。

本例中的角度调整模块34和光轴监控系统53结构均与实施例1中的结构相同。

具体调试工艺步骤如下：

1.固定内调焦望远镜

首先安装单腔系统各组件，不安装前窗口镜模块2、后镜模块9；然后将内调焦望远镜1放置在安装前窗口镜模块2的安装口前1.5～3米的位置，调节内调焦望远镜1的高度、左右位置和上下左右的角度，使内调焦望远镜1内的十字刻度线、安装前窗口镜模块2的安装口与角度调整模块34中心同轴，同轴精度保证小于0.004mrad。

2.初调光腔

安装后镜模块9并调节角度调整模块34，角度调整模块34的调整方式与实施例1相同，打开内调焦望远镜1的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜1内的十字刻度线，十字刻度线的影像照射后镜模块9，再从后镜模块9反射回到内调焦望远镜1内，调节后镜模块9，使回到内调焦望远镜1内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜1中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad，后镜模块9装上光轴监控系统53，监控后镜模块9的角度变化量。

3.真空修正光腔

第一步，在安装前窗口镜模块2的安装口安装一个透明玻璃片，起到透像和密封作用，即在内调焦望远镜1内可以看到从后镜模块9反射回来的十字刻度线的影像；

第二步，激光器箱体4抽真空，抽到激光器工作气压13000～14000Pa时，由于压力变化，激光器箱体4有微量变形，导致后镜模块9有0.02～0.04mrad的角度变化，同时光轴监控系统53产生相应的变化量，通过调节角度调整模块34，将光轴监控系统53产生的相同变化量调整回来，并保证精度在0.005～0.008mrad，再根据内调焦望远镜1十字刻度线的影像与内调焦望远镜1中原有的十字刻度线重合情况，并精确调整重合度，可以保证精度在0.003～0.004mrad范围内；

第三步，安装前窗口镜模块2，调整前窗口镜模块2的角度调整模块34，使反射回来的十字刻度线影像与内调焦望远镜1中原有十字刻度线重合，出光前调腔完毕。

4.在线修正光腔：在出光过程中，因外力作用导致后镜模块9角度发生变化，参照光轴监控系统53在接收屏8上角度变化量调节角度调整模块34，使其调回光轴监控系统53出光前光点的位置。

实施例3：本例光学系统为V型腔结构，参照图7，包括激光器箱体4、前窗口镜模块2、后镜模块9、转折镜7、光轴监控系统51、53、望远镜1及接收屏8，前窗口镜模块2通过角度调整模块34设置在激光器箱体4的一侧，后镜模块9与前窗口镜模块同侧，通过带有光轴监控系统53的角度调整模块33设置在激光器箱体4上，转折镜7通过带有监控系统51的角度调整模块31设置在激光器箱体4的另一侧，转折镜7、前窗口镜模块2和后镜模块9的轴心形成V型，调试时，望远镜1位于安装前窗口镜模块2的安装口侧，与前窗口镜模块2的安装口距离为1.5～3米，接收屏8位于激光器箱体4另一侧。所述的望远镜1为内调焦望远镜。

本例中的角度调整模块31、33、34、光轴监控系统51、53、后镜模块9均与实施例1中的结构相同。

具体调试工艺步骤如下：

1.固定内调焦望远镜

首先安装V型腔系统各组件，不安装前窗口镜模块2、转折镜7、后镜模块9；然后将内调焦望远镜1放置在安装前窗口镜模块2的安装口前1.5～3米的位置，调节内调焦望远镜1的高度、左右位置和上下左右的角度，使内调焦望远镜1内的十字刻度线、安装前窗口镜模块2的安装口与转折镜7安装口中心同轴，同轴精度保证小于0.004mrad。

2.初调光腔

第一步，安装转折镜7并调节角度调整模块31，通过转折镜7反射使内调焦望远镜1内的十字刻度线与后镜模块9的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第二步，安装后镜模块9并调节角度调整模块33，打开内调焦望远镜1的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜1内的十字刻度线，十字刻度线的影像经过转折镜7、后镜模块9，再从后镜模块9反射回来到转折镜7，最后回到内调焦望远镜1内，调节后镜模块9，使回到内调焦望远镜1内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜1中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第三步，在转折镜7与后镜模块9的角度调整模块31、33上分别安装光轴监控系统51、53，监控每块反射镜的角度变化量。

3.真空修正光腔

第一步，在安装前窗口镜模块2的安装口处安装一个透明玻璃片，起到透像和密封作用，即在内调焦望远镜1内可以看到从后镜模块9反射回来的十字刻度线的影像；

第二步，激光器箱体4抽真空，抽到激光器工作气压13000～14000Pa时，由于压力变化，激光器箱体4有微量变形，导致转折镜7和后镜模块9都有0.02～0.04mrad的角度变化，同时两个光轴监控系统51、53产生相应的变化量，通过调节两个角度调整模块31、33，将两个光轴监控系统51、53产生的相同变化量调整回来，并保证精度在0.005～0.008mrad，再根据内调焦望远镜1十字刻度线的影像与内调焦望远镜1中原有的十字刻度线重合情况，并精确调整重合度，可以保证精度在0.003～0.004mrad范围内；

第三步，安装前窗口镜模块2，调整角度调整模块34，使反射回来的十字刻度线影像与内调焦望远镜1中原有十字刻度线重合，出光前调腔完毕。

4.在线修正光腔：在出光过程中，因外力作用导致转折镜7和后镜模块9角两个度发生变化，参照两个光轴监控系统51、53在接收屏8上角度变化量调节角度调整模块31、33，使其调回光轴监控系统53出光前光点的位置。

Claims (4)

1.一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺，其特征在于：包括如下步骤：

(1)固定内调焦望远镜：

首先安装光腔系统各组件，不安装光学镜片，然后将望远镜放置在安装前窗口镜模块的安装口前1.5～3米的位置，调节望远镜的高度、左右位置和上下左右的角度，使望远镜内的十字刻度线、和与其对应的箱体两侧安装口同轴，同轴精度保证小于0.004mrad；

(2)初调光腔：通过调节角度调整模块，使内调焦望远镜十字刻度线的影像经过各光学镜片，再从各光学镜片反射回米，最后使其与内调焦望远镜原有的十字刻度线重合，重合精度小于0.004mrad，并通过光轴监控系统监控每块光学镜片的角度变化量；

(3)真空修正光腔：在安装前窗口镜模块的安装口处安装一个透明玻璃片，激光器箱体抽真空至工作气压13000～14000Pa，通过调节角度调整模块调整各监控系统产生的相应变化量，并保证精度在0.005～0.008mrad，再根据内调焦望远镜十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合情况，精确调整重合度，保证精度在0.003～0.004mrad范围内；激光器箱体放压到标准大气压下，取下透明玻璃片，安装前窗口镜模块，调整前窗口镜模块的角度调整模块，使反射回来的十字刻度线影像与内调焦望远镜中原有十字刻度线重合，出光前调腔完毕；

(4)在线修正光腔：在出光过程中，因外力作用导致光学镜片角度发生变化，根据各监控系统在接收屏上角度变化量调节各角度调整模块，使其调回光轴监控系统出光前光点的位置。

2.根据权利要求1所述一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺，其特征在于：所述光腔系统为U型折叠腔，初调光腔步骤具体如下：

第一步，安装上部转折镜并调节角度调整模块，通过上部转折镜反射，使内调焦望远镜内的十字刻度线与下部转折镜的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第二步，安装下部转折镜并调节角度调整模块，通过上下两个转折镜反射，使内调焦望远镜内的十字刻度线与后镜模块的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第三步，安装后镜模块并调节角度调整模块，打开内调焦望远镜的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜内的十字刻度线，十字刻度线的影像经过两个转折镜、后镜模块，再从后镜模块反射回来到两个转折镜，最后回到内调焦望远镜内，调节后镜模块，使回到内调焦望远镜内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第四步，在上下两个转折镜与后镜模块分别装上光轴监控系统，监控每块反射镜的角度变化量。

3.根据权利要求1所述一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺，其特征在于：所述光腔系统为V型腔，初调光腔步骤具体如下：

第一步，安装转折镜并调节角度调整模块，通过转折镜反射使内调焦望远镜内的十字刻度线与后镜模块的安装口中心重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第二步，安装后镜模块并调节角度调整模块，打开内调焦望远镜的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜内的十字刻度线，十字刻度线的影像经过转折镜、后镜模块，再从后镜模块反射回来到转拆镜，最后回到内调焦望远镜内，调节后镜模块，使回到内调焦望远镜内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad；

第三步，在转折镜与后镜模块的角度调整模块上分别安装光轴监控系统，监控每块反射镜的角度变化量。

4.根据权利要求1所述一种大功率气体激光器光腔真空调试工艺，其特征在于：所述光腔系统为单腔，初调光腔步骤具体如下：

安装后镜模块并调节角度调整模块，打开内调焦望远镜的内置灯，内置灯照射内调焦望远镜内的十字刻度线，十字刻度线的影像照射后镜模块，再从后镜模块反射回到内调焦望远镜内，调节后镜模块，使回到内调焦望远镜内的十字刻度线的影像与内调焦望远镜中原有的十字刻度线重合，重合精度保证小于0.004mrad，后镜模块装上光轴监控系统，监控后镜模块的角度变化量。

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